Puts restrictions for imaging of ma

Puts restrictions for imaging of magnetic specimens, which could be drawn inside lens
With negative consequences for the samples and the SEM. The advantage is that it has
Low aberrations, and the sample size is limited by the lens gap.
The aberrations of the final lens and consequently the resolution are controlled by
A final lens aperture, which affects the beam convergence angle.
The final lens aperture has three important effects on the final probe. First there is
An optimum aperture angle that minimizes aberrations. Second, the current in the final
Probe is controlled by the size of aperture. And third, theprobe convergence angle a
Controls the depth of field. Smaller a produces greater depth of field. Spot size in SEM is
Minimized at the expense of current.
The general approach in SEM is to minimize the probe diameter and maximize
The probe current. The minimum probe diameter depends on the spherical aberration of
The SEM electron optics, the gun source size, the electron optical brightness and the
Accelerating voltage.
The probe size, which directly effects resolution can be decreased by increasing the
Brightness. The electron optical brightness B is aparameter that is function of the
Electron gun performance and design. For all types of electron guns, brightness increases
Linearly with accelerating votage, so every electron source is 10 times as bright at 10 kV
As it is 1 kV. Decreasing the wavelength and the spherical aberration also decreases the
Probe size.
The maximumbeam current depends on several parameters. We can increase the
Brightness by increasing the accelerating voltage, the limiting tendency here is that
Increasing the accelerating voltage too much increases the volume of generation of X-
Rays and thuslimits resolution. As a consequence increasing the accelerating voltage can
Be done successfully up to about 30 kV, above that the resolution is effected negatively.
Decreasing the spherical aberration is another way of increasing the maximum
Current. This is achieved more successfully in the immersion type lenses. The above
Considerations for maximum probe current and minimum probe diameter ignore the
Contribution of chromatic aberration. These cannot be ignored when operating at low
Accelerating voltages in the range of 2 kV or less. The dependence of the probe current
Becomes much more complex due to the chromatic aberration term.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ทำให้ข้อจำกัดสำหรับภาพแม่เหล็กไว้เป็นตัวอย่าง ซึ่งสามารถวาดภายในเลนส์มีผลลบสำหรับตัวอย่าง SEM. ข้อดีคือ ว่าAberrations ต่ำ และขนาดตัวอย่างถูกจำกัด ด้วยช่วงเลนส์ ควบคุมโดย aberrations สุดท้ายเลนส์และดังนั้นการแก้ปัญหาตัวสุดท้ายเลนส์รูรับแสง ซึ่งมีผลต่อมุมบรรจบกันแสง สุดท้ายเลนส์รูรับแสงมีผลกระทบสำคัญสามโพรบขั้นสุดท้าย ก่อน มีมุมรูรับแสงที่เหมาะสมที่ช่วยลด aberrations สอง ปัจจุบันในสุดโพรบจะถูกควบคุม โดยขนาดของรูรับแสง และมุมบรรจบกัน theprobe สาม การควบคุมความลึกของฟิลด์ ขนาดเล็กการผลิตมากขึ้นลึกขึ้น ขนาดจุดใน SEMลดค่าใช้จ่ายปัจจุบัน วิธีทั่วไปใน SEM จะลดเส้นผ่าศูนย์กลางโพรบ และเพิ่มโพรบปัจจุบัน เส้นผ่าศูนย์กลางโพรบขั้นต่ำขึ้นอยู่กับความคลาดทรงกลมของเลนส์อิเล็กตรอน SEM ขนาดแหล่งปืน ความสว่างแสงอิเล็กตรอนและเร่งแรงขนาดโพรบ ซึ่งลักษณะการแก้ปัญหาโดยตรงสามารถลดลง โดยการเพิ่มการสว่าง ความสว่างแสงอิเล็กตรอน B คือ aparameter ที่ทำงานของการปืนอิเล็กตรอนประสิทธิภาพและออกแบบ ปืนอิเล็กตรอนทุกประเภท เพิ่มความสว่างเชิงเส้นเร่ง votage ดังนั้นทุกแหล่งอิเล็กตรอนเป็น 10 ครั้งเป็นสว่าง 10 kVมันเป็น 1 เควี ลดความคลาดทรงกลมและความยาวคลื่นลดลงยังโพรบขนาด Maximumbeam ปัจจุบันขึ้นอยู่กับพารามิเตอร์ต่าง ๆ เราสามารถเพิ่มการความสว่าง โดยการเพิ่มแรงดันไฟฟ้าปัจจุบัน แนวโน้มข้อจำกัดที่นี่คือเพิ่มแรงดันไฟฟ้าปัจจุบันมากเกินไปเพิ่มปริมาณของรุ่น X-ความละเอียดแสงและ thuslimits ผล การเพิ่มแรงดันไฟฟ้าปัจจุบันสามารถทำได้สำเร็จถึงประมาณ 30 kV เหนือที่การแก้ปัญหาผลกระทบทางลบ ลดความคลาดทรงกลมเป็นอีกวิธีหนึ่งของการเพิ่มสูงสุดปัจจุบัน นี้สามารถทำได้สำเร็จมากขึ้นในเลนส์ชนิดแช่ ข้างต้นละเว้นข้อควรพิจารณาสำหรับโพรบที่สูงสุดต่ำสุด และปัจจุบันโพรบเส้นผ่าศูนย์กลางสัดส่วนของโค้ทติ้งผ่านกระบวน เหล่านี้ไม่สามารถละเว้นได้เมื่อดำเนินการที่ต่ำเร่งแรงดันในช่วง 2 kV หรือน้อยกว่านั้น การพึ่งพาของโพรบปัจจุบันกลายเป็นความซับซ้อนมากขึ้นเนื่องจากระยะโค้ทติ้งผ่านกระบวน

