The effectiveness of the closed fie

The effectiveness of the closed field configuration is shown inFig. 4, which is taken from a study at Salford University [27]. As can be seen, operating in the closed field mode results in an ion-to-atom ratio incident at the substrate some 2–3 times greater than that obtained under the same conditions in the mirrored, or single unbalanced magnetron configurations. Also, the influence of the closed magnetic field on the ion-to-atom ratio becomes more marked as the distance from the target increases.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ประสิทธิผลของการกำหนดค่าสนามปิดจะแสดง infig 4 ซึ่งจะมาจากการศึกษาที่มหาวิทยาลัยซอล [27] ที่สามารถมองเห็นการดำเนินงานในโหมดปิดผลเขตข้อมูลในเหตุการณ์ที่เกิดขึ้นไอออนที่อะตอมอัตราส่วนพื้นผิวที่บาง 2-3 ครั้งยิ่งใหญ่กว่าที่ได้รับภายใต้เงื่อนไขเดียวกันในมิเรอร์หรือการกำหนดค่าเดียว magnetron ไม่สมดุล นอกจากนี้ยังมีอิทธิพลของสนามแม่เหล็กปิดอัตราส่วนไอออนที่อะตอมจะกลายเป็นทำเครื่องหมายมากขึ้นตามระยะทางจากเป้าหมายเพิ่มขึ้น

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ประสิทธิผลของการกำหนดค่าฟิลด์ปิดจะแสดง inFig 4 ซึ่งมาจากการศึกษาที่มหาวิทยาลัยซัลฟอร์ด [27] สามารถมองเห็น ทำงานในโหมดปิดฟิลด์ผลลัพธ์ที่มีอัตราส่วนของไอออนอะตอมเหตุการณ์ที่พื้นผิวกิตบางครั้งมากกว่าที่ได้รับภายใต้เงื่อนไขเดียวกันในโครงแบบ magnetron สมดุลมิเรอร์ หรือเดียว ยัง อิทธิพลของสนามแม่เหล็กปิดบนอัตราส่วนไอออนอะตอมจะทำเครื่องหมายเป็นระยะเพิ่มเป้าหมายมากขึ้น

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ประสิทธิภาพ ของการตั้งค่าฟิลด์ปิดจะแสดง infig 4 ซึ่งเป็นผลมาจากการศึกษาที่ salford มหาวิทยาลัย[ 27 ] จะเห็นการทำงานในโหมดปิดฟิลด์ที่เป็นผลให้เกิดปัญหาไอออน - การ - อะตอมอัตราที่คุ้นเคยกับเครื่อง 2-3 2-3 2-3 บางครั้งมากกว่าที่ได้รับ ภายใต้ เงื่อนไขเดียวกับที่อยู่ในกระจกหรือมีการกำหนดค่าแบบ unbalanced magnetron เดียว นอกจากนั้นยังอิทธิพลของสนามแม่เหล็กที่ปิดในอัตราส่วนไอออน - อะตอมจะกลายเป็นมากกว่าทำเครื่องหมายเป็นระยะทางที่จากการเพิ่มขึ้นตามเป้าหมายได้