In many cases it is convenient to choose the pseudopotential to be a constant within the ion core. The parameters of the pseudopotential can be determined from the spectroscopic data for the individual atom. Results of the empirical pseudopotential energy band calculations for some elemental and compound semiconductors with diamond and zinc blende structures are shown in Figure 4.11.(1) Figure 4.12 shows the various symmetry points displayed at the zone center (Γ) and along the (100) axis (X) and (111) axis (L) inside the first Brillouin zone of a diamond lattice. The first symmetry point, Γ, is the symmetry point located at the Brillouin zone center. The conduction band minimum and the valence band maximum that located at the Γ- point in the zone center are designated as Ec and Ev, respectively. It is noted that the conduction band is defined as the lowest empty band, while the valence band is defined as the highest filled band at T = 0 K. In most semiconductors, there exists a forbidden gap between the conduction- and valence- bands, and the values of the energy band gap may vary from 0.1 to about 6.2 eV for the semiconductors. If the conduction band minimum and the valence band maximum are located at the same k- value in the first Brillouin zone, such as the Γ- point at the zone center, then the semiconductor is called the direct band gap semiconductor. Most of the III-V compound semiconductors, such GaN, GaAs, InP, InAs, and InSb, belong to this category. Direct band gap semiconductors have been widely used in photonic device applications such as laser diodes, LEDs, and photodetectors because their band structures allow for direct optical transitions. They are also widely used in high-
speed and high- frequency device applications due to the small electron effective mass and high electron mobility in these materials. If the conduction band minimum and the valence band maximum are not located at the same k- value in the first Brillouin zone, then the semiconductor is referred to as an indirect band gap semiconductor. Elemental semiconductors such as silicon and germanium belong to this category. Table 4.1 lists the energy band gaps and the effective masses of electrons and holes for the elemental and compound semiconductors.
The conduction band of a diamond or a zinc blende crystal usually consists of several subbands or satellite bands. For example, the conduction band minimum of a germanium crystal is located at the zone boundaries along the {111} axes, while for silicon it is located near the zone boundaries along the {100} axes; these are shown in Figure 4.11b and a, respectively. It is noted that the constant energy surfaces for electrons in silicon and germanium are ellipsoidal energy surfaces, while the constant energy surface near the conduction band minimum is spherical for GaAs and other III-V compound semiconductors. Figure 4.13 shows a more detailed energy band structure of GaAs calculated from the pseudopotential method.(2) The Γ- conduction band minimum is located at the zone center, the L-conduction band valleys are located at (2π/a) (1/2,1/2,1/2) along the (111) axes, and the X-conduction band valleys are located at the zone boundaries along the (100) axes. The separation between the L-valley and the Γ-band minimum is equal to 0.29 eV. The valence band maxima of the heavy- and light-hole bands are located at the Γ- point in the Brillouin zone center. Therefore, both silicon and germanium are indirect band gap semiconductors, while GaN, GaAs, InP, and InAs are direct bandgap semiconductors. For silicon, the conduction band minima consist of six ellipsoids of constant-energy surfaces along the {100} axes with the center of each ellipsoidal energy surface located about three-fourth of the distance from the zone center to the zone boundary. For germanium, the conduction band minima consist of eight ellipsoidal constant-energy surfaces along the {111} axes with the center of each ellipsoid located at the zone boundary. Thus, for germanium there are eight half- ellipsoidal conduction band valleys inside the first Brillouin zone. For GaAs, the constant-energy surface of the Γ- conduction band minimum is spherical, and is located at the zone center. The energy versus wave vector (i.e., E vs. k) relation for electrons near the bottom of the conduction band can be expressed by
()22*2cnkEkEm=+h (4.103)
for the spherical constant energy surface, and
()2222ltcltkkEkEmm⎛⎞=++⎜⎜⎝⎠h (4.104)
for the ellipsoidal constant energy surface, where ml and mt denote the longitudinal and transverse effective masses of electrons in the conduction band, respectively.
