Fig. 3 Bubble expansion process. (a

Fig. 3 Bubble expansion process. (a) Illustration of the apparatus
including a 50 mm circular die with epoxy solution deposited on the
top surface, and bubble expansion in gas flow directed upward using
a ring connected to a motor. Wafers are fixed near the bubble for BBF
transfer. (b), (c), (d) Snapshots of the initial, middle, and final stages of
bubble expansion and coating of BBF on two 150 mm wafers.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

กระบวนการขยายตัวของฟอง fig. 3 (ก) ภาพของเครื่องรวมเป็น 50 มม.กลมตาย ด้วยโซลูชั่นอีพ๊อกซี่ฝากในพื้นผิวด้านบน และขยายฟองในกระแสก๊าซที่นำขึ้นใช้วงแหวนเชื่อมต่อกับมอเตอร์ รับคงใกล้ฟองสำหรับเบดการโอนย้าย (ข), (c), (d) ภาพรวมของการเริ่มต้น กลาง และสุดท้ายขั้นตอนของขยายตัวของฟองและเคลือบของเบดบนสองรับ 150 มม.

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

รูปที่ ขั้นตอนการขยายตัว 3 ฟอง (ก) ภาพประกอบของอุปกรณ์
รวมทั้ง 50 มมตายวงกลมด้วยน้ำยาอีพ็อกซี่วางอยู่บน
พื้นผิวด้านบนและการขยายตัวฟองในการไหลของก๊าซกำกับการปรับตัวสูงขึ้นโดยใช้
แหวนที่เชื่อมต่อกับมอเตอร์ เวเฟอร์จะคงที่ใกล้ฟองสำหรับลัดฟ้า
ถ่ายโอน (ข) (ค) (ง) ภาพรวมของการเริ่มต้นกลางและขั้นตอนสุดท้ายของ
การขยายตัวของฟองสบู่และการเคลือบลัดฟ้าสอง 150 มิลลิเมตรเวเฟอร์

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

รูปที่ 3 ฟองขยายกระบวนการ ( ก ) ภาพประกอบเครื่องมือ
รวมถึง 50 mm วงกลมตายด้วยอีพ็อกซี่โซลูชั่นฝากไว้บน
พื้นผิวด้านบนและฟองขยายตัวในอัตราการไหลของแก๊สที่ขึ้นโดยใช้
แหวนเชื่อมต่อกับมอเตอร์ เวเฟอร์คงใกล้ฟองสำหรับการถ่ายโอน BBF

( ข ) , ( ค ) , ( ง ) ภาพรวมของ ต้น กลาง และระยะสุดท้าย
ขยายฟองและการเคลือบ BBF สอง 150 มิลลิเมตร เวเฟอร์