A non-unidirectional airflow cleanr

A non-unidirectional airflow cleanroom in electronic industries is prone to be challenged by the wide spread of hot air and contaminants dissipated from process tools to surrounding area, resulting from the collision of the uprising hot air current from the tools and the downward cold air from ceilings. To effectively remove the dissipated heat and maintain the required cleanliness level, we proposed an innovative fan dry coil unit (FDCU) return air system (referring to ), consisting of ceiling-supply grilles and ceiling-return fans/coils, and demonstrated that the FDCU-return air system can effectively eliminate sub-micron particles from the cleanroom, compared with a conventional ceiling-supply and wall-return air system . This study further investigated the effect of the heat dissipation from the tools on airflow characteristics and temperature distribution in the FDCU-return and wall-return airflow type cleanrooms. Comparisons of velocity vector, turbulence intensity, and temperature distribution between the FDCU-return air system and the conventional wall-return air system were presented. The results showed that the FDCU-return air system can significantly provide better air motion characteristics and temperature distribution in a high heat source case in comparison with the wall-return air system.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

สะอาดไหลเวียนของอากาศไม่ทิศทางเดียวในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์มีแนวโน้มที่จะได้รับการท้าทายจากการแพร่กระจายกว้างของอากาศร้อนและสารปนเปื้อนกระจายไปจากเครื่องมือกระบวนการไปยังพื้นที่โดยรอบที่เกิดจากการชนกันของการจลาจลในปัจจุบันอากาศร้อนจากเครื่องมือและอากาศเย็นลงจาก เพดาน อย่างมีประสิทธิภาพลบความร้อนสำมะเลเทเมาและรักษาระดับความสะอาดที่จำเป็นเรานำเสนอหน่วยนวัตกรรมพัดลมคอยล์แห้ง (fdcu) ระบบผลตอบแทนอากาศ (หมายถึง) ประกอบด้วยลูกกรงเพดานอุปทานและเพดานผลตอบแทนแฟน / ขดลวดและแสดงให้เห็นว่าระบบอากาศ fdcu กลับมีประสิทธิภาพสามารถกำจัดอนุภาคย่อยไมครอนจาก คลีนรูมเมื่อเทียบกับเพดานผนังอุปทานและผลตอบแทนของระบบปรับอากาศแบบธรรมดาการศึกษานี้ต่อไปการตรวจสอบผลกระทบของการกระจายความร้อนที่ได้จากเครื่องมือที่อยู่กับลักษณะการไหลของอากาศและการกระจายอุณหภูมิใน fdcu กลับและผนังกลับชนิดลมคลีนรูม การเปรียบเทียบของเวกเตอร์ความเร็วความเข้มความวุ่นวายและการกระจายของอุณหภูมิระหว่างระบบอากาศ fdcu กลับและระบบอากาศผนังกลับมาชุมนุมที่มีการนำเสนอผลการศึกษาพบว่าระบบอากาศ fdcu กลับอย่างมีนัยสำคัญสามารถให้ลักษณะการเคลื่อนไหวของอากาศที่ดีขึ้นและการกระจายอุณหภูมิความร้อนในกรณีที่แหล่งที่สูงเมื่อเทียบกับระบบอากาศผนังกลับ