The valence bands of silicon, germanium, and GaAs crystals consist of the heavy- and light-hole bands which are degenerate at k = 0. In addition, a spin-orbit split off band is located at a few tens of meV below the top of the heavy- and light- hole bands. This can be best described by using the band structure shown in Figure 4.13 for a GaAs crystal. In this figure, it is shown that the heavy- and light-hole bands are degenerate at the top of the valence band and may be represented by a parabolic band with different curvatures. The valence band with a smaller curvature (i.e., with a larger hole effective mass) is usually referred to as the heavy-hole band, and the valence band with a larger curvature (i.e., with a smaller hole effective mass) is known as the light-hole band. The effective masses of the light- and heavy-hole bands for Si, Ge, and GaAs are also given in Table 4.1. In general, the energy versus wave vector relation (E vs. k) for the heavy- and light- hole bands near the top of the valence bands is nonparabolic and can be expressed by
()()22v*2pkskEkEm=−h (4.105)
Where s(k) is given by
()(1/222224224224xyxzyzskABCkkkkkkkkk⎡=±+++⎣ (4.106)
Note that A, B, and C in Eq.(4.106) are constants (see Problem 4.10); the plus and minus signs correspond to the heavy-hole and light-hole bands, respectively. It should be noted that the constant-energy surfaces near the top of the valence bands are warped and nonparabolic for Si, Ge, GaAs and other III-V compound semiconductors.
Another interesting and technologically important feature for the III-V semiconductors is their ability to grow the lattice-matched ternary or quaternary compound semiconductor epitaxial layers on either the GaAs or InP semi-insulating substrates (e.g., InxGa1-xP, AlxGal-xAs and InxGal–xAsyPl–y on GaAs; InxGal–xAs and InxAll–xAs on InP substrates). Using these ternary and quaternary compound semiconductors, it is possible to change many important optical, physical, and electrical properties of the III-V compound semiconductors, such as the band gap energy and electron mobility for a wide variety of applications. In addition, many novel device structures can be
