Due to the etch rate dependence of

Due to the etch rate dependence of orientation, anisotropic etching is used to
make V-grooves, silicon mesas and some free standing structures

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

การ etch อัตราอาศัยของแนว กัด anisotropic เป็นใช้ทำให้ ร่อง V, mesas ซิลิคอน และบางโครงสร้างพร้อม

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

เนื่องจากการพึ่งพาอัตราการกัดของการวางแนวการแกะสลัก anisotropic
จะใช้ในการทำV-ร่องผายซิลิกอนและบางโครงสร้างยืนฟรี

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

เนื่องจากการกัดกร่อนของการปฐมนิเทศ ซึ่ง Anisotropic แกะสลักใช้ในการทำ v-grooves
, ซิลิคอนและโครงสร้างบาง mesas ทางตอนยืนฟรี