tuning the distance between the tra

tuning the distance between the transducer and the reflecting wall.
The transmission angle can be calculated using the Brekhvoskikh’s
method [30]. This method results in a theoretical transmission angle
of 29.9 for a Si wafer with a thickness around 775 lm and a
driving frequency of 928 kHz. The calculated angle corresponds
to the observed reflected power peak. Next, the anechoic material
is included at all the vertical walls of the cleaning tank and the re-
flected power peak disappears. As a result, a wave with a large
traveling component is obtained around the transmission angle
of the wafer.
The sound emission or cavitation noise spectrum at 450 mW/
cm2 for a wafer placed at the transmission angle is shown in
Fig. 3(a). This spectrum is corrected by subtracting the background
signal, recorded when no sound wave is applied. The cavitation
noise spectra are averaged over approx. 60 spectra, which are obtained
during one minute. This averaging is necessary since bubble
activity in bubble clouds varies over time. The sub and higher harmonics
in the sound emission spectrum are clearly visible. Fig. 3(b)
shows the sum of the intensity of the 3/2, 5/2 and 7/2 harmonic
peaks as function of the applied power density. Each data point
is the average of 6 measurements (each measurement is an average
of approx. 60 cavitation noise spectra) in order to reduce uncertainty.
The error bars represent the standard deviation of these 6
measurements. A clear increase in the acoustic emission of the
subharmonic intensity peaks as function of the power density
can be observed, which verifies the measurement technique.
Fig. 3(c) indicates the intensity variations for the sum of the 3/2,
5/2 and 7/2 harmonic peaks at 320 and 450 mW/cm2 forward
power for several angles of incidence (defined in Fig. 1). A measurement
at a lower power of 320 mW/cm2 is also included since
the intensity versus applied power curve shows a stronger variation
around 320 mW/cm2 compared to 450 mW/cm2 with a lower
signal to noise ratio. For both powers, the subharmonic peak intensity
shows no clear trend when the angle of incidence of the Si wafer
is varied. This can be caused by the fact that various phenomena
play a role. On the one hand, bubbles are attracted towards nodes
or antinodes in a standing wave field depending on their size, so
the local bubble density in a standing wave field is higher. This increases
the bubble bubble interaction and the bubble coalescence
rate. Other experiments with charged surfactants showed that
bubble bubble interaction and the increase in bubble coalescence
rate lower the harmonic maxima [19]. On the other hand, the maximum
acoustic field amplitude is higher for a standing wave
(sound reflection present) than when a traveling wave is applied.
A higher acoustic amplitude should increase the subharmonic
intensities. Both effects play at the same time, which makes the
subharmonic variation as function of the wafer angle difficult to
interpret.
On the other hand, cleaning tests performed as a function of the
angle of incidence do show a surprisingly clear trend. During the
first 2 min of the cleaning procedure, the wafer is scanned 1.5 cm
vertically upwards. Next, the wafer is moved 0.5 cm horizontally
and scanned 1.5 cm down again during the following 2 min (the total
duration of the cleaning procedure is 4 min). The wafer movement
is implemented to obtain a more uniform clean, by
averaging out to some extent the near-field pressure maxima created
by the large dimensions of the transducer. The pressure distribution
of the transducer has been measured and simulated before
[31]. The average PRE over the sonicated area is plotted in Fig. 4.
