Zirconium silicate (ZrSixOy) gate d

Zirconium silicate (ZrSixOy) gate dielectric films with ˜3-5 at. % Zr exhibit excellent electrical properties and high thermal stability in direct contact with Si. We demonstrate an equivalent oxide thickness of about 21 Å for a 50 Å ZrSixOy film sputter-deposited directly on a Si substrate, as measured by capacitance-voltage techniques, with a hysteresis shift less than 10 mV. Leakage currents for these films are very low, approximately 1×10-6 A/cm2 at 1.0 V bias in accumulation. Films ramped to hard breakdown exhibit breakdown fields Ebd ˜10 MV/cm. Excellent electrical properties are obtained with Au electrodes, in particular.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

เซอร์โคเนียมซิลิเก (ZrSixOy) ประตูเป็นฉนวนฟิล์มกับ ˜3-5 ที่ % Zr แสดงคุณสมบัติทางไฟฟ้าดีและมีเสถียรภาพความร้อนสูงติดต่อโดยตรงกับซี เราแสดงให้เห็นถึงความหนาของประมาณ 21 Åออกไซด์เท่าตัวสำหรับ a ฟิล์มÅ ZrSixOy 50 ฝาก sputter โดยตรงบนพื้นผิว a ศรี วัด โดยเทคนิคความแรง มีสัมผัส a เลื่อนน้อยกว่า 10 mV กระแสรั่วไหลสำหรับภาพยนตร์เหล่านี้จะต่ำมาก ประมาณ 1 × 10-6 A/cm2 ที่อคติ V 1.0 ในการสะสม ฟิล์ม ramped แบ่งยากแสดงแบ่งฟิลด์ Ebd ˜10 MV / cm. ไฟฟ้าคุณสมบัติจะได้รับกับหุงต Au โดยเฉพาะ

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

เซอร์โคเนียมซิลิเกต (ZrSixOy) ประตูหนังอิเล็กทริกที่มี ~3-5 ที่ % Zr จัดแสดงสมบัติทางไฟฟ้​​าที่ดีเยี่ยมและความร้อนสูงในการติดต่อโดยตรงกับศรี เราแสดงให้เห็นถึงความหนาออกไซด์เทียบเท่าประมาณ 21 สำหรับ 50 ZrSixOy ภาพยนตร์ปะทุฝากโดยตรงบนพื้นผิวศรีเป็นวัดโดยเทคนิคความจุแรงดันไฟฟ้าที่มีการเปลี่ยนแปลง hysteresis น้อยกว่า 10 mV การรั่วไหลของกระแสสำหรับภาพยนตร์เหล่านี้จะต่ำมากประมาณ 1 × 10-6 A / cm2 1.0 V อคติในการสะสม ภาพยนตร์ ramped ยากที่จะสลายการสลายจัดแสดงฟิลด์ EBD MV ~ 10 / cm คุณสมบัติไฟฟ้าที่ดีเยี่ยมจะได้รับกับขั้วไฟฟ้า Au โดยเฉพาะอย่างยิ่ง

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

เซอร์โคเนียมซิลิเกต ( zrsixoy ) ประตูฉนวนฟิล์มกับ˜ 3-5 ที่ % ZR แสดงคุณสมบัติที่ดีไฟฟ้าและเสถียรภาพทางความร้อนสูงในการติดต่อโดยตรงด้วยครับ เราแสดงให้เห็นความหนาของออกไซด์เทียบเท่าประมาณ 21 •สำหรับ 50 • zrsixoy ภาพยนตร์ละล่ำละลักฝากโดยตรงในจังหวัดทำการวัดโดยเทคนิคแรงดัน ความจุ กับแบบกะน้อยกว่า 10 MV .การรั่วไหลของกระแสเรื่องเหล่านี้น้อยมาก ประมาณ 1 ×สามารถ / cm2 ที่ 1.0 V อคติในการสะสม ภาพยนตร์ที่สร้างเพื่อการจัดแสดงแบ่งเขตติดตั้งยาก˜ 10 MV / เซนติเมตร คุณสมบัติทางไฟฟ้าที่ยอดเยี่ยมจะได้รับกับ Au ขั้วไฟฟ้าโดยเฉพาะ