The purpose of this work is to real

The purpose of this work is to realize a vacuum gauge for use in
dry air. Based on the hot wire anemometer principle and using a
micro thermocouple of 25.4
mm diameter, this gauge presents a weak response time (cut-off frequency of 5 Hz) and it is inert. The
local temperature information of the sensor can be deduced from
the relaxation cooling period while the signal frequency allows to
access to the vacuum pressure information. At the end of the
heating period t
h
the temperature of the Th
micro thermocouple
tends to that of the fluid temperature T
f
sens
. The experimental characterization
has shown that the optimum functioning is obtained
with low heating duration. The measuring range is 10
Pa
and the pressure sensitivity is good between 5 and 10 Pa and 2e
3 kPa. The best sensitivity in air is obtained for values of heating
current I
c
of 12 mA and heating duration t
of 40 ms. It has been
established that the sensor has a the best sensitivity S of 12.8 mHz/
Pa for vacuum in the range 30 Pae300 Pa and measures pressures
up to 10
5
h
E. Gavignet, F. Lanzetta / Vacuum 100 (2014) 18e21 21

1
Pa.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

วัตถุประสงค์ของงานนี้คือการ ตระหนักถึงวัดสุญญากาศสำหรับใช้ในอากาศแห้ง ตามหลัก anemometer ลวดร้อน และใช้เป็นthermocouple ไมโครของ 25.4มม.เส้นผ่าศูนย์กลาง อ่อนเวลา (ความถี่ตัดของ 5 Hz) นำเสนอมาตรวัดนี้ และเป็น inert ที่ข้อมูลเซนเซอร์อุณหภูมิภายในที่สามารถ deduced จากระยะเป็นการระบายความร้อนในขณะที่สัญญาณความถี่ที่ช่วยให้การเข้าถึงข้อมูลความดันสูญญากาศ เมื่อสิ้นสุดการความร้อนระยะเวลา thอุณหภูมิ Ththermocouple ไมโครมีแนวโน้มที่อุณหภูมิ fluid Tfเซ้นส์. จำแนกทดลองแสดงว่า ทำงานที่เหมาะสมได้รับด้วยความร้อนต่ำสุดระยะเวลาการ ช่วงการวัดคือ 10Paและความไวต่อดีระหว่าง 5 และ 10 Pa และ 2e3 kPa ความไวที่สุดในอากาศจะได้ค่าของความร้อนปัจจุบันฉันcของ 12 mA และความร้อนระยะเวลา tของนางสาว 40 แล้วก่อตั้งเซนเซอร์มีความไวที่สุด S ของ 12.8 mHz /ป่าในสุญญากาศในช่วง 30 Pae300 ป่าและวัดความดันถึง 105hE. Gavignet, F. Lanzetta / ดูด 100 18e21 (2014) 211Pa.

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

จุดประสงค์ของงานนี้ก็คือการตระหนักวัดสูญญากาศสำหรับใช้ในอากาศแห้ง
บนพื้นฐานของหลักการลวดร้อนเครื่องวัดความเร็วลมและการใช้ทนไมโคร 25.4 มิลลิเมตรเส้นผ่าศูนย์กลางวัดนี้มีการจัดเวลาการตอบสนองที่อ่อนแอ (ความถี่ตัด 5 เฮิร์ตซ์) และมันก็เป็นเฉื่อย ข้อมูลอุณหภูมิท้องถิ่นของเซ็นเซอร์จะสามารถสรุปได้จากระยะเวลาการระบายความร้อนผ่อนคลายในขณะที่ความถี่สัญญาณช่วยให้การเข้าถึงข้อมูลความดันสูญญากาศ ในตอนท้ายของระยะเวลาที่ร้อนทีเอชอุณหภูมิของTh ทนขนาดเล็กมีแนวโน้มที่จะว่าอุณหภูมิ uid ชั้น T ฉซองส์ ลักษณะการทดลองแสดงให้เห็นว่าการทำงานที่ดีที่สุดจะได้รับมีระยะเวลาความร้อนต่ำ ช่วงการวัด 10 ป่าและความไวความดันที่ดีระหว่าง 5 และ 10 และป่า 2e 3 กิโลปาสคาล ความไวที่ดีที่สุดในอากาศจะได้รับค่าของความร้อนในปัจจุบันผมค12 mA และระยะเวลาในการทำความร้อนที40 มิลลิวินาที มันได้รับการยอมรับว่าเซ็นเซอร์ที่มีความไวแสงที่ดีที่สุด S 12.8 เมกะเฮิรตซ์ / ป่าสูญญากาศในช่วง 30 Pae300 ป่าและความดันมาตรการถึง10 5 เอชอี Gavignet เอฟ Lanzetta / เครื่องดูดฝุ่น 100 (2014) 18e21 21 1 ป่า

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

วัตถุประสงค์ของงานนี้คือการตระหนักถึงสูญญากาศเครื่องวัดสำหรับใช้ใน
บริการอากาศ บนพื้นฐานของหลักการและการใช้ลวดร้อนเครื่องวัดความเร็วลม

ขนาด 25.4 มม. ไมโครเทอร์โมคัปเปิ้ล มาตรวัดนี้ นำเสนอการตอบสนองเวลาที่อ่อนแอ ( ตัดความถี่ 5 Hz ) และมันเป็นก๊าซเฉื่อย
ข้อมูลท้องถิ่นอุณหภูมิของเซ็นเซอร์สามารถ deduced จาก
ผ่อนคลายเย็นระยะเวลาในขณะที่สัญญาณความถี่ให้

การเข้าถึงความดันสูญญากาศข้อมูล ในตอนท้ายของช่วงเวลา T
H

ความร้อนอุณหภูมิของ th ไมโครเทอร์โมคัปเปิ้ล

มีแนวโน้มของfl uid อุณหภูมิ T
f
ปกติ


ลักษณะการทดลองได้แสดงให้เห็นว่า การทำงานที่เหมาะสมกับระยะเวลาที่ได้รับ
ความร้อนต่ำ ช่วงการวัด 10
PA
และความดันไวดีระหว่าง 5 และ 10 PA และ 2
3 กิโลปาสคาล .ความไวสูงสุดในอากาศจะได้ค่าความร้อน
C

ปัจจุบัน 12 มา ความร้อน และระยะเวลา T
40 คุณมี
จัดตั้งขึ้นที่เซนเซอร์ที่มีความไวที่สุดของ 12 MHz /
PA สำหรับสูญญากาศในความดัน 30 pae300 PA และวัดระยะได้ถึง 10

5
H
E gavignet , F . lanzetta / สุญญากาศ 100 ( 2014 ) 18e21 21

.

1