The sputtering of diamond-like carb

The sputtering of diamond-like carbon (DLC) was investigated using Xe ion bombardment from the laser plasma X-ray source (LPX). The LPX we developed uses a solid Xe target and emits UV–X-rays and Xe ions. Using the LPX as an ion source, we measured etching depths of DLC, Ru, and Au films using a quartz crystal microbalance (QCM) to determine their ion sputtering rates at incident angles of 0° and 70°. The calculated results by the SRIM code were able to predict the measured results, except for the case of the DLC film at 0° incident. Our measured result indicated that the DLC sputtering at 0° was ten times larger than previously reported data, in which an ion gun was used. We consider that the difference was a characteristic effect of the laser plasma, and can be explained as a synergistic effect of ion bombardment and UV radiation from the Xe plasma.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

สปัตเตอร์ของคาร์บอนคล้ายเพชร (DLC) ถูกตรวจสอบโดยใช้การระดมยิงไอออน Xe จากเลเซอร์พลาสม่าเอ็กซ์เรย์ต้น (LPX) LPX เราพัฒนาใช้เป้าหมาย Xe ของแข็ง และปล่อยรังสี – X และไอออน Xe เราใช้ LPX ที่เป็นแหล่งที่มีไอออน วัดแกะสลักลึกใช้เป็นเครื่องชั่งระดับผลึก (QCM) เพื่อตรวจสอบไอออนของพวกเขามุมตกกระทบของ 0° และ 70° สปัตเตอร์ฟิล์ม DLC, Ru และ Au ผลลัพธ์คำนวณได้ โดยรหัส SRIM ก็สามารถที่จะทำนายผลการวัดได้ ยกเว้นกรณีของฟิล์ม DLC ที่เหตุการณ์ 0 ° ผลการวัดของเราระบุว่า DLC สปัตเตอร์ที่ 0° เป็นสิบครั้งมีขนาดใหญ่กว่าข้อมูลรายงานก่อนหน้านี้ ในการใช้ปืนเป็นไอออน เราพิจารณาว่า ความแตกต่างมีผลกระทบต่อลักษณะของพลาสม่าเลเซอร์ และสามารถอธิบายได้เป็นการเสริมฤทธิ์ของการระดมยิงไอออนและรังสียูวีจากพลาสม่า Xe

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

สปัตเตอร์ของเพชรเหมือนคาร์บอนไดออกไซด์ (DLC) ถูกตรวจสอบโดยใช้การโจมตีไอออน Xe จากแหล่งเลเซอร์พลาสม่าเอ็กซ์เรย์ (LPX) LPX เราพัฒนาใช้เป้าหมาย Xe ของแข็งและส่งเสียง UV-X-ray และ Xe ไอออน ใช้เป็นแหล่ง LPX ไอออนเราวัดความลึกของการแกะสลักหนัง DLC, RU และ Au ใช้ผลึกควอทซ์ไมโคร (QCM) เพื่อกำหนดอัตราสปัตเตอร์ไอออนของพวกเขาในมุมของเหตุการณ์ที่เกิดขึ้น 0 °และ 70 ° ผลการคำนวณโดยใช้รหัส Srim ก็สามารถที่จะทำนายผลที่วัดได้ยกเว้นกรณีของฟิล์มบาง DLC ที่ 0 °เหตุการณ์ที่เกิดขึ้น ผลการวัดของเราแสดงให้เห็นว่าที่ DLC สปัตเตอร์ที่ 0 °เป็นสิบครั้งใหญ่กว่ารายงานข้อมูลซึ่งในปืนไอออนถูกนำมาใช้ก่อนหน้านี้ เราพิจารณาว่าความแตกต่างเป็นผลลักษณะของพลาสม่าเลเซอร์และสามารถอธิบายได้เป็นผลกันอย่างลงตัวของการโจมตีไอออนและรังสียูวีจากพลาสม่า Xe

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

การสปัตเตอร์คาร์บอนคล้ายเพชร ( DLC ) คือเมื่อใช้โจมตีกลุ่มไอออนจากเลเซอร์พลาสมาแหล่งกำเนิดรังสีเอ็กซ์ ( lpx ) การ lpx เราพัฒนาใช้เป้าหมายกลุ่มที่มั่นคงและปล่อย UV –รังสีเอกซ์และแซ ไอออน การใช้ lpx เป็นแหล่งกำเนิดไอออนที่เราวัดแกะสลักลึกของ DLC , รู และ AU ภาพยนตร์โดยใช้คริสตัลควอตซ์ microbalance ( QCM ) ศึกษารายละเอียดสราคาที่มุม 0 องศา และ ขึ้น 70 องศา . ผลการคํานวณโดยสริมรหัส สามารถทำนายผลการวัด ยกเว้นกรณีของฟิล์ม DLC ที่ 0 องศานะครับ เราได้พบว่า DLC Sputtering ที่ 0 องศามากกว่าก่อนหน้านี้รายงานข้อมูล 10 ครั้ง ซึ่งในไอออน ปืนที่ใช้ เราพิจารณาที่แตกต่าง ผล ลักษณะของ เลเซอร์ พลาสม่า และสามารถอธิบายเป็น Effect ที่โจมตีไอออนและรังสี UV จากกลุ่มพลาสมา