Each measurement was repeated 3 times, and the error bars show
the standard deviation of the average PRE. In contrast to the sound
emission measurements, the PRE experiment shows a peak around
the transmission angle of the wafer. Particle removal is maximized
when the traveling wave component is maximized, while particle
removal is completely absent at angles 620 and P40. The individual
cleaning maps are shown in Fig. 5. In order to compare
F

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ปรับระยะห่างระหว่างพิกัดที่ผนังข้างสามารถคำนวณมุมเกียร์ใช้ของ Brekhvoskikhวิธี [30] วิธีนี้ทำมุมส่งทฤษฎีของ 29.9 สำหรับแผ่นเวเฟอร์ซิมีความหนาประมาณ 775 lm และการขับความถี่ 928 kHz ตรงมุมคำนวณได้การสังเกตการสะท้อนพลังงานสูงสุด ถัดไป วัสดุที่ไร้คลื่นสะท้อนมาในแนวผนังของถังซักและ re-flected ไฟสูงหายไป เป็นผล คลื่น มีขนาดใหญ่ส่วนการเดินทางได้รับรอบมุมส่งของแผ่นเวเฟอร์เสียงมลพิษหรือ cavitation เสียงสเปกตรัมที่ 450 mW /cm2 สำหรับแผ่นเวเฟอร์ที่ถูกวางไว้ที่มุมส่งจะแสดงในFig. 3(a) คลื่นนี้จะถูกแก้ไข โดยการลบพื้นหลังสัญญาณ บันทึกเมื่อมีใช้คลื่นเสียงไม่ การ cavitationเสียงแรมสเป็คตรามี averaged ผ่านประมาณ 60 แรมสเป็คตรา ซึ่งจะได้รับในหนึ่งนาที หาค่าเฉลี่ยนี้มีความจำเป็นเนื่องจากฟองกิจกรรมในฟองเมฆไปจนเวลาผ่านไป ย่อยและสูงกว่านิคส์ในสเปกตรัมมลพิษเสียงมองเห็นได้อย่างชัดเจน Fig. 3(b)แสดงผลรวมของความเข้มของ 3/2, 5/2 และ 7/2 มีค่ายอดเขาที่เป็นฟังก์ชันของความหนาแน่นของพลังงานที่ใช้ แต่ละจุดข้อมูลเป็นค่าเฉลี่ยของการประเมิน 6 (แต่ละการประเมินคือ ค่าเฉลี่ยของประมาณ 60 cavitation เสียงแรมสเป็คตรา) เพื่อลดความไม่แน่นอนแถบข้อผิดพลาดแทนส่วนเบี่ยงเบนมาตรฐานของ 6 เหล่านี้วัด เพิ่มขึ้นชัดเจนในไอเสียในระดับยอดความเข้ม subharmonic เป็นฟังก์ชันความหนาแน่นของพลังงานจะสังเกตได้จาก การตรวจสอบเทคนิคการประเมินการFig. 3(c) บ่งชี้ว่า รูปแบบความเข้มของผลบวกของ 3/25/2 และ 7/2 ยอดมีค่าที่ 450 และ 320 mW/cm2 ไปข้างหน้าพลังงานสำหรับอุบัติการณ์ของมุมหลายที่ (กำหนด Fig. 1) การประเมินพลังงานต่ำกว่าของ 320 mW/cm2 ที่ยังอยู่ตั้งแต่ความรุนแรงเมื่อเทียบกับพลังงานที่ใช้เส้นโค้งแสดงการดัดแปลงที่แข็งแกร่งประมาณ 320 mW/cm2 เมื่อเทียบกับ 450 mW/cm2 มีต่ำกว่าที่สัญญาณต่อเสียงรบกวน สำหรับทั้งสองอำนาจ ความเข้มสูงสุด subharmonicแสดงแนวโน้มไม่ชัดเจนเมื่อเกิดของมุมในการขัดแผ่นแตกต่างกัน นี้อาจเกิดจากความจริงที่ปรากฏการณ์ต่าง ๆเล่นบทบาท คง ดึงดูดฟองต่อโหนหรือ antinodes ในคลื่นยืนฟิลด์ขึ้นอยู่กับขนาดของพวกเขา ดังนั้นความหนาแน่นของฟองท้องถิ่นในเขตคลื่นยืนสูงได้ เพิ่มการโต้ตอบฟองฟองและ coalescence ฟองอัตรา ทดลองกับ surfactants