Table 2: MEXEL input descriptionmac

Table 2: MEXEL input description
macro?
a= O// um, left border of upper plate
b= 1811 um. right border of upper plate
steps= 36// number of steps in discretization
h= (h-aysteps// stepsize
damp= 2.5e6// damping factor
emodul= 7.22e411 kg/(um*sec"2), modulus of elasticity
.rho= 2.7e-15// kg/(umA3), density of aluminium
delta= 0.2// um, thickness of upper plate
hi= 0.4N um, distance upper plate - isolator
di= 031 urn, thickness isolator
eps0= X.854e-hN Ig*uml(V*2*sec"2), electrical field constant
epsk 3.8// relative permittivity isolator. Si02
kl= emodul * delta"2 / ( 12 * rho)// only for canvenience
k2= epsO * epsl"2 / (2 *rho * delta) // only for convenience
end
discretirations
x: steps.a,h// spatial variable to he discretked: x
u(x,t)// U is a function of z and t (timej. 1 is globally defined
end
equations
//deflection: U. excitation: w
//second order time derivative and fouth order spatial deribative on U
u.{tt)=-kI *u-(xxxx) +W
//excitation voltage from electronic circuit: v-ex
w=k2*v~exA2/((epsl*(hi-u)+dl)"2)-damp*(u~{tj)
I/ capacitance over oxide, quadratic plate considered
c-ox = epsO*eps I *(h-a)*2/di
// capacitance over air gap by spdtial integration
c-air = epFO*(h-a)*int_(a)"(h)( l/(h-u), x)
//overall capacitance
c-dmd = c-air * c-ox / (c-air + LOX)
end
constraints
//constraints for u:zero vertical displacement at x=a and x=h.
//zero gradient of bending at x=a and x=b
u(x=a)= 0
u(x=hj= 0
I/ the folloaing equations result from the formula of the first
//order, spatial derivative approximating the iero gradient
u(x=a-h)=O.l25 *(-u(x=a+Z*h) + 8 * u(x=a+h))
u(x=h+h)= 0.125(-u(x=b-2*h) + R * u(x=h-h))
u(x=a-2*h)= 0
u(x=b+?*h)= 0
end
simulator
* circuit devices and simulator commands
.TRAN
end

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ตารางที่ 2: MEXEL ป้อนคำอธิบายแมโครมี = O / / อุ ซ้ายขอบจานด้านบนb = 1811 อืมม เส้นขอบด้านขวาของแผ่นด้านบนขั้นตอน = 36 / / เลขที่ขั้นตอนในการ discretizationชม. = (stepsize h-aysteps / /ความชื้น = 2.5e6 / / ปัจจัยการทำให้หมาด ๆemodul = 7.22e411 kg/(um*sec"2) โมดูลัสของความยืดหยุ่น.rho = 2.7e-15// kg/(umA3) ความหนาแน่นของอะลูมิเนียมเดลต้า = 0.2 / / ความหนาของแผ่นด้านบนสวัสดี = 0.4N อืมม ห่างจากแผ่นบน - จาก isolatordi = 031 โกศ จาก isolator ความหนาeps0 = Ig*uml(V*2*sec"2) X.854e hN สนามไฟฟ้าคงepsk 3.8 / / จาก isolator permittivity ญาติ Si02kl = emodul * เดลต้า " 2 / (12 * rho) / เฉพาะ สำหรับ canveniencek2 = epsO * epsl " 2 / (2 * rho * เดลต้า) / เฉพาะ สำหรับความสะดวกสบายสิ้นสุดdiscretirationsx:ตัวแปรเชิงพื้นที่ steps.a,h// discretked เขา: xu(x,t) / U เป็น ฟังก์ชันของ t และ z (timej. 