The rotation of the platen will dir

The rotation of the platen will direct the gases across the wafers and out through separate exhausts, thus keeping the gases separate in the reactor chamber.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

การหมุนของแท่นวางจะนำแก็สผ่านเว และออกผ่านแยกหมดแรง จึงทำ ให้ก๊าซแยกต่างหากในห้องเครื่องปฏิกรณ์

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

การหมุนของแผ่นจะนำก๊าซทั่วเวเฟอร์และออกผ่านหลักสี่แยกต่างหากจึงทำให้ก๊าซในห้องแยกเครื่องปฏิกรณ์

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

การหมุนของลูกกลิ้งจะส่งก๊าซผ่านเวเฟอร์และออกผ่านแยกเครื่องจักร จึงทำให้ก๊าซในปฏิกรณ์แยกห้อง