be as small as 500 µm × 500 µm, so

be as small as 500 µm × 500 µm, so that the effective loading by the accelerometer on a measurement is very small. The device is a small cantilevered seismic mass
that uses capacitive changes to monitor the position of the mass. Piezoelectric
devices similar to the one shown in Fig

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

มีขนาดเล็กที่ 500 µm × 500 µm ให้โหลด ด้วย accelerometer ในการประเมินผลมีขนาดเล็กมาก อุปกรณ์มีขนาดเล็กโดยรวมธรณี cantileveredที่ใช้ควบคุมการเปลี่ยนแปลงเพื่อตรวจสอบตำแหน่งของมวล Piezoelectricอุปกรณ์ที่คล้ายกับการแสดงในฟิก

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

มีขนาดเล็กเป็น 500 ไมโครเมตร× 500 ไมครอนเพื่อให้มีประสิทธิภาพในการโหลดโดย accelerometer การวัดที่มีขนาดเล็กมาก อุปกรณ์มวลแผ่นดินไหวขนาดเล็กแพร่ง
ที่ใช้การเปลี่ยนแปลง capacitive เพื่อตรวจสอบตำแหน่งของมวล piezoelectric
อุปกรณ์ที่คล้ายกับหนึ่งที่แสดงในรูป

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

มีขนาดเล็กเป็น 500 µ m × 500 µ M เพื่อให้มีประสิทธิภาพโหลด accelerometer ในวัดมีขนาดเล็กมาก เป็นอุปกรณ์ขนาดเล็กที่ใช้การเปลี่ยนแปลงมวล cantilevered แผ่นดินไหว
capacitive เพื่อตรวจสอบตำแหน่งของมวล อุปกรณ์ Piezoelectric
คล้ายกับที่แสดงในต้นมะเดื่อ