A two- or three-stage substrate ent

A two- or three-stage substrate entry load-lock and preparation chamber isolated by gate valves is used to minimize the exposure of the system to air.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

สอง หรือสามขั้นพื้นรายการระบบและเตรียมความพร้อมห้องแยก โดยวาล์วประตูจะใช้เพื่อลดแสงของระบบอากาศ

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

สองหรือสามขั้นตอนการเข้าสารตั้งต้นในการโหลดล็อคและการจัดเตรียมห้องแยกโดยวาล์วประตูจะใช้ในการลดความเสี่ยงของระบบไปในอากาศ