Davis and Weissprovide many benefit

Davis and Weiss
provide many benefits of an automating wafer material
handling in a wafer fab such as an increase of yield rate,
the reduced cycle time and particle contamination, etc.
Successful implementation of an AMHS begins with the
collection of all the necessary information and ends with
the installation, testing, and operation of the equipment.
The effect factors of the AMHS performance are
described as follows:

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

เดวิสและไวส์
ให้ประโยชน์มากมายของวัสดุอัตโนมัติเวเฟอร์
การจัดการในเวเฟอร์แฟบเช่นการเพิ่มขึ้นของอัตราผลตอบแทนและลดรอบเวลา

การปนเปื้อนอนุภาค ฯลฯ ความสำเร็จของการใช้เป็น amhs เริ่มต้นด้วย
รวบรวมข้อมูลที่จำเป็นทั้งหมดและสิ้นสุดกับ
การติดตั้ง ทดสอบ และการดำเนินงานของ อุปกรณ์
ปัจจัยที่มีผลต่อการปฏิบัติงานของ amhs
อธิบายดังนี้ :