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

คลีนรูมมีทิศทางไหลของอากาศในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์มีแนวโน้มที่จะถูกท้าทาย โดยกว้างของอากาศร้อนและสารปนเปื้อนจากกระบวนการเครื่องมือ dissipated บริเวณ เกิดจากการชนกันของอากาศร้อนมากมีปัจจุบันจากเครื่องมือและอากาศเย็นลงจากเพดาน เอาความร้อน dissipated ได้อย่างมีประสิทธิภาพ และรักษาระดับความสะอาดที่จำเป็น เรานำเสนอนวัตกรรมใหม่พัดลมแห้งม้วนหน่วย (FDCU) กลับระบบการ (อ้างถึง), ประกอบด้วยถึงตะแกรงเพดานซัพพลายและพัดลมเพดานกลับ/ขดลวด และแสดงว่า ระบบแอร์ FDCU กลับได้อย่างมีประสิทธิภาพสามารถกำจัดอนุภาคย่อยไมครอนจากคลีนรูม เมื่อเทียบกับอุปทานเพดานธรรมดาและระบบอากาศผนังกลับ ศึกษาเพิ่มเติมตรวจสอบผลของการกระจายความร้อนจากเครื่องมือลักษณะการไหลของอากาศและการกระจายอุณหภูมิในเที่ยวกลับ FDCU และ cleanrooms ชนิดผนังกลับไหลเวียนของอากาศ มีแสดงเปรียบเทียบของเวกเตอร์ความเร็ว ความวุ่นวายความรุนแรง และการกระจายอุณหภูมิระหว่างระบบอากาศกลับ FDCU และระบบอากาศกลับผนังทั่วไป ผลลัพธ์แสดงให้เห็นว่า ระบบแอร์ FDCU กลับสามารถมากให้ลักษณะเคลื่อนไหวของอากาศดีขึ้นและการกระจายอุณหภูมิในกรณีแหล่งความร้อนสูงเมื่อเปรียบเทียบกับระบบแอร์ผนังกลับ

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

cleanroom ไม่ใช่ - ชนิดทิศทางเดียวการไหลเวียนของอากาศที่อยู่ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์จะมีแนวโน้มที่จะได้ถูกท้าทายโดยแผ่ออกกว้างของอากาศร้อนและสิ่งปนเปื้อนเหือดหายไปจากเครื่องมือกระบวนการในพื้นที่โดยรอบซึ่งเป็นผลจากการชนจากทางออกของทางอากาศร้อนในปัจจุบันการจลาจลจากเครื่องมือและอากาศเย็นลงจากเพดาน ในการถอดความร้อนได้อย่างมี ประสิทธิภาพ ไต้ฝุ่นและรักษาระดับความสะอาดที่ต้องการเราขอเสนอเป็นนวัตกรรมใหม่,พัดลม,แห้ง,ทริปคอยล์ชุด( fdcu )กลับมาอากาศในระบบ(ดูใน)ที่ประกอบด้วยเพดาน - พาวเวอร์ซัพพลายตะแกรงช่องลมและเพดานทรง - กลับไปพัดลม/ขดและแสดงให้เห็นว่าระบบปรับอากาศ fdcu - กลับไปที่สามารถขจัด อนุภาค ขนาดเล็กย่อย - Micron จาก cleanroom ซึ่งเมื่อเปรียบเทียบกับระบบปรับอากาศไปจนถึงเพดาน - พาวเวอร์ซัพพลายและผนังกลับไปแบบเดิมได้อย่างมี ประสิทธิภาพการศึกษานี้ต่อไปการสอบสวนมีผลของการกระจายความร้อนออกจากเครื่องมือที่ อุณหภูมิ ในการจัดจำหน่ายและลักษณะการไหลเวียนของอากาศใน cleanrooms fdcu - กลับไปและผนังกลับไปการไหลเวียนของอากาศที่พิมพ์ การเปรียบเทียบในการกระจาย อุณหภูมิ และความเข้มของแสงปั่นป่วนหรือความเร็วระหว่างระบบปรับอากาศ fdcu - กลับไปแบบเดิมและที่ผนัง - กลับไปที่ระบบปรับอากาศรับมอบผลที่ได้แสดงให้เห็นว่าระบบปรับอากาศ fdcu - กลับไปที่จะสามารถให้การกระจาย อุณหภูมิ และลักษณะการเคลื่อนไหวทางอากาศได้ดีขึ้นในกรณีแหล่งความร้อนสูงในการเปรียบเทียบกับระบบปรับอากาศบนผนัง - กลับมาอย่างเห็นได้ชัด