Comb-drives are capacitive actuator

Comb-drives are capacitive actuators, often used as linear actuators that utilize electrostatic forces that act between two electrically conductive combs. Comb drive actuators typically operate at the micro- or nanometer scale and are generally manufactured by bulk micromachining or surface micromachining a silicon wafer substrate.

The attractive electrostatic forces are created when a voltage is applied between the static and moving combs causing them to be drawn together. The force developed by the actuator is proportional to the change in capacitance between the two combs, increasing with driving voltage, the number of comb teeth, and the gap between the teeth. The combs are arranged so that they never touch (because then there would be no voltage difference). Typically the teeth are arranged so that they can slide past one another until each tooth occupies the slot in the opposite comb.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

Capacitive actuators มักใช้เป็น actuators เชิงเส้นที่ใช้แรงไฟฟ้าสถิตที่ทำหน้าที่ระหว่างสองหวีไฟฟ้า หวีไดรฟ์ได้ หวี actuators ไดรฟ์โดยทั่วไปมีขนาดไมโครหรือนาโนเมตร และมีผลิตภัณฑ์ที่ผลิต โดย micromachining จำนวนมากหรือผิว micromachining กับพื้นผิวซิลิคอนเวเฟอร์แรงไฟฟ้าสถิตน่าสนใจถูกสร้างเมื่อมีใช้แรงดันไฟฟ้าระหว่างหวีแบบคงที่ และเคลื่อนที่ทำให้พวกเขาวาดกัน แรงที่พัฒนา โดยการกระตุ้นการเป็นสัดส่วนกับการเปลี่ยนแปลงในความจุระหว่างหวีสอง เพิ่มการขับดัน จำนวนฟันหวี และช่องว่างระหว่างฟัน หวีจะจัดเพื่อให้พวกเขาไม่เคยสัมผัส (เนื่องจาก แล้วจะไม่มีความแตกต่างของแรงดันไฟฟ้า) โดยทั่วไปจะจัดฟันเพื่อให้พวกเขาสามารถเลื่อนผ่านกันจนฟันแต่ละซี่ตรงช่องในหวีตรงข้าม

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

หวีไดรฟ์เป็นตัวกระตุ้น capacitive, มักจะใช้เป็นตัวกระตุ้นเชิงเส้นที่ใช้กองกำลังไฟฟ้าสถิตที่ทำหน้าที่ระหว่างสองหวีนำไฟฟ้า กระตุ้นหวีไดรฟ์มักจะทำงานที่ไมโครนาโนเมตรหรือขนาดและที่ผลิตโดยไมโครกลุ่มหรือพื้นผิวไมโครพื้นผิวซิลิคอนเวเฟอร์ทั่วไป. กองกำลังไฟฟ้าสถิตที่น่าสนใจที่ถูกสร้างขึ้นเมื่อมีการใช้ไฟฟ้าระหว่างหวีแบบคงที่และการเคลื่อนย้ายทำให้พวกเขาได้รับการวาดด้วยกัน . แรงกระตุ้นการพัฒนาโดยเป็นสัดส่วนกับการเปลี่ยนแปลงในความจุระหว่างสองหวีที่เพิ่มขึ้นด้วยแรงดันขับรถจำนวนฟันหวีและช่องว่างระหว่างฟัน หวีจะจัดเพื่อที่พวกเขาไม่เคยสัมผัส (เพราะแล้วก็จะไม่มีความแตกต่างของแรงดันไฟฟ้า) โดยปกติฟันจะถูกจัดเรียงเพื่อให้พวกเขาสามารถเลื่อนที่ผ่านมาอีกคนหนึ่งจนฟันแต่ละครองสล็อตในหวีตรงข้าม