For the simulation, the pressure an

For the simulation, the pressure and the mass flow were set to 40 mTorr and 100 sccm, respectively.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

สำหรับการจำลองสถานการณ์ ความดันและการไหลโดยรวมถูกตั้งค่า 40 mTorr และ 100 sccm ตามลำดับ

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

สำหรับการจำลอง, ความดันและการไหลของมวลถูกกำหนดให้ 40 mTorr SCCM และ 100 ตามลำดับ

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

สำหรับ การจำลอง ความดันและการไหลของมวลที่ถูกตั้ง 40 mtorr และ 100 sccm ตามลำดับ