The thickness of the film was measu

The thickness of the film was measured
by an Alpha-Step IQ surface profiler (KLA-Tencor Co.).

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

เป็นวัดความหนาของฟิล์ม โดยมีขั้นตอนอัลฟ่า IQ ผิวตัวสร้างโพรไฟล์ (ภูหินร่องกล้า-Tencor จำกัด)

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ความหนาของฟิล์มที่ได้รับการวัดจากพื้นผิว Alpha-ขั้นตอนที่ไอคิวรวมข้อมูล (KLA-Tencor จำกัด )

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ความหนาของฟิล์มวัดไอคิว
อัลฟ่าขั้นพื้นผิว Profiler ( กล้า tencor Co . )