1 ทั่วโลกกำหนดไว้สิ้นสุดสมการโก่ง: U. กระตุ้น: wสองเวลาอนุพันธ์และ fouth สั่งเชิงพื้นที่ deribative ใน Uสหรัฐ {tt) = kI *u-(xxxx) + Wแรงดันไฟฟ้าจากวงจรอิเล็กทรอนิกส์: v-อดีตw=k2*v~exA2/((epsl*(hi-u)+dl)"2)-damp*(u~{tj)ฉัน / พิจารณาความจุมากกว่าออกไซด์ กำลังสองแผ่นc-วัว = epsO * eps ฉัน *(h-a) * 2/diความจุผ่านช่องว่างอากาศโดยรวม spdtialอากาศ c = epFO*(h-a)*int_(a)"(h) (l/(h-u), x)ความจุโดยรวมฝ่าย c = c-อากาศ * วัว c / (c-อากาศ + ล็อกซ์)สิ้นสุดข้อจำกัดข้อจำกัดสำหรับคุณ: ศูนย์ปริมาณกระบอกสูบแนวตั้งที่ x = และ x = hการไล่ระดับสีเป็นศูนย์การดัดที่ x = และ x = bu(x=a) = 0u (x = hj = 0ผมสมการ folloaing ส่งผลจากสูตรแรกสั่ง อนุพันธ์เชิงพื้นที่ใกล้เคียงไล่ ierou (x = a-h) =O.l25 *(-u(x=a+Z*h) + 8 * u(x=a+h))u(x=h+h) = 0.125(-u(x=b-2*h) + R * u(x=h-h))u(x=a-2*h) = 0u(x=b+?*h) = 0สิ้นสุดจำลอง* วงจรอุปกรณ์และสั่งจำลอง. ตรันสิ้นสุด

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ตารางที่ 2: คำอธิบาย MEXEL อินพุต
? แมโคร
A = O // อืมขอบซ้ายของแผ่นบน
B = 1811 หนอ เส้นขอบด้านขวาของแผ่นบน
ขั้นตอน = 36 // จำนวนของขั้นตอนในการต่อเนื่อง
H = (H-aysteps // stepsize
ชื้น = 2.5e6 // หมาดปัจจัย
emodul = 7.22e411 กก. / (UM * ก.ล.ต. "2)
โมดูลัสของความยืดหยุ่นRho = 2.7e-15 // กก. / (umA3) ความหนาแน่นของอลูมิเนียม
Delta = 0.2 // อืมความหนาของแผ่นบน
Hi = 0.4N UM ระยะแผ่นบน - isolator
di = 031 โกศหนา isolator
eps0 = X. 854e-HN ฉัน G * UML (V * 2 * ก.ล.ต. "2), สนามไฟฟ้าคงที่
epsk 3.8 // ญาติ isolator permittivity. Si02
KL = emodul * เดลต้า" 2 / (12 * Rho) // เฉพาะสำหรับ canvenience
K2 = EPSo * epsl "2 / (2 * * * * * * * * Rho Delta) // เพียงเพื่อความสะดวก
ท้าย
discretirations
x: steps.a, H // ตัวแปรเชิงพื้นที่เพื่อเขา discretked: x
U (x, t) // U เป็นฟังก์ชั่นของซี และ t (. timej 1 ถูกกำหนดให้ทั่วโลก
สิ้น
สม
// โก่ง: กระตุ้น U. : W
// สองอนุพันธ์เวลาการสั่งซื้อและการสั่งซื้อ fouth deribative อวกาศบน U
. U {TT) = - ki * U- (xxxx) + W
/ / แรงกระตุ้นจากวงจรอิเล็กทรอนิกส์: V-EX
W = K2 * V ~ exA2 / ((epsl * (Hi-U) + DL) "2) -damp * (U ~ {TJ)
I / ความจุมากกว่าออกไซด์แผ่นกำลังสอง พิจารณา
C-วัว = EPSo * * * * * * * * EPS ฉัน (ฮ่า) * 2 / di
ความจุมากกว่า // ช่องว่างอากาศโดยบูรณาการ spdtial
C-อากาศ = epFO * (ฮ่า) * int_ (ก) "(H) (L / (Hu) , x)
// ความจุโดยรวม
C-DMD = C-อากาศ * C-วัว / (C-Air + แซลมอนรมควัน)
สิ้นสุด
จำกัด
// จำกัด สำหรับ U: ศูนย์การเคลื่อนที่ในแนวตั้งที่ x = และ x = h.