fabricated using the binary/ternary superlattice and quantum well heterojunction structures (e.g., AlxGal-xAs/GaAs, InGaAs/AlGaAs). These features are extremely important for many applications in detectors, lasers, and high-speed devices using III-V compound semiconductor epitaxial layers grown by the MOCVD and MBE techniques. Figure 4.14 shows the energy band gap versus lattice constant for Si, Ge, II-VI and III-V binary compound semiconductors.(3) The solid lines denote the direct band gap materials and the dashed lines are for the indirect band gap materials. A mixture of AlP/GaP to form AlxGal–xP, AlAs/GaAs to form AlxGal-xAs, AlSb/GaSb to form AlxGal-xSb ternary compounds, and InP/GaAs/InAs to form InxGal-xAsyPl-y quaternary compound along the vertical line of Figure 4.14 yields lattice- matched epitaxial- layers grown on the GaP, GaAs, InP, and GaSb substrates, respectively. By tailoring the energy band gap of these III-V alloy systems, it is possible to produce detectors and lasers with wavelengths covering the visible to infrared spectral range. Wide band gap semiconductors such as AlN, SiC, and GaN have been widely investigated and developed in recent years, enabling the fabrication of various electronic devices for microwave, high temperature, and high power applications. Furthermore, GaN-based ternary compounds such as AlxGa1-xN and InxGa1-xN with the energy band gaps varying from 0.7 eV to 6.2 eV have been developed for UV detectors, laser diodes and LEDs. Figure 4.15(a) and (b) show the energy band gap versus alloy composition x for GaAsxP1-x and AlxGa1-xAs ternary compound semiconductors, which illustrate the band gap variation from Eg= 1.42 eV to 2.65 eV and 2.19 eV, respectively, as x varied from 1 to 0. The variation of band gap with alloy composition in an III-V ternary material system can be estimated by using an empirical formula given by:
(4.107) 2()(0)ggExEbxcx=++
Where b is a fitting parameter, and c is called the bowing parameter which could be calculated theoretically or determined experimentally. For the AlxGa1-xAs material system, the energy band gap for the Γ-, X-, and L- valleys as a function of alloying composition x can be expressed as
2()1.4251.2471.147(0.45)gExxxΓ=++− (4.108a)
2()1.900.1250.143XgExxx=++ (4.108b) (4.108c)
