Without direct contact between the

Without direct contact between the thermocouple and the wafer the “indicated” thermocouple temperature will be very different from the “actual” substrate temperature.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ไม่ มีการติดต่อโดยตรงระหว่างการเทและเวเฟอร์อุณหภูมิเท "ระบุ" จะแตกต่างจากอุณหภูมิพื้นผิว "จริง"

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

โดยไม่ต้องติดต่อโดยตรงระหว่างวัดและเวเฟอร์ที่ "ชี​​้" วัดอุณหภูมิจะแตกต่างกันมากจาก "จริง" อุณหภูมิพื้นผิว

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ไม่มีการติดต่อโดยตรงระหว่าง thermocouple และเวเฟอร์ " พบ " อุณหภูมิเทอร์โมคัปเปิลจะแตกต่างจากอุณหภูมิพื้นผิวที่แท้จริง "