The Crystal Structure of SiliconSin

The Crystal Structure of Silicon
Since TMAH is an anisotropic etchant, the structure etched in TMAH are usually
formed by several special planes of silicon. In order to get a good understanding
of TMAH etching, we should first know the crystal structure of silicon.
The crystal structure of silicon is that of the diamond type with lattice constant
a = 5.43A˙
. The structure is face centered cubic(FCC) but with two atoms in the
unit cell. The following figure shows the atom lattice of silicon and some facets of
the silicon crystal.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

โครงสร้างผลึกของซิลิคอนเนื่องจาก TMAH เป็น etchant เป็น anisotropic โครงสร้างที่ฝังใน TMAH มักเกิดขึ้นจากหลายเครื่องบินพิเศษของซิลิกอน เพื่อให้เข้าใจดีของ TMAH กัด เราควรรู้ว่าโครงสร้างผลึกของซิลิคอนโครงสร้างผลึกของซิลิคอนคือแบบเพชรมีค่าคงของโครงตาข่ายประกอบ= 5.43A˙. โครงสร้างเป็น cubic(FCC) หน้าแปลกแต่ มีอะตอมสองในการเซลล์หน่วย รูปต่อไปนี้แสดงโครงตาข่ายประกอบอะตอมของซิลิคอนและบางแง่มุมของผลึกซิลิกอนที่

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

โครงสร้างผลึกของซิลิกอนตั้งแต่ TMAH เป็น etchant anisotropic โครงสร้างฝังใน TMAH มักจะเกิดขึ้นโดยเครื่องบินพิเศษหลายซิลิกอน เพื่อให้ได้รับความเข้าใจที่ดีของการแกะสลัก TMAH เราควรรู้ว่าโครงสร้างผลึกของซิลิกอน. โครงสร้างผลึกของซิลิกอนเป็นที่ของเพชรชนิดที่มีตาข่ายคงที่A = 5.43A˙ โครงสร้างใบหน้าศูนย์กลางลูกบาศก์ (FCC) แต่มีสองอะตอมในหน่วยเซลล์ รูปต่อไปนี้แสดงให้เห็นตาข่ายอะตอมของซิลิกอนและบางแง่มุมของผลึกซิลิกอน

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

โครงสร้างผลึกซิลิคอน
ตั้งแต่ tmah เป็น etchant อุบ โครงสร้าง อยู่ใน tmah มักจะ
รูปแบบโดยเครื่องบินพิเศษต่าง ๆของซิลิคอน เพื่อที่จะได้รับความเข้าใจที่ดีของ tmah
ฮิง เราควรจะทราบก่อนว่าโครงสร้างผลึกซิลิคอน .
โครงสร้างผลึกซิลิคอนคือของประเภทเพชรกับตาข่ายคงที่ 5.43a ˙
=
โครงสร้างลูกบาศก์ ( FCC ) แต่ด้วยสองอะตอมใน
หน่วยเซลล์ รูปต่อไปนี้แสดงให้เห็นว่าอะตอมแลตทิซของซิลิคอนและบางแง่มุมของ
ซิลิคอนคริสตัล