The calibration of stage error is r

The calibration of stage error is realized with self-calibration
algorithm, in which the measurement error is mainly introduced
by the grid plate error, stage error and random noise. Considering
the fact that the grid plate error and stage error are dominant in
magnitude, the main goal in the self-calibration is the separation
of grid plate error and stage error, by which the calibration of stage
error can be realized.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

การสอบเทียบของข้อผิดพลาดขั้นตอนถูกรับรู้ ด้วยการสอบเทียบด้วยตนเองอัลกอริทึม ซึ่งข้อผิดพลาดของการวัดเป็นส่วนใหญ่แนะนำโดยตารางแผ่นผิดพลาด ข้อผิดพลาดขั้น และสัญญาณรบกวนแบบสุ่ม พิจารณาความจริงที่ว่า ตารางแผ่นผิดพลาดและข้อผิดพลาดขั้นตอนมีความโดดเด่นในขนาด เป้าหมายหลักในการสอบเทียบด้วยตนเองคือ การแยกตารางแผ่นผิดพลาดและข้อผิดพลาดขั้น ซึ่งการสอบเทียบของเวทีสามารถรับรู้ข้อผิดพลาด

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

สอบเทียบความผิดพลาดขั้นตอนรู้ด้วยตนเองสอบเทียบ
ขั้นตอนวิธีการซึ่งในข้อผิดพลาดการวัดส่วนใหญ่เป็นที่รู้จัก
จากข้อผิดพลาดแผ่นตารางข้อผิดพลาดเวทีและสุ่มเสียง เมื่อพิจารณาจาก
ความจริงที่ว่าข้อผิดพลาดแผ่นตารางและความผิดพลาดในขั้นตอนเป็นที่โดดเด่นใน
มิติเป้าหมายหลักในการสอบเทียบด้วยตนเองคือการแยก
ของข้อผิดพลาดแผ่นตารางและความผิดพลาดในขั้นตอนโดยที่การสอบเทียบของเวที
ข้อผิดพลาดที่สามารถรับรู้

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ค่าความผิดพลาดเวทีเป็นตระหนักกับการสอบเทียบด้วยตนเองอัลกอริทึมซึ่งในการวัดความผิดพลาดจะแนะนำส่วนใหญ่โดยตารางแผ่นข้อผิดพลาดข้อผิดพลาดขั้นตอนและสัญญาณรบกวนแบบสุ่ม พิจารณาความจริงที่ว่าตารางแผ่นข้อผิดพลาดและข้อผิดพลาดจะเด่นในเวทีขนาด เป้าหมายหลักในการแยกตนเองเป็นข้อผิดพลาดและข้อผิดพลาดของแผ่นตารางขั้นตอนโดยขั้นตอนการสอบเทียบข้อผิดพลาดที่สามารถคิดได้