In this work, the n-type FET chips

In this work, the n-type FET chips were fabricated by Toppan Co.,Ltd. (Japan). Each FET chip consist of two gate electrodes in which the gate oxide surface is SiO2 layer on the Si substrate with a size of 1000 m in width and 10 m in length. All electrical measurements were performed using a digital source meter (Keithley 2612). X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) analysis was carried out for the specimens prepared not on FET chip but on Si wafer with SiO2 layer using a micro XPS instrument (PHI-5000 Versa Probe WS, ULVAC-PHI Inc.) with monochromatic Al K X-ray source.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ในงานนี้ ชิ FET ชนิด n ถูกประดิษฐ์ โดยนโม Co., Ltd. (ญี่ปุ่น) แต่ละชิ FET ประกอบด้วยอิเล็กโทรดสองประตูซึ่งประตูออกไซด์ผิวมีชั้น SiO2 บนพื้นผิวในขนาด 1000 เมตร ในความกว้าง และยาว 10 m วัดไฟฟ้าได้ทั้งหมดถูกดำเนินการโดยใช้เครื่องวัดแบบดิจิทัลมา (Keithley 2612) X-ray photoelectron มิก (XPS) วิเคราะห์ถูกดำเนินการสำหรับตัวอย่างเตรียมชิ FET แต่ บนแผ่นเวเฟอร์ซิไม่ มีชั้น SiO2 ด้วยมนตร์ Al K X-ray แหล่งเครื่อง XPS ไมโคร (พีพี-5000 กลับหัว WS, ULVAC พีพี Inc.)

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ในงานนี้ชิป FET ชนิดเอ็นถูกประดิษฐ์โดย Toppan จำกัด (ญี่ปุ่น) ชิป FET แต่ละประกอบด้วยสองขั้วไฟฟ้าประตูที่พื้นผิวประตูออกไซด์เป็นชั้น SiO2 บนพื้นผิวสีที่มีขนาดของ 1000? เมตรกว้างและ 10 เมตรยาว วัดไฟฟ้าทั้งหมดถูกดำเนินการโดยใช้เครื่องวัดแหล่งดิจิตอล (Keithley 2612) เอ็กซ์เรย์โฟโตอิเล็กตรอนสเปกโทรสโก (XPS) การวิเคราะห์ได้ดำเนินการสำหรับตัวอย่างที่จัดทำขึ้นไม่ได้อยู่ในชิป FET แต่ในศรีเวเฟอร์ด้วยชั้น SiO2 ใช้ XPS เครื่องมือ Micro (พี 5000 Versa Probe WS, ULVAC พีอิงค์) ที่มีสีเดียวอัล K ? แหล่งที่มาเอ็กซ์เรย์

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ในงานนี้ โดยทั่วไปสามารถชิปประดิษฐ์โดยทบพันจำกัด ( ประเทศญี่ปุ่น ) แต่ละเฟตชิปประกอบด้วยขั้วไฟฟ้าประตูสองประตู ออกไซด์ที่ผิวชั้นซิลิกอนไดออกไซด์ในจังหวัด ( มีขนาด 1000 เมตรกว้าง 10 เมตรในความยาว การวัดไฟฟ้าทั้งหมดคือการใช้เครื่องวัดแหล่งดิจิตอล ( คีธลี่ 2612 ) เครื่อง X-ray photoelectron spectroscopy ( XPS ) วิเคราะห์หาชิ้นงานที่เตรียมไม่เฟตชิปแต่ศรีเวเฟอร์ที่มีชั้นซิลิกอนไดออกไซด์โดยใช้เครื่องมือ XPS ( phi-5000 ในทางกลับกันไมโครโพรบ WS , ulvac-phi Inc . ) ด้วย monochromatic ล K แหล่งกำเนิดรังสีเอ็กซ์ .