ในหลายกรณีมันสะดวกที่จะเลือกศักย์เทียมจะคงที่ภายในรายละเอียดหลัก ค่าของศักย์เทียมได้จากข้อมูลทางสเปกโทรสโกปีสำหรับอะตอมของแต่ละบุคคล ผลเชิงประจักษ์ศักย์เทียมวงพลังงานการคำนวณสำหรับบางธาตุและสารประกอบสารกึ่งตัวนำเพชร และสังกะสี แร่สังกะสี มีโครงสร้างที่แสดงในรูปที่ 4.11 ( 1 ) รูปที่ 412 แสดงสมมาตร จุด ต่าง ๆ ที่แสดงในศูนย์โซน ( Γ ) และแนวแกน ( 100 ) ( X ) และ ( 111 ) แกน ( L ) ภายใน brillouin โซนแรกของเพชรตาข่าย จุดแรกΓสมมาตร , สมมาตร จุด อยู่ที่ brillouin โซนกลาง โดยนำวงดนตรีขั้นต่ำและสูงสุดที่แถบวาเลนซ์ ตั้งอยู่ที่Γ - จุดในศูนย์โซนเขตเป็นประชาคมยุโรป และรถไฟฟ้าตามลำดับ มันเป็นข้อสังเกตว่า นำวงดนตรีหมายถึงวงว่างสุด ในขณะที่ 2 วงหมายถึง สูงสุดเต็มวง T = 0 K เซมิคอนดักเตอร์มากที่สุด มีช่องว่างระหว่างการต้องห้าม - ความจุ - วง และค่าของแถบพลังงานช่องว่างอาจแตกต่างจาก 0.1 ถึงประมาณ 6.2 EV สำหรับเซมิคอนดักเตอร์ถ้านำวงดนตรี 2 วงขั้นต่ำ และสูงสุดอยู่ที่เดียวกัน K - ค่าในเขต brillouin ก่อน เช่น Γ - จุดที่ศูนย์โซนแล้วสารกึ่งตัวนำเรียกว่าวงตรงช่องว่าง ) ที่สุดของเซมิคอนดักเตอร์สารประกอบเช่นกาน iii-v GaAs , InP inas , และระบบวัดที่สร้างขึ้น อยู่ในประเภทนี้วงตรงช่องว่างที่มากกว่า มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในการใช้งานอุปกรณ์โฟโตนิกส์ เช่น เลเซอร์ไดโอด , LED , และ photodetectors เพราะโครงสร้างวงของพวกเขาอนุญาตให้มีการเปลี่ยนแสงโดยตรง พวกเขาจะใช้กันอย่างแพร่หลายในสูง -
ความเร็วและความถี่สูงอุปกรณ์การใช้งานเนื่องจากการขนาดเล็กที่มีประสิทธิภาพสูงและมวลอิเล็กตรอนอิเล็กตรอนเคลื่อนที่ในวัสดุถ้านำวงดนตรี 2 วงขั้นต่ำ และสูงสุดไม่ได้อยู่ที่แบบเดียวกันของค่าในเขต brillouin แรกแล้ว ( จะเรียกว่าเป็นวง ( ช่องว่าง ) ธาตุสารกึ่งตัวนำ เช่น ซิลิคอนเจอร์เมเนียมและจัดอยู่ในประเภทนี้ ตารางที่ 4 .1 รายชื่อวงพลังงานช่องว่างและมวลที่มีประสิทธิภาพของอิเล็กตรอนและหลุมสำหรับสารกึ่งตัวนำธาตุและสารประกอบ
นำวงดนตรีของเพชรหรือสังกะสีผสมคริสตัล มักจะประกอบด้วย subbands หลายวงดนตรี หรือดาวเทียม ตัวอย่างเช่น นำวงดนตรีขั้นต่ำของเจอร์เมเนียมคริสตัลตั้งอยู่ในโซนขอบเขตตาม { 0 } ขวานในขณะที่ซิลิคอนตั้งอยู่ใกล้เขตรอยต่อตามแนวแกน { 100 } ; เหล่านี้จะแสดงในรูป 4.11b และตามลำดับ มันเป็นข้อสังเกตว่า คงด้านพลังงานให้อิเล็กตรอนในซิลิคอนเจอร์เมเนียมและมีพื้นผิวพลังงานทรงรี ในขณะที่ค่าพลังงานพื้นผิวใกล้นำวงดนตรีขั้นต่ำทรงกลมสำหรับ GaAs และเซมิคอนดักเตอร์สารประกอบ iii-v อื่น ๆ รูปที่ 413 แสดงรายละเอียดโครงสร้างแถบพลังงานของ GaAs จากวิธีการคำนวณศักย์เทียม ( 2 ) Γ - ขั้นนำวงดนตรีตั้งอยู่ที่ศูนย์โซน l-conduction วงดนตรีเทือกอยู่ที่ ( 2 π / ) ( 1 / 2.1 / 2.1 / 2 ) ตาม ( 111 ) และ x-conduction ขวาน แถบหุบเขาตั้งอยู่ที่เขตรอยต่อตามแนว ( 100 ) แกนแยกระหว่าง l-valley และΓ - วงต่ำสุดเท่ากับ 0.29 EV ระดับที่ 2 วง แม็กซิม่า ของหนัก - และวงรูแสงอยู่ที่Γ - จุดใน brillouin โซนกลาง ดังนั้น ทั้งซิลิคอนเจอร์เมเนียมเป็นทางอ้อมและช่องว่างแถบเซมิคอนดักเตอร์ , ในขณะที่ในกาน , , InP และ inas เป็นสารกึ่งตัวนำ bandgap โดยตรง สำหรับซิลิคอนไม่นี่ ม๊านำวงดนตรีที่ประกอบด้วยหก ellipsoids คงด้านพลังงานตาม { 100 } แกน กับ ศูนย์ของแต่ละทรงรีพลังงานพื้นผิวตั้งอยู่ประมาณสาม สี่ ระยะทางจากศูนย์โซน โซนขอบเขต สำหรับเจอร์เมเนียม ,โดยนำวงดนตรีไม่นี่ ม๊าประกอบด้วยแปดทรงรีคงด้านพลังงานตาม } { 111 แกน กับ ศูนย์ของแต่ละรีตั้งอยู่ที่เขตพรมแดน ดังนั้น สำหรับสีผึ้งมีแปดครึ่งทรงรีนำวงดนตรีเทือกอยู่ในโซน brillouin ก่อน สำหรับนี้ , ค่าคงที่พลังงานพื้นผิวของΓ - นำวงดนตรีขั้นต่ำเป็นทรงกลม และตั้งอยู่ในศูนย์โซนพลังงานเมื่อเทียบกับเวกเตอร์คลื่น ( เช่น E และ K ) ความสัมพันธ์กับอิเล็กตรอนที่อยู่ด้านล่างของนำวงดนตรีสามารถแสดงโดย
( 22 * 2cnkekem = H ( 4.103 )
สำหรับทรงกลมพลังงานพื้นผิวคงที่และ
( ) 2222ltcltkkekemm ⎛⎞ = ⎜⎜⎝⎠ H ( 4.104 )
สำหรับทรงรีพื้นผิวพลังงานคงที่ ที่ ml และตันแสดงตามยาวและตามขวางที่มีมวลของอิเล็กตรอนในการนำวงดนตรี
ที่ 2 ตามลำดับ แถบซิลิคอนเจอร์เมเนียมและผลึกแกลเลียมอาร์เซไนด์ประกอบด้วยหนัก - และวงรูแสงที่เสื่อมสภาพ ที่ k = 0 นอกจากนี้ โคจรหมุนแยกออกเป็นวงอยู่ที่ไม่กี่สิบ MeV ด้านล่างด้านบนของหนัก - เบา - หลุมวง นี้สามารถอธิบายที่ดีที่สุดโดยการใช้วงดนตรีโครงสร้างที่แสดงในรูปที่ 4.13 สำหรับผลึกแกลเลียมอาร์เซไนด์ . ในรูปนี้เป็นการแสดงที่หนักและแถบแสงจะเสื่อมลงหลุมที่ด้านบนของวาเลนซ์แบนด์ และอาจจะแสดงโดยวงโค้งกับระนาบที่แตกต่างกัน ระดับที่ 2 วงกับความโค้งที่มีขนาดเล็ก ( เช่น มีหลุมขนาดใหญ่ที่มีมวล ) มักจะเรียกว่า วงรู หนัก และ 2 วงกับโค้งขนาดใหญ่ ( เช่นด้วยขนาดเล็กหลุมขนาดใหญ่มีประสิทธิภาพ ) เป็นที่รู้จักกันเป็นวง หลุมไฟ มีประสิทธิภาพมวลของแสง - และวงหลุมหนักชิ , GE , และนี้ยังให้ตารางที่ 4.1 . โดยทั่วไป , พลังงานกับความสัมพันธ์เวกเตอร์คลื่น ( E และ K ) สำหรับหนัก - เบา - หลุมวงใกล้ด้านบนของ 2 วง คือ nonparabolic และสามารถแสดงโดย
( ) ( ) 22v * 2pkskekem = − H (
4.105 )ที่ S ( k ) จะได้รับโดย
( ) ( 1 / 22222 4224224xyxzyzskabckkkkkkkkk ⎡ = ±⎣ ( 4.106 )
ทราบว่า A , B และ C ในอีคิว ( 4.106 ) เป็นค่าคงที่ ( เห็นปัญหา 4.10 ) ; บวกและเครื่องหมายลบสอดคล้องกับหลุมที่หนักและวงดนตรี , หลุมไฟตามลำดับ มันควรจะสังเกตว่าค่าพลังงานพื้นผิวบริเวณด้านบนของ 2 วงเหยเก และ nonparabolic ชิ , GE ,แกลเลียมอาร์เซไนด์และเซมิคอนดักเตอร์สารประกอบ iii-v อื่นๆ อีกที่น่าสนใจ และมีคุณลักษณะ
