In order to determine the variation

In order to determine the variations of the model parameters, the typical parameter set mentioned above (r = 0.8, sc = 0.15, r = 0.1) has been assigned to the position at the center of the wafer. Using Eqs. (2) and (3), the changes of r and R across the wafer have been calculated.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

เพื่อกำหนดรูปแบบของรูปแบบพารามิเตอร์ พารามิเตอร์ทั่วไปที่ตั้งดังกล่าวข้างต้น (r = 0.8, sc = 0.15, r = 0.1) ได้กำหนดให้ตำแหน่งที่ศูนย์กลางของแผ่นเวเฟอร์ ใช้ Eqs (2) และ (3), การเปลี่ยนแปลงของ r และ R ในแผ่นเวเฟอร์มีการคำนวณ

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

เพื่อกำหนดรูปแบบของพารามิเตอร์แบบที่ชุดพารามิเตอร์ทั่วไปดังกล่าวข้างต้น (r = 0.8 SC = 0.15, r = 0.1) ได้รับมอบหมายให้ดำรงตำแหน่งที่เป็นศูนย์กลางของเวเฟอร์ที่ ใช้ EQS (2) และ (3) การเปลี่ยนแปลงของอาร์และอาร์ทั่วเวเฟอร์ที่ได้รับการคำนวณ

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

เพื่อศึกษาการเปลี่ยนแปลงของพารามิเตอร์ , พารามิเตอร์ทั่วไปชุดดังกล่าวข้างต้น ( R = 0.8 ) = 0.15 , r = 0.1 ) ได้รับมอบหมายให้ตำแหน่งที่ศูนย์ของเวเฟอร์ ใช้ EQS . ( 2 ) และ ( 3 ) การเปลี่ยนแปลงของ R และ R ข้ามเวเฟอร์ได้คำนวณไว้