To preserve the photoresistresidual

To preserve the photoresist
residual layer, photolithography was applied on the thick photoresist
using a KrF excimer laser stepper.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

การรักษาเพียงนี้ชั้นที่เหลือ photolithography ใช้บนเพียงหนาการใช้ stepper แบบเลเซอร์เครื่อง KrF

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

เพื่อรักษาความไวแสง
ชั้นที่เหลือ photolithography ถูกนำมาใช้ในไวแสงหนา
ใช้ KrF excimer stepper เลเซอร์