As a first step, decreasing the dut

As a first step, decreasing the duty cycle allows a corresponding increase in power during the on-time. When a power density about two orders of magnitude higher than for conventional sputtering is maintained, a qualitative new process, termed high power impulse magnetron sputtering (HIPIMS) is observed . Here, typical pulse lengths of 10–400 µs are used with pulse frequencies in the

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ก้าวแรก ลดภาษีรอบได้เพิ่มขึ้นสอดคล้องกันในอำนาจบนเวลา เมื่อรักษาความหนาแน่นไฟเกี่ยวกับสองอันดับของขนาดสูงกว่าการพ่นแบบธรรมดา กระบวนการใหม่เชิงคุณภาพ เรียกว่า magnetron กระแสพลังงานสูงสังเกตสปัตเตอร์ (HIPIMS) ที่นี่ ใช้ความยาวปกติชีพจรของ µs 10-400 กับพัลส์ความถี่ในการ

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

เป็นขั้นตอนแรกลดลงรอบหน้าที่จะช่วยให้เพิ่มขึ้นสอดคล้องกันในอำนาจในช่วงเวลา เมื่อความหนาแน่นพลังงานประมาณสองคำสั่งของขนาดสูงกว่าสปัตเตอร์ทั่วไปจะยังคงกระบวนการใหม่คุณภาพสูงที่เรียกว่าแมกแรงกระตุ้นไฟฟ้าพ่น (HIPIMS) เป็นที่สังเกต ที่นี่ความยาวชีพจรปกติของ 10-400 μsจะใช้กับความถี่ในการเต้นของชีพจร

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

เป็นขั้นตอนแรก ลดรอบหน้าที่จะช่วยให้พลังงานที่เพิ่มขึ้นในช่วงเวลาที่ เมื่อความหนาแน่นพลังงานเกี่ยวกับคำสั่งของขนาดชิ้นงานที่สูงกว่าปกติรักษาสอง เชิงคุณภาพกระบวนการใหม่ termed อำนาจสูงแมกนีตรอนสปัตเตอริง ( แรงกระตุ้น hipims ) เป็นที่สังเกต ที่นี่ปกติชีพจรยาว 10 – 400 µ S ใช้กับชีพจรความถี่ใน