// ศูนย์การไล่ระดับสี ดัดที่ x = และ x = b
U (x = a) = 0
U (x = HJ = 0
I / สม folloaing ผลจากสูตรแรก
// สั่งซื้ออนุพันธ์เชิงพื้นที่ใกล้เคียงกับการไล่ระดับสี Iero
U (x = Ah) = O.l25 * (- U (x = a + Z * H) + 8 * U (x = a + H))
U (x = H + H) = 0.125 (-u (x = B- 2 * H) + R * U (x = HH))
U (x = A-2 * H) = 0
U (x = B +? * H) = 0
ท้าย
จำลอง
* อุปกรณ์วงจรและการจำลองคำสั่ง
.TRAN
สิ้น

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ตารางที่ 2 : mexel ใส่รายละเอียดมาโคร ?A = O / / อืม เส้นขอบด้านซ้ายของแผ่นบนB = 1811 อืม . ขอบด้านขวาของแผ่นบนขั้นตอน = 36 / / จำนวนของค่าในขั้นตอนH = ( h-aysteps / / stepsizeชื้น = 2.5e6// Damping factoremodul = 7.22e411 กิโลกรัม ( เอ่อ * วินาที " 2 ) , ค่าโมดูลัสของความยืดหยุ่น. โร = 2.7e-15// กิโลกรัม ( uma3 ) ความหนาแน่นของอลูมิเนียมเดลต้า = 0.2// อืม ความหนาของแผ่นบนสวัสดี = 0.4n อืม จาน - แยกระยะทางบนตี้ = 031 โกศ , isolator หนาeps0 = x.854e-hn IG * เชิงวัตถุ ( V * 2 * วินาที " 2 ) คงที่สนามไฟฟ้าepsk 3.8// สัมพัทธ์ป้อน isolator . si02KL = emodul * Delta " 2 / 12 * โร ) / / แค่ canvenienceK2 = epso * epsl " 2 / ( 2 * โร * Delta ) / / แค่ความสะดวกสบายจบdiscretirationsX : ขั้นตอน A , H / / พื้นที่ตัวแปรเขา discretked : xU ( x , t ) / / u เป็นฟังก์ชันของ Z และ T ( timej . 1 ) กำหนดจบสมการ/ / การ U . i : w/ / อนุพันธ์ และครั้งที่สองเพื่อเพื่อพื้นที่ 25 deribative ยูU . { TT ) = - คิ - * u + W ( xxxx )/ / ระบบแรงดันที่ได้จากวงจรอิเล็กทรอนิกส์ : v-exW = * K2 V ~ exa2 / ( ( epsl * ( hi-u ) + DL ) " 2 ) ชื้น ( u * ~ { TJ )ฉัน / ความจุมากกว่าแผ่นถือว่าออกไซด์ กำลังสองc-ox = epso * EPS ผม * ( h-a ) * 2 / ดิ/ / ความจุโดยรวม spdtial ผ่านช่องว่างอากาศc-air = epfo * ( h-a ) * int_ ( ) " ( H ) ( L / ( h-u ) x )/ / ความจุโดยรวมc-dmd = c-air * c-ox / ( c-air + ปลาแซลมอนรมควัน )จบข้อ จำกัด/ / ข้อจำกัดสำหรับ u ศูนย์แนวตั้งการกระจัดที่ x = x = h/ / ศูนย์ลาดแนวโค้งที่ x = x = bU ( x = = 0 )U ( X = Hj = 0ผม / folloaing สมการผลจากสูตรแรก/ / คำสั่งเชิงอนุพันธ์ประเภทที่ iero ไล่ระดับU ( X = a-h ) = o.l25 * ( - u ( x = a + Z * H ) + 8 * u ( x = a + H )U ( X = H + H ) = 0.125 ( - u ( x = B-2 * H + R * u ( x = H-H )U ( x = 2 * H ) = 0U ( X = B + * H ) = 0จบจําลอง* อุปกรณ์และวงจรจำลองคำสั่ง. ทรานจบ