The substrate was spin-coated with

The substrate was spin-coated with SU8 2002 at 9000 rpm for 50 seconds to achieve a thickness of about 1.5 um.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

พื้นผิวได้หมุนเคลือบ SU8 2002 ที่ 9000 รอบต่อนาที 50 วินาทีเพื่อ ให้หนาประมาณ 1.5 อุ่ม

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

พื้นผิวที่ไ​​ด้รับการสปินเคลือบด้วย SU8 2002 ที่ 9000 รอบต่อนาที 50 วินาทีเพื่อให้บรรลุความหนาประมาณ 1.5 ไมครอน

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

( คือหมุนที่เคลือบด้วย su8 2002 ที่ 9000 รอบต่อนาทีเป็นเวลา 50 วินาที เพื่อให้ได้ความหนาประมาณ 1.5 . . .