ที่คิดค่าธรรมเนียมอื่น ๆ พบว่าฟองฟองโต้ตอบและเพิ่มฟอง coalescenceอัตราลดแมกมีค่า [19] ในทางกลับกัน สูงสุดฟิลด์ระดับคลื่นจะสูงสำหรับคลื่นยืน(เสียงสะท้อนอยู่) กว่าคลื่นจะใช้เมื่อการเดินทางเป็นคลื่นระดับสูงควรเพิ่มที่ subharmonicปลดปล่อยก๊าซ ลักษณะพิเศษทั้งเล่นพร้อมกัน ซึ่งทำให้การรูปแบบ subharmonic เป็นฟังก์ชันของมุมแผ่นเวเฟอร์ยากแปลในทางกลับกัน ทำความสะอาดทดสอบทำเป็นฟังก์ชันของการอุบัติการณ์ของมุมแสดงแนวโน้มชัดเจนที่น่าแปลกใจ ในระหว่างนาทีแรก 2 ของขั้นตอนการทำความสะอาด แผ่นเวเฟอร์เป็นแกนขนาด 1.5 ซม.แนวตั้งขึ้น แผ่นเวเฟอร์มีย้าย 0.5 ซม.ตามแนวนอนและสแกน 1.5 ซม.ลงอีกครั้งในนาที 2 ต่อไปนี้ (รวมระยะเวลาของขั้นตอนการทำความสะอาดได้ 4 นาที) การเคลื่อนไหวของแผ่นเวเฟอร์ดำเนินการรับเหมือนอย่างสะอาด โดยหาค่าเฉลี่ยออกบ้างแมกดันใกล้กับเขตข้อมูลที่สร้างขึ้นขนาดใหญ่ของพิกัดที่ การกระจายความดันของวัด และจำลองก่อนที่พิกัด[31] ค่าเฉลี่ยก่อนผ่านพื้นที่ sonicated ลงจุดใน Fig. 4แต่ละวัดถูกทำซ้ำ 3 ครั้ง และแสดงแถบข้อผิดพลาดส่วนเบี่ยงเบนมาตรฐานของก่อนเฉลี่ย ตรงข้ามเสียงวัดมลพิษ ทดลองก่อนแสดงราคาสูงสุดสถานมุมส่งของแผ่นเวเฟอร์ กำจัดอนุภาคถูกขยายเมื่อถูกขยายส่วนประกอบคลื่นที่เดินทาง ในขณะที่อนุภาคการเอาออกเสร็จสมบูรณ์ขาดที่มุม 620 และ P40 แต่ละคนทำความสะอาดแผนที่จะแสดงใน Fig. 5 การเปรียบเทียบF

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

การปรับระยะห่างระหว่างแปลงสัญญาณและสะท้อนให้เห็นถึงผนัง.
มุมการส่งสามารถคำนวณโดยใช้ Brekhvoskikh ของ
วิธีการ [30] วิธีนี้ส่งผลในการส่งผ่านมุมทฤษฎี
29.9 สำหรับเวเฟอร์ศรีที่มีความหนารอบ 775 ลูเมนและ
ความถี่ในการขับรถของ 928 เฮิร์ทซ์ มุมที่คำนวณได้สอดคล้อง
กับข้อสังเกตยอดพลังสะท้อนให้เห็นถึง ถัดไปวัสดุที่ไร้เสียง
จะรวมอยู่ในทุกผนังแนวตั้งของถังทำความสะอาดอีกครั้งและ
ใช้พลังงานสูงสุด flected หายไป เป็นผลให้คลื่นที่มีขนาดใหญ่
องค์ประกอบการเดินทางจะได้รับรอบมุมส่ง
ของเวเฟอร์.
การปล่อยเสียงหรือคลื่นความถี่เสียง cavitation ที่ 450 mW /
cm2 สำหรับเวเฟอร์วางในมุมที่ส่งจะแสดงใน
รูปที่ 3 (ก) คลื่นความถี่นี้ได้รับการแก้ไขโดยการลบพื้นหลัง
สัญญาณบันทึกเมื่อคลื่นเสียงไม่ถูกนำไปใช้ โพรงอากาศใน
สเปกตรัมเสียงจะเฉลี่ยประมาณ 60 สเปกตรัมซึ่งจะได้รับ
ในช่วงเวลาหนึ่งนาที ค่าเฉลี่ยนี้เป็นสิ่งจำเป็นเนื่องจากฟอง
กิจกรรมในเมฆฟองแตกต่างกันไปเมื่อเวลาผ่านไป ย่อยและเสียงดนตรีที่สูงขึ้น
ในการปล่อยคลื่นความถี่เสียงที่สามารถมองเห็นได้อย่างชัดเจน มะเดื่อ 3 (ข)
แสดงให้เห็นถึงผลรวมของความเข้มของ 3/2, 5/2 และ 7/2 ประสาน
ยอดเป็นหน้าที่ของความหนาแน่นของพลังงานที่ใช้ แต่ละจุดข้อมูล
เป็นค่าเฉลี่ยของ 6 วัด (วัดแต่ละเฉลี่ย
ประมาณ. 60 สเปกตรัมเสียง cavitation) เพื่อลดความไม่แน่นอน.
