Therefore, at the first step of bub

Therefore, at the first step of bubble preliminary investigation, the
sputtered area and bubbles were observed by Energy-dispersive Xray
spectroscopy (EDS) analysis to confirm whether there was Ar
gas inside those bubbles. However, Argon could not be detected by
the EDS of the field emission-SEM (JEOL, JSM-7300F).
Fig. 3(d) presents damage from the micro arc discharge [7]
during discharge. After micro plasma was generated using the 2.5
sccm GFR condition for approximately 30 s, an arc discharge could
be seen on an oscilloscope monitor monitoring the discharge
current waveform. For long time plasma operation, the arc
discharge is initiated because high Id can cause an increase in
electrode temperature. The arc discharge occurs when the electrode
temperature is high enough for thermionic electron emission
[2]. The discharge current waveform changed from linear line to
a short pulse and back to linear line in less than a nano second
(approximately 0.55 ns) when a micro arc discharge occurred, and
the frequency of the arc discharge increased when Td increased. The
number of melting spots caused by the micro arc discharge has
consistency with the number of observed short pulses on the
oscilloscope monitor. In addition, heating from the arc discharge
caused Si peeling.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ในขั้นตอนแรกของฟองตรวจสอบเบื้องต้น ดังนั้น การตั้ง sputtered และฟองอากาศถูกสังเกต โดยพลังงาน dispersive Xrayก (EDS) วิเคราะห์เพื่อยืนยันว่า มี Arแก๊สภายในฟองอากาศเหล่านั้น อย่างไรก็ตาม อาร์กอนไม่พบโดยEDS ของมลพิษฟิลด์-SEM (JEOL, JSM-7300F)Fig. 3(d) นำเสนอความเสียหายจากส่วนโค้งขนาดเล็กจำหน่าย [7]ในระหว่างการปลดประจำการ หลังจากสร้างไมโครพลาสมาโดยใช้ 2.5sccm GFR เงื่อนไขสำหรับประมาณ 30 สามารถปลดประจำการโค้ง sสามารถดูได้บนจอภาพ oscilloscope ตรวจสอบจำหน่ายปัจจุบันรูปคลื่น สำหรับระยะยาวเวลาพลาสม่าดำเนิน อาร์คจำหน่ายจะเริ่มต้นได้เนื่องจากรหัสสูงอาจทำให้เกิดการเพิ่มขึ้นอุณหภูมิอิเล็กโทรด ปล่อยอาร์คเกิดขึ้นเมื่อการไฟฟ้าอุณหภูมิไม่สูงพอสำหรับอิเล็กตรอน thermionic เล็ดรอด[2] ปล่อยรูปคลื่นปัจจุบันเปลี่ยนจากเส้นบรรทัดชีพจรสั้นและกลับไปเส้นบรรทัดในน้อยกว่า เป็นนาโนวินาที(ประมาณ 0.55 ns) เมื่อปล่อยไมโครอาร์เกิดขึ้น และความถี่ของการปล่อยออกของส่วนโค้งเพิ่มขึ้นเมื่อเพิ่ม Td ที่มีจำนวนของจุดละลายที่เกิดจากการปล่อยอาร์ไมโครความสอดคล้องกับจำนวนพัลส์สั้น ๆ พบในการoscilloscope ตรวจสอบ นอกจากนี้ ความร้อนจากการปล่อยออกโค้งเกิดศรีปอก

