3.3. Reactive processIn the oxide m

3.3. Reactive process
In the oxide mode, the mass deposition rate is about 8 times lower than when sputtering in pure Ar as a result of target oxidation [31]. This corresponds to about 13 times lower sputtering yield of Ti, considering that stoichiometric TiO2 is deposited in the oxide mode. Therefore, the measurements were performed with a gridless sensor where the electron repelling grid is replaced by a magnetic field and bias is applied directly to the top electrode of the quartz crystal. In order to mitigate the formation of an insulating layer on the sensor during measurements in the oxide mode, the surface was periodically coated with fresh Ti as described in the Experimental section.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

3.3 กระบวนการปฏิกิริยา
ในโหมดออกไซด์ที่อัตราการสะสมมวลประมาณ 8 ครั้งที่ต่ำกว่าเมื่อสปัตเตอร์ในที่บริสุทธิ์ ar เป็นผลจากการออกซิเดชั่เป้าหมาย [31] นี้สอดคล้องกับประมาณ 13 ครั้งผลผลิตสปัตเตอร์ล่างของทิพิจารณาว่า TiO2 stoichiometric ที่สะสมอยู่ในโหมดออกไซด์ ดังนั้นวัดได้ดำเนินการกับเซ็นเซอร์ gridless ที่ตารางต้านทานอิเล็กตรอนจะถูกแทนที่ด้วยสนามแม่เหล็กและอคตินำมาใช้โดยตรงไปยังขั้วไฟฟ้าด้านบนของผลึกคริสตัล เพื่อลดการก่อตัวของชั้นฉนวนบนเซ็นเซอร์ในการวัดในโหมดออกไซด์พื้นผิวที่ไ​​ด้รับการเคลือบเป็นระยะ ๆ ด้วยทิสดตามที่อธิบายไว้ในส่วนการทดลอง

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

3.3. ปฏิกิริยากระบวนการ
ในโหมดออกไซด์ อัตราสะสมโดยรวมเป็นประมาณ 8 เท่าต่ำกว่าเมื่อพ่นใน Ar บริสุทธิ์จากเป้าหมายออกซิเดชัน [31] นี้สอดคล้องกับประมาณ 13 ครั้งลดผลผลิต sputtering ของตี้ พิจารณาว่า stoichiometric TiO2 ฝากในโหมดออกไซด์ ดังนั้น ดำเนินการวัด ด้วยเซนเซอร์ gridless ที่ตาราง repelling อิเล็กตรอนถูกแทนที่ ด้วยสนามแม่เหล็ก และความโน้มเอียงจะใช้เมื่อต้องการไฟฟ้าสูงสุดของผลึกควอตซ์ เพื่อลดการก่อตัวของชั้นเป็นฉนวนในการเซ็นเซอร์ในระหว่างวัดในโหมดออกไซด์ ผิวเป็นระยะ ๆ เคลือบ ด้วยตี้สดตามที่อธิบายไว้ในส่วนทดลอง

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

3.3 . กระบวนการสร้างสรรค์ในเชิงบวก
ในโหมดออกไซด์ที่อัตราดอกเบี้ยมีมวลชนที่เป็นเรื่องเกี่ยวกับ 8 ครั้งต่ำกว่าเมื่อละล่ำละลักใน AR บริสุทธิ์เป็นผลจากออกซิไดส์เป้าหมาย[ 31 ] โรงแรมแห่งนี้ตรงกับประมาณ 13 ครั้งต่ำให้ผลตอบแทนละล่ำละลักของหมากผู้หมากเมียพิจารณาเห็นว่า stoichiometric ป่าติ้ว 2 มีไว้ในโหมดออกไซด์ ดังนั้นการวัดที่ได้ทำกับเซนเซอร์ gridless ที่อิเล็กตรอนที่ขับไล่กริดจะถูกแทนที่ด้วยฟิลด์ของแม่เหล็กที่และการทำงานเป็นการนำมาใช้โดยตรงเพื่อเชื่อมทางด้านบนสุดของคริสตัลควอทซ์ ในการสั่งซื้อเพื่อลดการก่อตัวขึ้นมาจากชั้น สภาพ ความเป็นฉนวนบนเซนเซอร์ตรวจวัดได้ในระหว่างการวัดในโหมดออกไซด์พื้นผิวที่มีเป็นระยะๆเคลือบด้วยหมากผู้หมากเมียสดเช่นที่อธิบายไว้ในหัวข้อที่ทดลอง