Incapacitive-coupled RF discharge,

In
capacitive-coupled RF discharge, Barton et al.
[22] reported that at 1.33 Pa pressure, the total ion
energy flux was two times the VUV energy flux
(ion energy flux 4mWcm
2 and VUV photon
energy flux 2mWcm
2), whereas at the increase
in the pressure up to 13 Pa the ion energy flux
remains only half of the total VUV energy flux
(ion energy flux 2mWcm
2 and VUV photon
energy flux 5mWcm
2) for 10W RF power

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ในควบคุมควบคู่ RF ปล่อย บาร์ตัน et al[22] รายงานว่า ที่ความดัน Pa 1.33 ไอออนทั้งหมดพลังงานไหลเป็นสองครั้ง VUV พลังงานฟลักซ์(ไอออนพลังงานไหล 4mWcm 2 และโฟตอน VUVพลังงานไหล 2mWcm 2), ในขณะที่เพิ่มขึ้นในความดันถึง 13 ป่าไหลพลังงานไอออนเหลือเพียงครึ่งหนึ่งของพลังงานไหลรวมของ VUV(ไอออนพลังงานไหล 2mWcm 2 และโฟตอน VUVพลังงานไหล 5mWcm 2) สำหรับพลังงาน RF 10W

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ในการปล่อย RF capacitive คู่บาร์ตัน et al. [22] รายงานว่าที่ 1.33 ความดันป่าไอออนรวมการไหลของพลังงานเป็นสองเท่าของการไหลของพลังงานVUV (ไอออนฟลักซ์พลังงาน? 4mWcm 2 และ VUV โฟตอนฟลักซ์พลังงาน? 2mWcm 2 ) ในขณะที่การเพิ่มขึ้นของความดันได้ถึง13 Pa ฟลักซ์พลังงานไอออนที่ยังคงอยู่เพียงครึ่งหนึ่งของการไหลของพลังงานVUV รวม(ไอออนฟลักซ์พลังงาน? 2mWcm 2 และ VUV โฟตอนฟลักซ์พลังงาน? 5mWcm? 2) สำหรับ 10W พลังงาน RF

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ใน
แบบคู่ RF ปลด บาร์ตัน et al .
[ 22 ] รายงานที่ 1.33 โดยความดันรวมพลังงานของไอออน
2 ครั้งฟลักซ์พลังงาน VUV
( ฟลักซ์พลังงานไอออน  4mwcm
2 และ VUV ฟลักซ์พลังงานโฟตอน
 2mwcm
2 ) ส่วนที่เพิ่ม
ในความดัน ถึง 13 PA อิออนฟลักซ์พลังงาน

เหลือเพียงครึ่งหนึ่งของฟลักซ์พลังงาน VUV ( ฟลักซ์พลังงานไอออน  2mwcm
VUV )
2 และฟลักซ์พลังงาน  5mwcm
2 ) 10W พลังงาน RF สำหรับ