The above mentioned authors publish

The above mentioned authors published a paper [5] about the measurement to
determine the accuracy of a high precision wafer stage. Therefore 6-DOF errors of
its positioning accuracy are significant. An improved version of the above
described system was used. The moving part of it is an L-shaped mirror and on top
of one leg a long right angle mirror.

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ผู้เขียนกล่าวถึงข้างต้นตีพิมพ์กระดาษ [5]
เกี่ยวกับการวัดเพื่อตรวจสอบความถูกต้องของขั้นตอนเวเฟอร์ที่มีความแม่นยำสูง ดังนั้นข้อผิดพลาด 6
อานนท์ของความถูกต้องตำแหน่งที่มีความสำคัญ
รุ่นปรับปรุงของด้านบนระบบที่ใช้อธิบาย ส่วนการเคลื่อนย้ายของมันก็คือกระจกรูปตัว L
และด้านบนของขาข้างหนึ่งกระจกมุมขวายาว

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ที่กล่าวข้างต้นผู้เขียนได้รับการตีพิมพ์กระดาษ [ 5 ] เกี่ยวกับการวัดเพื่อตรวจสอบความถูกต้องของ
ระยะเวเฟอร์ ความเที่ยงตรงสูง ดังนั้น 6-dof ข้อผิดพลาด
ความถูกต้องของตำแหน่งที่สำคัญ รุ่นปรับปรุงของข้างบน
อธิบายระบบที่ใช้ ชิ้นส่วนที่เคลื่อนไหว มันเป็นรูปตัวแอล และกระจกด้านบน
ขายาวมุมขวา
กระจก 1