บาร์ข้อผิดพลาดเป็นตัวแทนของส่วนเบี่ยงเบนมาตรฐานของทั้ง 6
วัด เพิ่มขึ้นชัดเจนในการปล่อยก๊าซเรือนกระจกอะคูสติกของ
ยอดเข้ม subharmonic เป็นหน้าที่ของความหนาแน่นของพลังงาน
สามารถสังเกตได้ซึ่งตรวจสอบเทคนิคการวัด.
รูป 3 (c) แสดงให้เห็นรูปแบบเข้มสำหรับผลรวมของ 3/2,
5/2 และ 7/2 ยอดฮาร์โมนิที่ 320 และ 450 mW / cm2 ไปข้างหน้า
พลังงานสำหรับหลายมุมของอุบัติการณ์ (ที่กำหนดไว้ในรูปที่ 1). วัด
ที่พลังงานต่ำ 320 mW / cm2 ยังรวมตั้งแต่
ความรุนแรงเมื่อเทียบกับเส้นโค้งอำนาจนำไปใช้แสดงให้เห็นถึงการเปลี่ยนแปลงที่แข็งแกร่ง
รอบ 320 mW / cm2 เมื่อเทียบกับ 450 mW / cm2 กับที่ต่ำกว่า
อัตราส่วนสัญญาณต่อเสียง สำหรับอำนาจทั้งสองจุดสูงสุด subharmonic
แสดงให้เห็นแนวโน้มที่ชัดเจนเมื่อมุมของอุบัติการณ์ของเวเฟอร์ศรี
จะแตกต่างกัน นี้อาจเกิดจากความจริงที่ว่าปรากฏการณ์ต่างๆ
มีบทบาทสำคัญ บนมือข้างหนึ่งฟองจะถูกดึงดูดต่อโหนด
หรือ antinodes ในสนามคลื่นนิ่งขึ้นอยู่กับขนาดของพวกเขาดังนั้น
ความหนาแน่นของฟองท้องถิ่นในเขตคลื่นนิ่งมีสูงกว่ามาก นี้จะเพิ่ม
การมีปฏิสัมพันธ์ฟองฟองและการเชื่อมต่อกันฟอง
อัตรา การทดลองอื่น ๆ ที่มีค่าใช้จ่ายลดแรงตึงผิวแสดงให้เห็นว่า
การมีปฏิสัมพันธ์ฟองฟองและเพิ่มขึ้นในการเชื่อมต่อกันฟอง
อัตราลดสูงสุดฮาร์โมนิ [19] ในทางตรงกันข้ามสูงสุด
กว้างฟิลด์อะคูสติกเป็นที่สูงขึ้นสำหรับคลื่นนิ่ง
(เสียงสะท้อนปัจจุบัน) กว่าเมื่อคลื่นเดินทางถูกนำไปใช้.
กว้างอะคูสติกที่สูงขึ้นจะเพิ่มขึ้น subharmonic
เข้ม ผลกระทบทั้งสองเล่นในเวลาเดียวกันซึ่งจะทำให้
การเปลี่ยนแปลง subharmonic เป็นหน้าที่ของมุมเวเฟอร์ยากที่จะ
ตีความ.
ในทางตรงกันข้ามการทดสอบดำเนินการทำความสะอาดเป็นหน้าที่ของ
มุมตกกระทบไม่แสดงแนวโน้มที่ชัดเจนน่าแปลกใจ ในช่วง
แรก 2 นาทีของขั้นตอนการทำความสะอาดแผ่นเวเฟอร์ถูกสแกน 1.5 ซม.
