Silicon Nitride was avoided here as

Silicon Nitride was avoided here as the etch rates are comparable to SiO2.

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ซิลิกอนไนไตรด์หลีกเลี่ยงที่นี่เป็นอัตราจำหลักจะเปรียบกับ SiO2

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ซิลิคอนไนไตรด์คือหลีกเลี่ยงที่นี่กัดอัตราเทียบเท่ากับ SiO2 .