We report on results achieved with

We report on results achieved with three different types of polymer-coated chemical microsensors fabricated in industrial CMOS

technology followed by post-CMOS anisotropic etching and film deposition. The first and most extensively studied transducer is a

microcapacitor sensitive to changes in dielectric properties of the polymer layer upon analyte absorption. An on-chip integrated

SD-converter allows for detecting the minute capacitance changes. The second transducer is a resonant cantilever sensitive to

predominantly mass changes. The cantilever is electrothermally excited; its vibrations are detected using a piezoresistive Wheatstone

bridge. In analogy to acoustic wave devices, analyte absorption in the polymer causes resonance frequency shifts as a consequence of

changes in the oscillating mass. The last transducer is a microcalorimeter consisting of a polymer-coated sensing thermopile and an

uncoated reference thermopile each on micromachined membranes. The measurand is the absorption or desorption heat of organic

volatiles in the polymer layer. The difference between the resulting thermovoltages is processed with an on-chip low-noise differential

amplifier. Gas test measurements with all three transducer principles will be presented. The goal is to combine the three different

transducer principles and vary the polymers in an array type structure to build a new generation of application-specific microsensor

systems. q 2000 Elsevier Science B.V. All rights reserved.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

เรารายงานผลได้กับชนิดของพอลิเมอร์เคลือบ microsensors เคมีที่ประดิษฐ์ใน CMOS อุตสาหกรรมเทคโนโลยีตาม ด้วย CMOS โพสต์ศาตร์แกะสลักและฟิล์มสะสม พิกัดแรก และศึกษาอย่างกว้างขวางมากที่สุดคือการmicrocapacitor ความไวต่อการเปลี่ยนแปลงในคุณสมบัติการเป็นฉนวนของพอลิเมอร์ชั้นเมื่อการดูดซึมของ analyte การบนชิพรวมตัวแปลง SD ช่วยให้ตรวจจับการเปลี่ยนแปลงความจุนาที พิกัดที่สองคือ การเรโซแนนซ์ cantilever ที่ไวต่อการเปลี่ยนแปลงมวลชนส่วนใหญ่ Electrothermally รู้สึกตื่นเต้น cantilever ตรวจพบความสั่นสะเทือนโดยใช้ piezoresistive วีตสโตนสะพาน ในเปรียบเทียบอุปกรณ์คลื่นเสียง การดูดซึมของ analyte ในลิเมอร์กะความถี่เรโซแนนซ์เป็น consequence ของการทำให้การเปลี่ยนแปลงในมวลสั่น พิกัดสุดท้ายเป็น microcalorimeter ที่ประกอบด้วยพอลิเมอร์เคลือบ thermopile ตรวจวัด และการอ้างอิงเคลือบผิว thermopile แต่ละบนเยื่อ micromachined Measurand เป็นความร้อนที่คายออกหรือดูดซึมของอินทรีย์volatiles ในชั้นโพลิเมอร์ ความแตกต่างระหว่าง thermovoltages ผลประมวลผล ด้วยความต่างรบกวนบนชิพเครื่องขยาย การวัดทดสอบก๊าซกับหลักพิกัดสามทั้งหมดจะนำเสนอ เป้าหมายคือการ รวมสามแตกต่างกันหลักการของทรานสดิวเซอร์ และโพลิเมอร์เป็นโครงสร้างชนิดอาร์เรย์สร้างรุ่นใหม่ของ microsensor เฉพาะโปรแกรมประยุกต์ที่แตกต่างกันระบบ q 2000 Elsevier B.V. วิทยาศาสตร์ สงวนลิขสิทธิ์

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

เรารายงานผลสําเร็จด้วยสามชนิดของพอลิเมอร์ที่เคลือบสารเคมี microsensors ประดิษฐ์แบบอุตสาหกรรมเทคโนโลยีตามโพสต์แบบ Anisotropic แกะสลักและฟิล์มเคลือบ ครั้งแรกและมากที่สุดอย่างกว้างขวางใช้ทรานสดิวเซอร์คือmicrocapacitor ไวต่อการเปลี่ยนแปลงในคุณสมบัติไดอิเล็กตริกของพอลิเมอร์ดูดซึมชั้นเมื่อครู . อันบนแบบบูรณาการSD แปลงช่วยให้ตรวจจับนาทีความจุเปลี่ยนแปลง transducer ที่สองคือ cantilever ไวดังกังวานเด่นมวลการเปลี่ยนแปลง ที่เท้าแขนเป็น electrothermally ตื่นเต้น ; ของการสั่นสะเทือนจะตรวจพบการใช้ Piezoresistive วีทสโตนสะพาน ในการเปรียบเทียบกับอุปกรณ์คลื่นอะคูสติก , ครูการดูดซึมในพอลิเมอร์สาเหตุกะความถี่เรโซแนนซ์เป็นผลของการเปลี่ยนแปลงในสั่นมวล transducer สุดท้ายคือ microcalorimeter ประกอบด้วยพอลิเมอร์เคลือบสัมผัสเทอร์โมไพล์ และการใช้งานเทอร์โมไพล์อ้างอิงในแต่ละ micromachined เยื่อ การ measurand คือการดูดซึมหรือการคายความร้อนของอินทรีย์สารระเหยในพอลิเมอร์ชั้น ความแตกต่างระหว่างผล thermovoltages การประมวลผลด้วยเสียงบนความแตกต่างเครื่องขยายเสียง ทดสอบการวัดก๊าซกับตัวแปลงสัญญาณทั้งสามหลักจะนำเสนอ เป้าหมายคือการรวมสามที่แตกต่างกันหลักการของตัวแปลงสัญญาณและเปลี่ยนพอลิเมอร์ในอาร์เรย์แบบโครงสร้างเพื่อสร้างคนรุ่นใหม่ของ microsensor เฉพาะโปรแกรมระบบ Q 2000 Elsevier Science นอกจากนี้สงวนลิขสิทธิ์