ขึ้นไปในแนวตั้ง ถัดไปเวเฟอร์จะถูกย้ายไป 0.5 ซม. ในแนวนอน
และสแกน 1.5 ซมลงอีกครั้งในช่วงต่อไป 2 นาที (รวม
ระยะเวลาของขั้นตอนการทำความสะอาดคือ 4 นาที) การเคลื่อนไหวเวเฟอร์
จะดำเนินการที่จะได้รับการทำความสะอาดสม่ำเสมอมากขึ้นโดย
เฉลี่ยออกไปบ้างสูงสุดแรงดันที่อยู่ใกล้เขตที่สร้างขึ้น
โดยขนาดใหญ่ของการแปลงสัญญาณ การกระจายความดัน
ของตัวแปลงสัญญาณได้รับการวัดและจำลองก่อน
[31] PRE เฉลี่ยทั่วพื้นที่ sonicated เป็นพล็อตในรูป 4.
การวัดแต่ละคนได้ซ้ำแล้วซ้ำอีก 3 ครั้งและแถบแสดงข้อผิดพลาด
เบี่ยงเบนมาตรฐานของค่าเฉลี่ยก่อนตั้งครรภ์ ในทางตรงกันข้ามกับเสียง
การวัดการปล่อยทดลองก่อนแสดงให้เห็นจุดสูงสุดรอบ
มุมการส่งแผ่นเวเฟอร์ การกำจัดอนุภาคเป็น maximized
เมื่อองค์ประกอบคลื่นเดินทางเป็น maximized ในขณะที่อนุภาค
กำจัดสมบูรณ์ไม่อยู่ในมุมที่ 620 และ P40 แต่ละ
แผนที่การทำความสะอาดจะแสดงในรูป 5. เพื่อเปรียบเทียบ
F

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ปรับระยะห่างระหว่างตัวแปลงสัญญาณและส่งผลให้ผนัง .
ส่งมุมที่สามารถคำนวณโดยใช้วิธีของ
brekhvoskikh [ 30 ] วิธีนี้ ผลในทางทฤษฎีการส่งผ่านมุม
บันทึกสำหรับเวเฟอร์ ซี ที่มีความหนาประมาณ 775 LM และ
ขับความถี่ของ 928 กิโลเฮิรตซ์ ค่ามุมที่สอดคล้องกันเพื่อสะท้อนพลัง )
. ต่อไป
วัสดุเทคอยู่ที่ผนังในแนวตั้งของการทำความสะอาดถังและ re -
flected พลังจะหายไป ผลของคลื่นที่มีขนาดใหญ่
เดินทางได้รอบการส่งชิ้นส่วนมุม

ของเวเฟอร์ การปล่อยสเปกตรัมเสียงหรือเสียง Cavitation 450 MW /
cm2 สำหรับเวเฟอร์อยู่ที่ส่งมุมที่แสดงในรูปที่ 3 (
) สเปกตรัมนี้ถูกแก้ไขโดยการลบพื้นหลัง
สัญญาณที่บันทึกเมื่อไม่มีเสียงคลื่นจะใช้ และโพรงเสียงจะเฉลี่ยอยู่ประมาณนี้

60 สเปกตรัมซึ่งจะได้รับใน 1 นาที เฉลี่ยนี้จำเป็นเนื่องจากในเมฆฟองฟอง
กิจกรรมแตกต่างกันไปในช่วงเวลา เรือดำน้ำและสูงในสเปกตรัมฮาร์มอนิก
ปล่อยเสียงที่สามารถมองเห็นได้อย่างชัดเจน รูปที่ 3 ( B )
แสดงผลรวมของความเข้มของ 3 / 2 , 5 / 2 และ 7 / 2
:เป็นฟังก์ชันของยอดใช้พลังงานหนาแน่น แต่ละจุดข้อมูลเป็นค่าเฉลี่ยของการวัด
6 ( แต่ละวัดเฉลี่ยประมาณ 60 โพรงเสียง
Spectra ) เพื่อช่วยลดความไม่แน่นอน
ข้อผิดพลาดบาร์แทนส่วนเบี่ยงเบนมาตรฐานของการวัด 6
เหล่านี้ เพิ่มขึ้นชัดเจนในการปล่อยอะคูสติกของ
ยอดความเข้ม subharmonic เป็นฟังก์ชันของความหนาแน่นพลังงาน
สามารถสังเกตได้ ซึ่งตรวจสอบเทคนิคการวัด .
