During the transport of both metal

During the transport of both metal neutrals and ions,there is a certain probability that these particles will collide with the neutral gas background. These collisions lead to
heating of the gas followed by expansion (decrease in gas density in front of the target) in a process that is called gas rarefaction. It has extensively been investigated in magnetron discharges both experimentally and theoretically during the last three decades. The loss of process gas results in a reduction of ions available for sputtering (often Ar ions) leading to a reduced deposition rate as well as
a reduction of plasma density, which means that the desired IPVD properties will be lost.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ในระหว่างการขนส่งของอักขระปกติโลหะและกัน มีความบางน่าเป็นว่า อนุภาคเหล่านี้จะชนกับพื้นหลังแก๊สกลาง ทำตามนี้
ความร้อนของก๊าซตามการขยายตัว (ลดลงความหนาแน่นของแก๊สหน้าเป้าหมาย) ในกระบวนการที่เรียกว่า rarefaction ก๊าซ มันได้อย่างกว้างขวางถูกตรวจสอบใน magnetron ปล่อย experimentally และตามหลักวิชาในช่วงสามทศวรรษ การสูญเสียของผลก๊าซกระบวนการในการลดลงของประจุสำหรับพ่น (มัก Ar กัน) นำอัตราสะสมลดลงเช่นเป็น
ลดของพลาสม่าความหนาแน่น ซึ่งหมายความ ว่า คุณสมบัติ IPVD ที่ต้องจะสูญหาย

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ในระหว่างการขนส่งของทั้งสองเว้นโลหะและไอออนที่มีความน่าจะเป็นบางอย่างที่อนุภาคเหล่านี้จะชนกับพื้นหลังก๊าซที่เป็นกลาง ชนเหล่านี้นำไปสู่
​​ความร้อนของก๊าซตามการขยายตัว (การลดลงของความหนาแน่นของก๊าซในด้านหน้าของเป้าหมาย) ในกระบวนการที่เรียกว่าการเปลี่ยนแปลงก๊าซ จะได้รับการตรวจสอบอย่างกว้างขวางในการปล่อยแมกทั้งทางทฤษฎีและการทดลองในช่วงสามทศวรรษที่ผ่านมา การสูญเสียของผลก๊าซกระบวนการในการลดของไอออนสำหรับสปัตเตอร์ (มักไอออน Ar) ที่นำไปสู่อัตราการสะสมที่ลดลงรวมทั้ง
การลดลงของความหนาแน่นของพลาสม่าซึ่งหมายความว่าคุณสมบัติ IPVD ที่ต้องการจะหายไป

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ในระหว่างการขนส่งของสื่อทั้งโลหะและไอออน มีความน่าจะเป็นว่าอนุภาคเหล่านี้จะชนกับพื้นหลังก๊าซที่เป็นกลาง ชนเหล่านี้นำไปสู่
ความร้อนของแก๊สตามการขยายตัว ( ลดความหนาแน่นของก๊าซในด้านหน้าของเป้าหมาย ) ในกระบวนการที่เรียกว่า rarefaction ก๊าซมันถูกใช้อย่างกว้างขวางในตรอนไหลทั้งโดยและตามหลักวิชาในช่วงสามทศวรรษที่ผ่านมา การสูญเสียของกระบวนการแก๊สผลในการลดลงของไอออน ( ไอออนมักจะใช้ได้สำหรับการสปัตเตอร์ AR ) ทำให้ลดอัตราการสะสม รวมทั้งการลดความหนาแน่นของพลาสมา ซึ่งหมายความ ว่า ต้องการ ipvd คุณสมบัติจะหายไป