Figure 4. Fabrication flow of the t

Figure 4. Fabrication flow of the thermoelectric generator, (a) after completion of the
CMOS process; (b) etching the oxide sacrificial layer; (c) etching the silicon substrate

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

รูปที่ 4 ขั้นตอนการผลิตของเครื่องกำเนิดไฟฟ้าแบบเทอร์โมอิเล็กทริกส์ เสร็จสมบูรณ์ (a) หลังจาก
CMOS ประมวลผล (ข) ชั้นบูชาออกไซด์ แกะสลัก (ค) การแกะสลักพื้นผิวซิลิกอน

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

. รูปที่ 4 การไหลของการประดิษฐ์เครื่องกำเนิดไฟฟ้าเทอร์โม (ก) หลังจากเสร็จสิ้น
กระบวนการ CMOS; (ข) การแกะสลักชั้นออกไซด์เสียสละ; (ค) การแกะสลักพื้นผิวซิลิกอน

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

รูปที่ 4 การไหลของเครื่องกำเนิดไฟฟ้าเทอร์โม ( ) หลังจากเสร็จสิ้นกระบวนการ CMOS
; ( b ) การเสียสละของชั้นออกไซด์ ; ( c ) การใช้ซิลิคอน