2.4. Vacuum SystemVacuum system con

2.4. Vacuum System
Vacuum system consists of a vacuum chamber that made of a stainless steel with an inner diameter of 20 cm and
a height of 20 cm. One window on the sidewall of the vacuum chamber was mounted with a ZnSe lens to transmit
the CO2 laser radiation into the vacuum chamber. The transmitted laser radiation was then focused onto the
surface of TE target. The vacuum system consists of a mechanical rotary pump (Balzers, DUO 1.5 A) and diffusion
pump (Balzers, DIF040L). The pressure in the vacuum chamber was measured by Pirani gauge and Penning
gauge.
2.5. Characterization
Before and after the laser ablations, the mass of TE target was measured using a digital balance with an accuracy
of ±0.1 mg (A & D, GR series). Then, the mass lost of TE target was obtained. The ablated area and penetration
depth on the TE target surface was observed by an optical microscope. The cross-section and surface morphologies
of the TE films were investigated using field emission scanning electron microscopy (FE-SEM: Hitachi,
S-4700). The crystalline structure of the TE films was investigated by X-ray diffraction (XRD: Rigagu, Rint
2000) using CuKα radiation operated at 40 kV and 40 mA. The XRD patterns were recorded at grazing incidence
angle of 3˚ in the 2θ range of 20˚ to 60˚ with a scanning rate of 2˚/min.
3. Results and Discussion
Figure 3 shows the surfaces of TE target after ablating for 1, 2 and 3 h. The mass of TE target was measured
before and after laser ablations. Therefore, the mass lost of the target was obtained and listed in Table 1.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

2.4. ดูดประกอบด้วยระบบดูดสุญญากาศที่ทำจากเหล็กสแตนเลสมีเส้นผ่าศูนย์กลางด้านใน 20 ซม. และความสูง 20 ซม. หน้าต่างเดียวบนแก้มยางของห้องสุญญากาศได้ยึด ด้วยเลนส์ ZnSe ส่งรังสีเลเซอร์ CO2 เข้าไปในห้องสุญญากาศ รังสีเลเซอร์ส่งถูกแล้วมุ่งเน้นไปพื้นผิวของเป้าหมาย TE ระบบสูญญากาศประกอบกลปั๊มโรตารี่ (Balzers, DUO 1.5 A) และการกระจายปั๊ม (Balzers, DIF040L) ความดันในห้องสุญญากาศโดยวัดจากวัด Pirani และ Penningมาตรวัด2.5 การจำแนกลักษณะก่อน และ หลัง ablations เลเซอร์ มวลของ TE เป้าหมายที่มีวัดโดยใช้สมดุลดิจิตอลที่ มีความถูกต้องถึงมก. (A และ D ชุด GR) แล้ว ได้รับมวลที่หายไปของเป้าหมาย TE พื้นที่ ablated และเจาะความลึกบนพื้นผิวเป้าหมาย TE ถูกตรวจสอบ โดยการทรรศ์ Morphologies ภาคตัดขวางและพื้นผิวของกา ภาพยนตร์ถูกตรวจสอบโดยใช้การสแกนอิเล็กตรอนปล่อยฟิลด์ (FE SEM: ฮิตาชิS-4700) โครงสร้างผลึกของฟิล์ม TE ถูกตรวจ ด้วยเอ็กซเรย์เลี้ยว (XRD: Rigagu กาย2000) โดยใช้รังสี CuKα ดำเนินการ 40 kV และ 40 mA มีบันทึกรูปแบบการ XRD ที่แทะเล็มอุบัติการณ์มุมของ 3˚ ในช่วง 2θ 20˚ 60˚ 2˚/นาที อัตราการสแกน3. ผล และการอภิปรายรูปที่ 3 แสดงพื้นผิวของเป้าหมาย TE หลัง ablating 1, 2 และ 3 h มีวัดมวลของเป้าหมาย TEก่อน และ หลังการเลเซอร์ ablations ดังนั้น มวลที่หายไปของเป้าหมายได้ และระบุไว้ในตารางที่ 1

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

2.4 ระบบสูญญากาศ
ระบบสุญญากาศประกอบด้วยห้องสูญญากาศที่ทำจากสแตนเลสที่มีขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางภายใน 20 ซม. และ
ความสูง 20 เซนติเมตร หน้าต่างบนผนังของห้องสูญญากาศที่ถูกติดตั้งด้วยเลนส์ ZnSe เพื่อส่ง
รังสีเลเซอร์ CO2 เข้าไปในห้องสูญญากาศ รังสีเลเซอร์ส่งกำลังจดจ่ออยู่แล้วลงบน
พื้นผิวของเป้าหมาย TE ระบบสูญญากาศประกอบด้วยปั๊มกลโรตารี (Balzers คู่ 1.5) และการแพร่
ปั๊ม (Balzers, DIF040L) ความดันในห้องสูญญากาศโดยวัดจากวัด Pirani และคอก
วัด.
2.5 ตัวละคร
ก่อนและหลัง ablations เลเซอร์มวลของเป้าหมาย TE ถูกวัดโดยใช้ความสมดุลดิจิตอลที่มีความถูกต้อง
ของ± 0.1 mg (A & D, GR Series) จากนั้นมวลที่หายไปของเป้าหมาย TE ที่ได้รับ พื้นที่และการรุกระเหย
ลึกบนพื้นผิวเป้าหมาย TE เป็นที่สังเกตโดยกล้องจุลทรรศน์ cross-section และพื้นผิวรูปร่างลักษณะ
ของภาพยนตร์ TE ถูกตรวจสอบโดยใช้กล้องจุลทรรศน์ข้อมูลการปล่อยอิเล็กตรอนสแกน (FE-SEM: ฮิตาชิ,
S-4700) โครงสร้างผลึกของภาพยนตร์ TE ได้รับการตรวจสอบโดย X-ray การเลี้ยวเบน (XRD: Rigagu, rint
2000) โดยใช้รังสีCuKαดำเนินการใน 40 kV และ 40 มิลลิแอมป์ รูปแบบ XRD ถูกบันทึกไว้ที่อุบัติการณ์การแทะเล็ม
มุมของ3˚อยู่ในช่วงของ2θ20˚ 60 มีอัตราการสแกน2˚ / นาที.
3 ผลการค้นหาและการสนทนา
รูปที่ 3 แสดงให้เห็นพื้นผิวของเป้าหมาย TE หลังจากระเหยสำหรับ 1, 2 และ 3 ชั่วโมง มวลของเป้าหมาย TE วัด
ก่อนและหลังการ ablations เลเซอร์ ดังนั้นมวลที่หายไปของเป้าหมายที่ได้รับและแสดงในตารางที่ 1