Gas-phase plasma is used widely in

Gas-phase plasma is used widely in many industrial fields, such as electronic device manufacturing
processes (plasma etching, sputtering, plasma-enhanced chemical vapor deposition, etc.), hard coating
processes (ion plating, sputtering, etc.), and surface treatment processes (low- or atmospheric-pressure
plasma treatments, sputtering, plasma etching, etc.). Solid-phase plasma has been used for surface plasmon
resonance (SPR) spectroscopy, nanoparticles, etc., and plasmonics is developing as a new research
field.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

เฟสก๊าซพลาสมาถูกใช้อย่างกว้างขวางในหลายสาขาอุตสาหกรรม เช่นการผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์(แกะสลักพลา สปัตเตอร์ สะสมเพิ่มพลาสม่าไอสารเคมี ฯลฯ), กระบวนการเคลือบแข็งกระบวนการ (ชุบไอออน สปัตเตอร์ ฯลฯ และกระบวนการรักษาพื้นผิว (- หรือบรรยากาศความดันต่ำทรีทเมนท์พลา สปัตเตอร์ แกะสลักพลา ฯลฯ) มีการใช้พลาสม่าแข็งเฟสสำหรับ surface plasmonเรโซแนนซ์ (SPR) สเปกโทรสโก เก็บกัก ฯลฯ และ plasmonics ได้พัฒนาเป็นงานวิจัยแบบใหม่ฟิลด์

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

แก๊สเฟสพลาสม่าถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในเขตอุตสาหกรรมเป็นจำนวนมากเช่นอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ที่ผลิต
กระบวนการ (แกะสลักพลาสม่า, สปัตเตอร์, พลาสม่าเพิ่มสารเคมีสะสมไอน้ำ ฯลฯ ) เคลือบแข็ง
กระบวนการ (ชุบไอออนสปัตเตอร์ ฯลฯ ) และพื้นผิว กระบวนการบำบัด (ต่ำหรือความดันบรรยากาศ
การรักษาพลาสม่า, สปัตเตอร์, พลาสม่าแกะสลัก ฯลฯ ) เฟสของแข็งพลาสม่าได้ถูกนำมาใช้สำหรับพื้นผิว plasmon
กำทอน (SPR) สเปคโทรอนุภาคนาโน ฯลฯ และ plasmonics มีการพัฒนาเป็นงานวิจัยใหม่
ฟิลด์

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ระยะก๊าซพลาสมามีใช้กันอย่างแพร่หลายในเขตอุตสาหกรรมต่างๆ เช่น การผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์กรรมวิธีการสปัตเตอร์พลาสม่า , พลาสม่าเพิ่มขึ้น chemical vapor deposition , ฯลฯ ) , เคลือบแข็งกระบวนการ ( ไอออนชุบ , ทำงาน , ฯลฯ ) , และการรักษาพื้นผิวกระบวนการ ( ต่ำ - หรือความดันบรรยากาศพลาสมาการสปัตเตอริง พลาสมาแกะสลัก ฯลฯ ) พลาสมาเฟสของแข็งได้ถูกใช้สำหรับ PLASMON พื้นผิวเรโซแนนซ์ ( SPR ) spectroscopy , อนุภาคนาโน , ฯลฯ และเปลี่ยนเป็นวิจัยพัฒนาใหม่สนาม