tHigh-power impulse magnetron sputt

tHigh-power impulse magnetron sputtering (HiPIMS), coupled with a direct-current magnetron sputter-ing (dcMS) in parallel, was employed to fabricate graphite-like amorphous carbon (GLC) films. Differentimpulse voltages were applied in HiPIMS during the film deposition. The structure and mechanical prop-erties of the GLC films deposited by the HiPIMS were investigated. The bonding structure of the films wasanalyzed by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) and Raman spectroscopy. Atomic force microscopy(AFM) and Nano-indentation were used to characterize the surface quality and micro-hardness, respec-tively. Internal stress of the films was calculated based on the curvature measured by a laser tester.Tribological behavior of the GLC films is studied by a ball-on-disk tribometer in ambient condition. Theeffects of impulse voltage on deposition rate, internal stress, mechanical and tribological properties ofthe GLC films were investigated. The results are analyzed and discussed.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

กระแสไฟฟ้าสะโพก magnetron สปัตเตอร์ (HiPIMS), ควบคู่ไปกับการกระแสตรง magnetron sputter-ing (dcMS) พร้อมกัน ถูกจ้างจะปั้นฟิล์มคาร์บอนไปเช่นแกรไฟต์ (GLC) แรงดัน Differentimpulse ถูกนำไปใช้ใน HiPIMS ในระหว่างสะสมภาพยนตร์ โครงสร้างและ prop erties กลของฟิล์ม GLC ที่ฝากเงิน โดย HiPIMS จะถูกตรวจสอบ โครงสร้างงานของ wasanalyzed ฟิล์มเอ็กซ์เรย์ photoelectron ก (XPS) และรามันก Microscopy(AFM) แรงอะตอมและเยื้องนาโนก็จะลักษณะของคุณภาพผิว และความ แข็งไมโคร respec tively ความเครียดภายในภาพยนตร์มีคำนวณตามขนาดที่วัด โดยเครื่องวัดเลเซอร์เป็น ศึกษาลักษณะการทำงาน tribological ของภาพยนตร์ GLC โดย tribometer ลูกบนดิสก์ในสภาพแวดล้อม มีสอบสวน Theeffects ของกระแสแรงดันในอัตราสะสม ความเครียดภายใน เครื่องจักรกล และ tribological คุณสมบัติของฟิล์ม GLC ผลการวิเคราะห์ และอธิบาย

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ต้นขาแรงกระตุ้นพลังงานแมกสปัตเตอร์ (HiPIMS) ควบคู่ไปกับการโดยตรงปัจจุบันปะทุไอเอ็นจีแมก (DCMS) ในแบบคู่ขนานถูกจ้างมาเพื่อสานไฟท์เหมือนคาร์บอนอสัณฐาน (GLC) ภาพยนตร์ แรงดันไฟฟ้า Differentimpulse ถูกนำมาใช้ในช่วงการสะสม HiPIMS ภาพยนตร์ โครงสร้างและเครื่องจักรกล prop-erties ของภาพยนตร์ GLC ฝาก HiPIMS ถูกตรวจสอบ โครงสร้างพันธะของภาพยนตร์ wasanalyzed โดยเอ็กซ์เรย์สเปคโทรโฟโตอิเล็กตรอน (XPS) และสเปคโทรรามัน กล้องจุลทรรศน์แรงอะตอม (AFM) และนาโนเยื้องถูกนำมาใช้เพื่ออธิบายลักษณะคุณภาพผิวและไมโครแข็ง respec-ลำดับ ความเครียดภายในของภาพยนตร์ถูกคำนวณจากโค้งวัดจากพฤติกรรมเลเซอร์ tester.Tribological ของภาพยนตร์ GLC มีการศึกษาโดย tribometer ลูกบนดิสก์ในสภาพแวดล้อม Theeffects ของแรงดันไฟฟ้าแรงกระตุ้นอัตราการสะสมความเครียดภายในคุณสมบัติทางกลและ tribological ofthe ภาพยนตร์ GLC ถูกตรวจสอบ ผลการวิเคราะห์และพูดคุยกัน

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ตรอนสปัตเตอริง ( ต้นขาอำนาจแรงกระตุ้น hipims ) ควบคู่กับแมกนีตรอนกระแสตรงละล่ำละลักไอเอ็นจี ( dcms ) ในแบบขนาน ใช้สานแกรไฟต์เช่นคาร์บอนอสัณฐาน ( glc ) ภาพยนตร์ differentimpulse แรงดันไฟฟ้าที่ใช้ใน hipims ในระหว่างฟิล์มเคลือบ โครงสร้างและ erties prop เชิงกลของฟิล์ม glc ฝากโดย hipims คือโครงสร้างพันธะของภาพยนตร์ดังกล่าวไปวิเคราะห์ด้วยเครื่อง X-ray photoelectron spectroscopy ( XPS ) และรามานสเปกโทรสโกปี กล้องจุลทรรศน์แรงอะตอม ( AFM ) และนาโน ถูกใช้สำหรับวิเคราะห์คุณภาพผิวและความแข็งไมโคร respec มี . ความเครียดภายในภาพยนตร์ที่คำนวณได้ตามความโค้งวัดด้วยแสงเลเซอร์เครื่องวัดพฤติกรรม tribological ของ glc ภาพยนตร์ศึกษาโดยลูกบอลบนดิสก์ tribometer ในสภาพแวดล้อม ผลของแรงดันในอัตราความเครียดภายในสะสม , เครื่องกลและ tribological สมบัติของ glc ภาพยนตร์ คือ การวิเคราะห์ผล และกล่าวถึง