To date, several studies have indic

To date, several studies have indicated the importance of the
effects of the sintered density , microstructural uniformity
[25], stoichiometry , and electrical properties of the oxide sputtering targets on the film properties and the
stability of sputtering.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

วันที่ หลายการศึกษาได้แสดงให้เห็นความสำคัญของการผลของการเผาความหนาแน่น ความรื่นรมย์ microstructural[25], stoichiometry และคุณสมบัติทางไฟฟ้าของออกไซด์พ่นเป้าหมายบนคุณสมบัติฟิล์มและความมั่นคงของการพ่น

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ในวันที่การศึกษาหลายแห่งได้แสดงให้เห็นถึงความสำคัญของผลกระทบของความหนาแน่นเผาสม่ำเสมอจุลภาค[25], ปริมาณสารสัมพันธ์และคุณสมบัติทางไฟฟ้าของเป้าหมายสปัตเตอร์ออกไซด์ในคุณสมบัติของฟิล์มและความมั่นคงของสปัตเตอร์

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ในวันที่หลายการศึกษาได้ชี้ให้เห็นความสำคัญของผลของโครงสร้างจุลภาค ความหนาแน่น อุณหภูมิ , เสมอ
[ 25 ] สารและสมบัติทางไฟฟ้าของฟิล์มออกไซด์บนเป้าสปัตเตอร์คุณสมบัติและความเสถียรของการสปัตเตอร์
.