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ทำให้มีข้อ จำกัด สำหรับการถ่ายภาพของตัวอย่างแม่เหล็กซึ่งสามารถวาดภายในเลนส์
ที่มีผลกระทบเชิงลบสำหรับตัวอย่างและ SEM ประโยชน์ก็คือว่ามันมี
ความผิดปรกติต่ำและขนาดของกลุ่มตัวอย่างจะถูก จำกัด โดยช่องว่างเลนส์.
ความผิดปรกติของเลนส์และสุดท้ายจึงมีความละเอียดถูกควบคุมโดย
รูรับแสงเลนส์สุดท้ายซึ่งมีผลกระทบต่อมุมบรรจบคาน.
รูรับแสงเลนส์สุดท้ายมี สามผลกระทบที่สำคัญในการไต่สวนขั้นสุดท้าย แรกมี
มุมรูรับแสงที่เหมาะสมที่ช่วยลดความผิดปรกติ ประการที่สองในปัจจุบันอยู่ในขั้นสุดท้าย
Probe จะถูกควบคุมโดยขนาดของรูรับแสง และสามมุมบรรจบ theprobe
ควบคุมความลึกของข้อมูล ที่มีขนาดเล็กผลิตลึกมากขึ้นของสนาม ขนาดของจุดใน SEM จะ
ลดค่าใช้จ่ายของปัจจุบัน.
วิธีการทั่วไปใน SEM คือการลดขนาดเส้นผ่าศูนย์กลางสอบสวนและเพิ่ม
เครื่องวัดกระแสไฟฟ้า สอบสวนเส้นผ่าศูนย์กลางขั้นต่ำขึ้นอยู่กับความผิดปกติของทรงกลม
เลนส์อิเล็กตรอน SEM ขนาดแหล่งปืน, ความสว่างแสงอิเล็กตรอนและ
แรงดันไฟฟ้าเร่ง.
ขนาดสอบสวนซึ่งความละเอียดผลกระทบโดยตรงสามารถจะลดลงโดยการเพิ่ม
ความสว่าง ความสว่างของแสงอิเล็กตรอน B เป็น aparameter ว่าเป็นหน้าที่ของ
ประสิทธิภาพการทำงานของปืนอิเล็กตรอนและการออกแบบ สำหรับทุกประเภทของปืนอิเล็กตรอนเพิ่มความสว่าง
เป็นเส้นตรงกับการเร่ง Votage ดังนั้นแหล่งที่มาทุกอิเล็กตรอนเป็น 10 ครั้งสดใสที่ 10 กิโลโวลต์
มันเป็น 1 กิโลโวลต์ ลดความยาวคลื่นและดาวฤกษ์ปกตินอกจากนี้ยังลด
ขนาด Probe.
ปัจจุบัน maximumbeam ขึ้นอยู่กับตัวแปรหลาย เราสามารถเพิ่ม
ความสว่างโดยการเพิ่มแรงดันไฟฟ้าเร่งแนวโน้ม จำกัด ที่นี่คือ
การเพิ่มแรงดันไฟฟ้าที่เร่งมากเกินไปเพิ่มปริมาณของรุ่น X-
Rays และความละเอียด thuslimits เป็นผลที่เพิ่มขึ้นแรงดันเร่งสามารถ
ทำได้สำเร็จได้ถึงประมาณ 30 กิโลโวลต์ดังกล่าวข้างต้นว่ามติจะมีผลในทางลบ.
ลดลงดาวฤกษ์ปกติเป็นวิธีการที่เพิ่มขึ้นสูงสุดอีก
ปัจจุบัน นี่คือความสำเร็จที่ประสบความสำเร็จมากขึ้นในเลนส์ชนิดแช่ ดังกล่าวข้างต้น
ควรพิจารณาสำหรับกระแสสูงสุดสอบสวนและเส้นผ่าศูนย์กลางสอบสวนขั้นต่ำไม่สนใจ
เงินสมทบของสีปกติ เหล่านี้ไม่สามารถละเว้นเมื่อการดำเนินงานที่ต่ำ
แรงดันไฟฟ้าที่เร่งตัวขึ้นในช่วง 2 กิโลโวลต์หรือน้อยกว่า การพึ่งพาอาศัยกันของการสืบสวนในปัจจุบัน
กลายเป็นความซับซ้อนมากขึ้นเนื่องจากระยะสีปกติ