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ดังนั้นในขั้นตอนแรกของฟองสอบสวนเบื้องต้น
พื้นที่ sputtered และฟองอากาศถูกตั้งข้อสังเกตโดยพลังงานกระจาย Xray
สเปกโทรสโก (EDS) การวิเคราะห์เพื่อยืนยันว่ามี Ar
ก๊าซภายในฟองอากาศเหล่านั้น อย่างไรก็ตามอาร์กอนไม่สามารถตรวจพบโดย
EDS ของสนามปล่อย SEM (JEOL, JSM-7300F).
รูป 3 (ง) นำเสนอความเสียหายจากโค้งไมโครปล่อย [7]
ในช่วงปล่อย หลังจากที่พลาสม่าขนาดเล็กได้รับการสร้างขึ้นโดยใช้ 2.5
สภาพ SCCM GFR ประมาณ 30 วินาที, โค้งออกสามารถ
มองเห็นได้บนจอแสดงผลสโคปตรวจสอบการปล่อย
สัญญาณปัจจุบัน สำหรับการดำเนินการพลาสม่าเวลานานโค้ง
ปล่อยจะเริ่มต้นเพราะ Id สูงสามารถทำให้เกิดการเพิ่มขึ้นของ
อุณหภูมิอิเล็กโทรด โค้งออกเกิดขึ้นเมื่อขั้ว
อุณหภูมิสูงพอสำหรับการปล่อยอิเล็กตรอน thermionic
[2] ปล่อยสัญญาณปัจจุบันเปลี่ยนจากเส้นเส้น
ชีพจรสั้นและกลับไปที่เส้นเชิงเส้นในเวลาน้อยกว่าสองนาโน
(ประมาณ 0.55 ns) เมื่อโค้งออกไมโครเกิดขึ้นและ
ความถี่ของการโค้งออกเพิ่มขึ้นเมื่อ Td เพิ่มขึ้น
จำนวนจุดหลอมละลายที่เกิดจากการปล่อยโค้งขนาดเล็กมี
ความสอดคล้องกับจำนวนของพัลส์สั้นสังเกตบน
จอภาพสโคป นอกจากนี้ความร้อนจากการปล่อยโค้ง
ที่เกิดศรีปอกเปลือก

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ดังนั้นในขั้นตอนแรกของฟองการสืบสวนเบื้องต้น
sputtered พื้นที่และฟองพบพลังงานกระจายตัว Xray
spectroscopy ( EDS ) การวิเคราะห์ข้อมูลเพื่อยืนยันว่ามี AR
ก๊าซที่อยู่ภายในฟองเหล่านั้น อย่างไรก็ตาม อาร์กอน ไม่สามารถตรวจพบโดย
ด้านการ SEM EDS ( Jeol jsm-7300f , )
( D ) รูปที่ 3 แสดงความเสียหายจากไมโครอาร์คปล่อย [ 7 ]
ในระหว่างการปล่อยหลังจากที่ไมโครพลาสมาถูกสร้างโดยใช้ 2.5
sccm GFR สภาพประมาณ 30 วินาที ชาร์จจะอาร์ค
เห็นบนจอภาพตรวจสอบออสซิลโลสโคปปล่อย
ปัจจุบันสัญญาณ สำหรับงานพลาสมาอาร์ค
นาน การริเริ่ม เพราะว่า ID สูงสามารถก่อให้เกิดการเพิ่มขึ้น
อุณหภูมิอิเล็กโทรด อาร์คปล่อยเกิดขึ้นเมื่อขั้ว
อุณหภูมิสูงพอสำหรับเธอไม นอิเล็กตรอนออก
[ 2 ] ปล่อยกระแสสัญญาณเปลี่ยนจากสายเส้น

ชีพจรสั้นและกลับเส้นเชิงเส้นในน้อยกว่าสองนาโน
( ประมาณ 0.55 NS ) เมื่อปล่อยอาร์คขนาดเล็กเกิดขึ้น และความถี่ของ ARC จำหน่าย
เมื่อ TD เพิ่มขึ้นเพิ่มขึ้น
จำนวนของจุดที่เกิดจากการอาร์คหลอมละลายได้
ไมโครสอดคล้องกับตัวเลขของสังเกตสั้นกะพริบบน
ลักษณะจอภาพ นอกจากนี้ ความร้อนจากการอาร์ค ทำให้ศรี

การปอกเปลือก