รูปที่ 3 ( C ) บ่งชี้ว่า ความเข้มของการเปลี่ยนแปลงสำหรับผลรวมของ 3 / 2
5 / 2 และ 7 / 2 เสียงประสานยอดที่ 320 450 MW / cm2 ข้างหน้า
พลังหลายมุมอุบัติการณ์ ( ที่กำหนดไว้ในรูปที่ 1 ) การวัด
ที่พลังกว่า 320 เมกะวัตต์ / cm2 รวมอยู่ด้วยเนื่องจากความเข้มและใช้พลังงาน

โค้งแสดงความผันแปรแข็งแกร่งประมาณ 320 บาท / ตร. ซม. เมื่อเทียบกับ 450 MW / cm2 ที่มีสัญญาณต่ำ
ต่อเสียงรบกวน ทั้งพลัง และ ความเข้มสูงสุด subharmonic
แสดงให้เห็นแนวโน้มที่ชัดเจนเมื่อมุมตกกระทบของชีเวเฟอร์
มีหลากหลาย นี้อาจเกิดจากข้อเท็จจริงที่ว่าปรากฏการณ์ต่างๆ
เล่นบทบาท ในมือข้างหนึ่งฟองมีความสนใจต่อโหนด
หรือแอน ติ โนดในคลื่นยืนสนามขึ้นอยู่กับขนาดของพวกเขา ดังนั้น
ความหนาแน่นของฟองคลื่นสนามท้องถิ่น ยืนสูงกว่า นี้เพิ่ม
ฟองฟองปฏิสัมพันธ์ และฟองรวมตัว
อัตรา การทดลองอื่น ๆ พบว่าค่าใช้จ่ายด้าน
ฟองฟองปฏิสัมพันธ์และเพิ่มอัตราการรวมตัว
ฟองลดฮาร์มอนิกส้มโอ [ 19 ] บนมืออื่น ๆ , สูงสุด
อะคูสติกด้านแอมพลิจูดสูงยืนโบก
( เสียงสะท้อนปัจจุบัน ) มากกว่า เมื่อคลื่นเดินทางใช้
สูงกว่าแบบอะคูสติก ควรเพิ่มความเข้ม subharmonic

ทั้งผลเล่นในเวลาเดียวกัน ซึ่งจะทำให้
subharmonic เป็นฟังก์ชันของการเวเฟอร์มุมยาก

แปลความหมาย บนมืออื่น ๆ , ทำความสะอาดทดสอบปฏิบัติเป็นหน้าที่ของ
มุมตกกระทบแสดงแนวโน้มที่จู่ ๆชัดเจน ระหว่าง
2 นาทีแรกของการทำความสะอาด ขั้นตอน เวเฟอร์เป็นสแกน 1.5 cm
ในแนวตั้งขึ้น ถัดไป , เวเฟอร์จะถูกย้าย 0.5 ซม. ในแนวนอน
และสแกน 1.5 ซม. ลงอีกในช่วงต่อไป 2 นาที ( รวมเวลาของขั้นตอนการทำความสะอาด
4 นาที ) การเคลื่อนไหวของเวเฟอร์
จะดําเนินการเพื่อให้ได้ความสะอาดสม่ำเสมอมากขึ้นโดย
เฉลี่ยออกขอบเขตบางใกล้ความดันสร้างขึ้น
แม็กซิมาด้วยขนาดที่ใหญ่ของตัวแปลงสัญญาณ กระจายความดัน
ของทรานสดิวเซอร์ได้รับการวัดและจำลองก่อน
[ 31 ] โดยก่อนไป sonicated พื้นที่จะวางแผนในรูปที่ 4 .
แต่ละวัดกัน 3 ครั้ง และแถบแสดงข้อผิดพลาด
ส่วนเบี่ยงเบนมาตรฐานของค่าเฉลี่ยก่อน ในทางตรงกันข้ามกับวัด
มลพิษเสียง ทดลองก่อนแสดงจุดสูงสุดรอบ
การถ่ายทอดมุมของเวเฟอร์ การกำจัดอนุภาคเป็น maximized
เมื่อคลื่นเดินทางส่วนประกอบเป็น maximized ในขณะที่การกำจัดอนุภาค
จะหายไปอย่างสมบูรณ์ที่มุมแล้วดำ . แผนที่ซักแห้งบุคคล
แสดงในรูปที่ 5 เพื่อเปรียบเทียบ F