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ทำให้ข้อ จำกัด สำหรับภาพตัวอย่างของแม่เหล็กที่สามารถวาดภายในเลนส์
กับผลลบสำหรับตัวอย่างและ SEM ข้อดีคือ มันมี
ต่ำของและขนาดตัวอย่างจะถูก จำกัด ด้วยเลนส์ 2 .
ความผิดปกติของเลนส์ และสุดท้ายจึงละเอียด ควบคุมโดย
รูรับแสงเลนส์สุดท้ายซึ่งมีผลต่อคานบรรจบมุม
รูรับแสงเลนส์สุดท้ายมีสามผลกระทบที่สำคัญในการสอบสวนครั้งสุดท้าย แรกมีรูรับแสงที่เหมาะสมมุม
ที่ช่วยลดความผิดปกติ . ประการที่สอง ปัจจุบันในการสอบสวนสุดท้าย
ถูกควบคุมโดยขนาดของรู และสาม theprobe บรรจบมุม
การควบคุมความลึกของเขตข้อมูล เล็กคมชัดลึกมากขึ้นของเขตข้อมูล ขนาดจุดใน SEM
น้อยที่สุดที่ค่าใช้จ่ายปัจจุบัน
วิธีการทั่วไปใน SEM คือการลดขนาดและเพิ่ม
สอบสวนสอบสวนในปัจจุบัน ขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางหัวขั้นต่ำขึ้นอยู่กับความผิดปกติทรงกลม
SEM อิเล็กตรอนเลนส์ ปืนแหล่งขนาดอิเล็กตรอนแสงความสว่างและ

) แรงดันไฟฟ้า ตรวจสอบขนาดโดยตรง ซึ่งผลความละเอียดลดลงได้โดยการเพิ่ม
ความสว่างอิเล็กตรอนแสงความสว่าง B คือ aparameter ที่เป็นฟังก์ชันของ
ปืนอิเล็กตรอนประสิทธิภาพและการออกแบบ สำหรับทุกประเภทของปืนอิเล็กตรอน ความสว่างเพิ่มขึ้น
เร่งตามผลต่าง ดังนั้นทุกอิเล็กตรอนมาเป็น 10 ครั้งเป็น 10 กิโลจ้า
เป็น 1 กิโล . ลดแสงและสีทรงกลมยังลด

หัวขนาดการ maximumbeam ในปัจจุบันขึ้นอยู่กับตัวแปรหลาย เราสามารถเพิ่มความสว่างโดยการเพิ่มแรงดัน
เร่ง จํากัด แนวโน้มที่นี่คือ
เพิ่มเร่งแรงดันมากเกินไป เพิ่มปริมาณการผลิตของ x -
rays และ thuslimits ความละเอียด เป็นผลมาจากการเร่งแรงดันสามารถ
เสร็จเรียบร้อยแล้วถึงประมาณ 30 กิโลข้างบนที่ ความละเอียด ได้รับผลกระทบในทางลบ
ลดความผิดปกติทรงกลม เป็นอีกวิธีหนึ่งของการเพิ่มสูงสุด
ปัจจุบัน นี่คือความสำเร็จมากขึ้นในการแช่ประเภทเลนส์ ข้างบน
การพิจารณาสอบสวนและต่ำสุดสูงสุดในปัจจุบันละเลยเส้นผ่าศูนย์กลางสอบสวน
ผลงานของความคลาดสี . เหล่านี้ไม่สามารถปฏิเสธได้เมื่ออุณหภูมิต่ำ
เร่งแรงดันไฟฟ้าในช่วง 2 กิโล หรือน้อยกว่า อิสระของการสอบสวนในปัจจุบัน
กลายเป็นความซับซ้อนมากขึ้นเนื่องจากระยะสี chromatic .