As the thickness of the film is red

As the thickness of the film is reduced, the capacitance and
sensitivity increase. Experimental results have shown that polyimide
films with a thickness of smaller than 300 Å cannot be
reliably fabricated because of pinholes in the polyimide film
which cause a short circuit between the two metal electrodes.
Several sensors having different thickness for the polyimide film
were fabricated, including a 300-Å (spun at 4000 rpm), 660-Å
(spun at 2000 rpm), and 1200-Å (spun twice at 2000 rpm)-thick
polyimide dielectric film. The thickness of the films are determined
by interferometry. Figs. 4 and 5 show the measured capacitance
versus relative humidity for a 300- and 660-Å-thick
polyimide films at 37 C, respectively.
As seen in both figures, the response to relative humidity is
fairly linear (nonlinearity is calculated to be less than 2% RH for
both devices) over the full scale range of 30–70% RH. Table I
summarizes the measured sensitivities for the three different
sensor types.

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ในฐานะที่เป็นความหนาของฟิล์มจะลดลงความจุและการเพิ่มขึ้นของความไว
ผลการทดลองแสดงให้เห็นว่า ธ
เธเธฃภาพยนตร์ที่มีความหนาน้อยกว่า300
ไม่สามารถประดิษฐ์ได้อย่างน่าเชื่อถือเพราะรูในpolyimide
ฟิล์มซึ่งทำให้เกิดไฟฟ้าลัดวงจรระหว่างสองขั้วโลหะ.
เซ็นเซอร์หลายมีความหนาแตกต่างกันสำหรับ polyimide
ฟิล์มถูกประดิษฐ์รวมทั้ง300-A (หมุนที่ 4000 รอบต่อนาที) 660-A
(ปั่นที่ 2,000 รอบต่อนาที) และ 1200-A (ปั่นสองครั้งที่ 2,000 รอบต่อนาที) หนา
polyimide ฟิล์มอิเล็กทริก ความหนาของฟิล์มจะถูกกำหนดโดยอินเตอร์เฟอ
มะเดื่อ 4 และ 5 แสดงความจุที่วัดได้เมื่อเทียบกับความชื้นสัมพัทธ์สำหรับ 300 และ 660-A-หนาภาพยนตร์polyimide ที่ 37 C ตามลำดับ. เท่าที่เห็นในตัวเลขทั้งการตอบสนองต่อความชื้นสัมพัทธ์เป็นเชิงเส้นอย่างเป็นธรรม (ไม่เป็นเชิงเส้นที่มีการคำนวณจะน้อยกว่า 2% RH สำหรับอุปกรณ์ทั้งสอง) ในช่วงเต็มรูปแบบของ 30-70% RH ตารางที่สรุปความไวในการวัดแตกต่างกันสามชนิดเซ็นเซอร์

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

เมื่อความหนาของฟิล์มลดลง ความจุและ
ความไวเพิ่มขึ้น ผลการทดลองแสดงให้เห็นว่า polyimide
ฟิล์มที่มีความหนาน้อยกว่า 300 •ไม่สามารถ
ได้ประดิษฐ์เพราะรูในฟิล์ม polyimide
ซึ่งทำให้เกิดการลัดวงจรระหว่างโลหะสองขั้วไฟฟ้า เซ็นเซอร์หลายมีความหนาแตกต่างกัน

ถูกประดิษฐ์ polyimide ฟิล์ม ,รวม 300 - • ( ปั่นที่ 4000 รอบต่อนาที ) , 660 - •
( ปั่นที่ 2000 รอบต่อนาที ) และ 1200 - • ( ปั่นสองครั้งที่ 2000 รอบต่อนาที ) ฉนวนหนา
polyimide ฟิล์ม ความหนาของฟิล์มมุ่งมั่น
โดยการสนับสนุน . มะเดื่อ . 4 และ 5 แสดงวัดความจุไฟฟ้า
เมื่อเทียบกับความชื้นสัมพัทธ์สำหรับ 300 - 660 - • - หนา polyimide ฟิล์ม

ที่ 37 องศาเซลเซียส ตามลำดับ ตามที่เห็นในตัวเลขทั้งสอง การตอบสนองมีความชื้นสัมพัทธ์
ค่อนข้างเชิงเส้น ( คำนวณเป็นค่าความชื้นสัมพัทธ์น้อยกว่า 2 %
อุปกรณ์ทั้งสอง ) มากกว่าระดับเต็มรูปแบบในช่วง 30 - 70 เปอร์เซ็นต์ โต๊ะผม
สรุปวัดความไวใน 3
เซ็นเซอร์ประเภท