For the films prepared with reactiv

For the films prepared with reactive gas flows higher than 10 sccm (zone T), the results of composition analysis revealed the presence of over-stoichiometric films, where the non-metal to metal atomic ratio varies from 1.17 to 1.44 (Table 1), and thus
indicating the possibility to form different crystalline structures beyond the previously mentioned ZrN films. The sample prepared with a gas flow of 10 sccm seems to present already another phase, which is evident in the large broad peak around
2θ= 30°, becoming even more pronounced in the sample prepared with 13 sccm (Fig. 1). For this sample, the diffraction data reveals also a broad peak located at 2θ≈32.2°

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

สำหรับภาพยนตร์พร้อมแก๊สปฏิกิริยาไหลสูงกว่า 10 sccm (โซน T), ผลการวิเคราะห์องค์ประกอบของภาพยนตร์เกิน stoichiometric ตำแหน่งไม่ใช่โลหะต่อโลหะอะตอมตั้งแต่ความ 1.17 ถึง 1.44 (ตารางที่ 1), การเปิดเผย และทำระบุสามารถฟอร์มต่าง ๆ โครงสร้างผลึกนอกเหนือจากภาพยนตร์ ZrN กล่าว ตัวอย่างพร้อมกระแสก๊าซของ 10 sccm น่าจะ แสดงระยะอีกแล้ว ซึ่งอยู่ในช่วงกว้างใหญ่รอบ2θ = 30° ยิ่งกลายเป็นออกเสียงจากตัวอย่างที่ 13 sccm (Fig. 1) เตรียมการ สำหรับตัวอย่างนี้ ข้อมูลการเลี้ยวเบนเปิดเผยยังกว้างสูงสุดอยู่ที่ 2θ≈32.2 องศา

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

สำหรับภาพยนตร์ที่จัดทำขึ้นด้วยก๊าซปฏิกิริยาไหลสูงกว่า 10 SCCM (โซน T), ผลการวิเคราะห์องค์ประกอบพบการปรากฏตัวของภาพยนตร์มากกว่าทฤษฎีที่ไม่ใช่โลหะอัตราส่วนอะตอมโลหะที่แตกต่างกัน 1.17-1.44 (ตารางที่ 1) จึง
แสดงให้เห็นความเป็นไปได้ในรูปแบบโครงสร้างผลึกที่แตกต่างกันเกินกว่าที่กล่าวถึงก่อนหน้านี้ภาพยนตร์ ZRN ตัวอย่างจัดทำขึ้นด้วยการไหลของก๊าซ 10 SCCM ดูเหมือนว่าจะนำเสนออยู่แล้วขั้นตอนอื่นซึ่งเห็นได้ชัดในจุดสูงสุดในวงกว้างขนาดใหญ่รอบ ๆ
2θ = 30 °กลายเป็นยิ่งเด่นชัดในกลุ่มตัวอย่างที่จัดทำขึ้นด้วย 13 SCCM (รูปที่ 1). สำหรับตัวอย่างนี้ข้อมูลการเลี้ยวเบนเผยยังเป็นจุดสูงสุดในวงกว้างอยู่ที่2θ≈32.2°

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

สำหรับภาพยนตร์ที่เตรียมด้วยปฏิกิริยาก๊าซไหลสูงกว่า 10 sccm ( โซน T ) ผลจากการวิเคราะห์องค์ประกอบพบว่ามีอัตราส่วนมากกว่าฟิล์มที่อัตราส่วนอะตอมของอโลหะโลหะแตกต่างกันจาก 1.17 ถึง 1.44 ( ตารางที่ 1 ) ซึ่ง
แสดงความเป็นไปได้ในรูปแบบโครงสร้างของผลึกที่แตกต่างกันนอกเหนือจากที่กล่าวถึงก่อนหน้านี้ zrn ฟิล์ม .ตัวอย่างการเตรียมกับอัตราการไหลของแก๊ส 10 sccm น่าจะมีอยู่แล้ว เฟสอื่น ซึ่งเป็นที่ประจักษ์ในขนาดใหญ่กว้างสูงสุดรอบθ
2 = 30 องศา กลายเป็นชัดเจนยิ่งขึ้นในตัวอย่างเตรียม 13 sccm ( รูปที่ 1 ) สำหรับตัวอย่างนี้ , ข้อมูลการเลี้ยวเบน เผยยังกว้างสูงสุดอยู่ที่ 2 θ≈ 32.2 องศา