However, processing speed has been

However, processing speed has been a problem with these lasers. It has been demonstrated that with existing femtosecond laser system s same processing speed than with mechanical dicing can be achieved only when material thickness is in the rang e of 1 0 µm [8].
Furthermore, ultra-short pulse lasers have been complex, large, expensive systems and difficult to control, thus being unsuitable for integration with semiconductor production lines.

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

แต่ความเร็วในการประมวลได้รับปัญหากับเลเซอร์เหล่านี้ มันได้รับการแสดงให้เห็นว่ามีที่มีอยู่ในระบบเลเซอร์ femtosecond s ความเร็วในการประมวลเดียวกันกว่ากับ dicing กลสามารถทำได้เฉพาะเมื่อความหนาของวัสดุที่มีใน e รังของ 1 0 ไมโครเมตร [8].
นอกจากนี้เลเซอร์ชีพจรพิเศษสั้นได้รับความซับซ้อนขนาดใหญ่ ระบบมีราคาแพงและยากที่จะควบคุมจึงเป็นไม่เหมาะสมสำหรับการทำงานร่วมกับสายการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

อย่างไรก็ตาม ความเร็วในการประมวลผลมีปัญหากับเลเซอร์เหล่านี้ มันได้ถูกแสดงให้กับระบบที่มีอยู่เลเซอร์ femtosecond คือ ความเร็วในการประมวลผลเดียวกันกว่ากล dicing สามารถเกิดขึ้นได้เฉพาะเมื่อความหนาของวัสดุที่อยู่ในรัง e 1 0 µ m [ 8 ]
นอกจากนี้ อัลตร้าสั้นชีพจรเลเซอร์ได้รับซับซ้อน , ขนาดใหญ่ , ระบบแพงและยากที่จะควบคุมดังนั้นการไม่เหมาะสมสำหรับรวมกับสายการผลิตเซมิคอนดักเตอร์