ที่สำคัญสำหรับ iii-v สารกึ่งตัวนำคือความสามารถของพวกเขาที่จะเติบโตตาข่ายคู่ไตรภาคหรือ quaternary ผสมสารกึ่งตัวนำแกลเลียมอาร์เซไนด์หรือ epitaxial ชั้นทั้ง InP กึ่งพื้นผิวฉนวน ( เช่น inxga1 XP , และ xas alxgal inxgal – xasypl บน GaAs ( Y ;inxgal – xas inxall –บนพื้นผิวและ xas InP ) ใช้เหล่านี้ประกอบไปด้วย และควอสารกึ่งตัวนำผสม มันเป็นไปได้ที่จะเปลี่ยนหลายที่สำคัญแสงทางกายภาพและสมบัติทางไฟฟ้าของสารกึ่งตัวนำผสม iii-v เช่นช่องว่างแถบพลังงานและอิเล็กตรอนเคลื่อนที่สำหรับความหลากหลายของการใช้งาน นอกจากนี้ โครงสร้างของอุปกรณ์ใหม่หลายสามารถ
ประดิษฐ์โดยใช้ซูเปอร์แลตทิซไบนารี / ประกอบไปด้วยโครงสร้างควอนตัมเวลล์และ heterojunction ( เช่น alxgal / GaAs ไทยกลุ่ม xas , algaas ) คุณสมบัติเหล่านี้เป็นสิ่งสำคัญอย่างยิ่งสำหรับหลายโปรแกรมในเครื่องตรวจจับเลเซอร์และอุปกรณ์ความเร็วสูงที่ใช้ iii-v ผสมสารกึ่งตัวนำ epitaxial ชั้นปลูกโดย mocvd MBE และเทคนิค รูปที่ 4.14 แสดงวงดนตรีช่องว่างพลังงานแลตทิซคงที่เมื่อเทียบกับจังหวัดพี่ ii-vi iii-v ไบนารีและสารประกอบเซมิคอนดักเตอร์ ( 3 ) เส้นทึบแสดงวงดนตรีตรงช่องว่างวัสดุและเส้นประสำหรับวงดนตรีทางอ้อมกับวัสดุ ส่วนผสมของ ALP / เกิดช่องว่าง alxgal – XP , อนิจจา / GaAs alxgal xas แบบฟอร์ม , แบบฟอร์ม alsb / gasb alxgal xsb ประกอบไปด้วยสาร / GaAs , InP และ / inas ฟอร์ม inxgal-xasypl-y quaternary ผสมตามแนวตั้งของรูปที่ 414 ผลผลิตขัดแตะ - จับคู่ epitaxial - ชั้นปลูกในช่องว่างใน gasb InP , และพื้นผิว ตามลำดับ โดยการตัดเย็บแถบช่องว่างพลังงานเหล่านี้ iii-v อัลลอย ระบบ มันเป็นไปได้ที่จะผลิตเครื่องตรวจจับเลเซอร์ที่มีความยาวคลื่นครอบคลุมมองเห็นช่วงสเปกตรัมอินฟราเรด กว้างช่องว่างแถบสารกึ่งตัวนำ เช่น ซิลิกอน ALN , ,กันอย่างกว้างขวางและได้รับการตรวจสอบและพัฒนาในปีล่าสุด บริษัทผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ต่าง ๆสำหรับไมโครเวฟ อุณหภูมิสูง และการประยุกต์ใช้พลังงานสูง นอกจากนี้ สารประกอบที่ประกอบไปด้วยเช่นกาน ตาม alxga1 inxga1 ซินซินและมีช่องว่างแถบพลังงานแตกต่างจาก 0.7 EV 6.2 EV ได้ พัฒนาเครื่องตรวจจับยูวี , ไดโอดเลเซอร์และไฟ LED รูปที่ 415 ( a ) และ ( b ) แสดงแถบช่องว่างพลังงานเมื่อเทียบกับโลหะผสมองค์ประกอบ X และ gaasxp1-x alxga1 xas ประกอบไปด้วยสารกึ่งตัวนำผสม ซึ่งแสดงให้เห็นถึงการเปลี่ยนแปลงจากเช่นช่องว่างแถบรอง = 1.42 EV EV และ 2.19 EV ตามลำดับ เป็น X เปลี่ยนจาก 1 เป็น 0 การเปลี่ยนแปลงของช่องว่างแถบด้วยโลหะผสมองค์ประกอบในระบบ iii-v ประกอบไปด้วยวัสดุ สามารถประเมินโดยใช้สูตรเชิงประจักษ์ให้โดย :
( 4107 ) 2() ( 0 ) ggexebxcx =
b เป็นพารามิเตอร์ที่เหมาะสมและ C เรียกว่าโค้งพารามิเตอร์ซึ่งอาจคำนวณหรือพิจารณาตามทฤษฎีนี้ สำหรับ alxga1 xas ระบบวัตถุดิบ พลังงานช่องว่างแถบสำหรับΓ - , X , L - หุบเขาเป็นฟังก์ชันขององค์ประกอบที่สามารถแสดงเป็นโครงสร้าง x
2() 1.4251.2471.147 ( 0.45 ) gexxx Γ = − ( 4.108a )
2() 1.900.1250.143xgexxx = ( 4.108b ) ( 4108c )
การแปล กรุณารอสักครู่..
