Size distribution of these particle

Size distribution of these particles is shown in Fig. 5. EDX data indicates that these samples primarily included the elements carbon, oxygen, silicon, and aluminum, with silicon representing a larger fraction than aluminum. However, as silicon is often the subject of abrasion in CMP, further study will be necessary to concretely demonstrate that these particles originate in the CMP slurry versus being generated as a byproduct of the process. Such a study might be conducted using a system in which silicon-containing slurries are not used, thus eliminating the slurry as a source for any observed silicon in the waste.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

การกระจายขนาดของอนุภาคเหล่านี้แสดงใน Fig. 5 เรื่องข้อมูลบ่งชี้ว่า ตัวอย่างเหล่านี้เป็นหลักรวมองค์ประกอบคาร์บอน ออกซิเจน ซิลิคอน และ อลูมิเนียม พร้อมแสดงเศษส่วนที่มีขนาดใหญ่กว่าอลูมิเนียม อย่างไรก็ตาม เป็นซิลิคอนมักจะเป็นเรื่องของรอยขีดข่วนใน CMP ศึกษาต่อจะได้จำเป็นรูปธรรมแสดงว่า อนุภาคเหล่านี้มาในสารละลาย CMP เมื่อเทียบกับการสร้างจิตสำนึกของการเป็น อาจดำเนินการศึกษาโดยใช้ระบบที่ประกอบด้วยซิลิคอน slurries ไม่ใช้ จึง ขจัดสารละลายที่เป็นแหล่งสำหรับซิลิคอนการสังเกตในขยะ

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

การกระจายขนาดของอนุภาคเหล่านี้จะแสดงในรูป 5. ข้อมูล EDX แสดงให้เห็นว่ากลุ่มตัวอย่างส่วนใหญ่เหล่านี้รวมองค์ประกอบคาร์บอนออกซิเจนซิลิกอนและอลูมิเนียมที่มีซิลิกอนที่เป็นตัวแทนส่วนใหญ่กว่าอลูมิเนียม อย่างไรก็ตามในขณะที่ซิลิกอนมักจะเป็นเรื่องของการขัดสีใน CMP, การศึกษาต่อไปจะมีความจำเป็นที่จะเป็นรูปธรรมแสดงให้เห็นว่าอนุภาคเหล่านี้เกิดในสารละลายซีเอ็มพีเมื่อเทียบกับที่ถูกสร้างขึ้นเป็นผลพลอยได้จากกระบวนการ การศึกษาดังกล่าวอาจจะมีการดำเนินการโดยใช้ระบบที่ slurries ซิลิกอนที่มีไม่ได้ใช้จึงช่วยลดสารละลายเป็นแหล่งข้อมูลสำหรับซิลิกอนสังเกตใด ๆ ในเสีย

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

การกระจายขนาดของอนุภาคเหล่านี้จะแสดงในรูปที่ 5 ข้อมูลการวัด พบว่า ตัวอย่างเหล่านี้เป็นหลักรวมถึงองค์ประกอบของธาตุคาร์บอน ออกซิเจน ซิลิกอน และ อลูมิเนียม กับซิลิคอนแทนเศษส่วนที่มีขนาดใหญ่กว่าอลูมิเนียม อย่างไรก็ตาม ซิลิคอน มักจะเป็นเรื่องของการขัดสีใน CMP ,การศึกษาเพิ่มเติมจะต้องเป็นรูปธรรม แสดงให้เห็นว่า อนุภาคเหล่านี้เกิดใน CMP Slurry และถูกสร้างขึ้นเป็นผลพลอยได้ของกระบวนการ เช่น การเรียนอาจจะดำเนินการโดยใช้ระบบที่ซิลิคอนที่มี slurries ไม่ได้ใช้จึงขจัดสารละลายเป็นแหล่งสำหรับการใด ๆพบซิลิคอนในขยะ