The Crystal Structure of SiliconSin

The Crystal Structure of Silicon
Since TMAH is an anisotropic etchant, the structure etched in TMAH are usually
formed by several special planes of silicon. In order to get a good understanding
of TMAH etching, we should first know the crystal structure of silicon.
The crystal structure of silicon is that of the diamond type with lattice constant
a = 5.43A˙
. The structure is face centered cubic(FCC) but with two atoms in the
unit cell. The following figure shows the atom lattice of silicon and some facets of
the silicon crystal.
The commercially available silicon wafers are (100) and (110) wafers, depending
on the orientation of the wafer surface. In research, the mostly used ones are (100)
wafers. On this type of wafer, the surface is (100) so (111) planes make an angle of
54.74o
to the wafer surface.

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

โครงสร้างผลึกของซิลิกอนตั้งแต่ TMAH เป็น etchant anisotropic โครงสร้างฝังใน TMAH มักจะเกิดขึ้นโดยเครื่องบินพิเศษหลายซิลิกอน เพื่อให้ได้รับความเข้าใจที่ดีของการแกะสลัก TMAH เราควรรู้ว่าโครงสร้างผลึกของซิลิกอน. โครงสร้างผลึกของซิลิกอนเป็นที่ของเพชรชนิดที่มีตาข่ายคงที่A = 5.43A˙ โครงสร้างใบหน้าศูนย์กลางลูกบาศก์ (FCC) แต่มีสองอะตอมในหน่วยเซลล์ รูปต่อไปนี้แสดงให้เห็นตาข่ายอะตอมของซิลิกอนและบางแง่มุมของผลึกซิลิกอน. ที่มีอยู่ในเชิงพาณิชย์ซิลิคอนเวเฟอร์เป็น (100) และ (110) เวเฟอร์ขึ้นอยู่ในทิศทางของพื้นผิวเวเฟอร์ที่ ในการวิจัยคนที่ใช้ส่วนใหญ่เป็น (100) ช็อคโกแลต กับชนิดของแผ่นเวเฟอร์นี้พื้นผิวที่เป็น (100) ดังนั้น (111) เครื่องบินทำให้มุมของ54.74o กับพื้นผิวของแผ่นเวเฟอร์

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

โครงสร้างผลึกซิลิคอน
ตั้งแต่ tmah เป็น etchant อุบ โครงสร้าง อยู่ใน tmah มักจะ
รูปแบบโดยเครื่องบินพิเศษต่าง ๆของซิลิคอน เพื่อที่จะได้รับความเข้าใจที่ดีของ tmah
ฮิง เราควรจะทราบก่อนว่าโครงสร้างผลึกซิลิคอน .
โครงสร้างผลึกซิลิคอนคือของประเภทเพชรกับตาข่ายคงที่ 5.43a ˙
=
โครงสร้างลูกบาศก์ ( FCC ) แต่ด้วยสองอะตอมใน
หน่วยเซลล์ รูปต่อไปนี้แสดงให้เห็นว่าอะตอมของซิลิคอนและบางแง่มุมของแลตทิซผลึกซิลิคอน
.
เวเฟอร์ซิลิคอนที่ใช้ในเชิงพาณิชย์ ( 100 ) และ ( 110 ) เวเฟอร์ , ขึ้นอยู่กับ
ในการพื้นผิวเวเฟอร์ ในการวิจัยส่วนใหญ่ใช้อยู่ ( 100 )
เวเฟอร์ บนเวเฟอร์ชนิดนี้พื้นผิว ( 100 ) ( 111 ) เครื่องบินให้มุมของ 54.74o


กับพื้นผิวเวเฟอร์