Thus, mostof the heat is lost due t

Thus, most
of the heat is lost due to air convection. During spin coating
of pure paraffin, a heat gun was used to heat the COC surface
above the paraffin melting point of 55–56 ◦C. This generated
even more air convection, resulting in even shorter spin coating
times (2 s spread and 3 s spin). Although the process worked, an
important trade off of the reduced spin time is a reduction in film
thickness uniformity—we measured pure paraffin film thickness
to vary by more than 2 m over the wafer surface. However,
when using OpticlearTM to spin coat paraffin under a conventional
lamp to preheat COC substrates, the spin coating time was
increased to 20 s and the film thickness uniformity was improved
dramatically (see Fig. 4). Observed thickness variations were
0.3–0.5m, depending on the film thickness. The thickness of
paraffin films deposited using the OpticlearTM approach varied
from 3 to 7m when changing deposition speed from 2000 to
6000 rpm.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ดังนั้น ส่วนใหญ่ความร้อนจะสูญหายเนื่องจากการพาอากาศ ระหว่างหมุนเคลือบของพาราฟินบริสุทธิ์ ใช้ปืนร้อนร้อนผิวคอชเหนือจุดหลอมเหลวพาราฟิน ◦C 55 – 56 นี้สร้างขึ้นการพาอากาศยิ่ง ในเคลือบหมุนเร็วกว่านั้นเวลา (แพร่กระจาย s 2 และ s 3 หมุน) แม้ว่ากระบวนการทำงาน การค้าสำคัญออกเวลาหมุนลดลงจะลดลงในฟิล์มความรื่นรมย์ความหนา — เราวัดความหนาฟิล์มพาราฟินบริสุทธิ์การเปลี่ยนแปลง โดยมากกว่า 2 เมตรเหนือพื้นผิวของแผ่นเวเฟอร์ อย่างไรก็ตามเมื่อใช้ OpticlearTM หมุนตราพาราฟินภายใต้ความธรรมดาโคมไฟเพื่ออุ่นอุ่นพื้นผิวคอช เวลาเคลือบหมุนได้เพิ่มขึ้น 20 s และความรื่นรมย์ความหนาของฟิล์มที่ถูกปรับปรุงอย่างมาก (โปรดดู Fig. 4) สังเกตความหนาเปลี่ยนแปลงได้0.3 – 0.5 m ขึ้นอยู่กับความหนาของฟิล์ม ความหนาของฟิล์มพาราฟินที่ฝากเงินโดยใช้วิธี OpticlearTM ที่แตกต่างกัน3 7 เมตรเมื่อเปลี่ยนความเร็วสะสมจาก 2000 เป็น6000 รอบต่อนาที

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ดังนั้นส่วนใหญ่ของความร้อนจะสูญเสียไปเนื่องจากการถ่ายเทอากาศ ในระหว่างการเคลือบหมุนของพาราฟินบริสุทธิ์ปืนความร้อนที่ถูกนำมาใช้เพื่อให้ความร้อนพื้นผิว COC เหนือจุดหลอมพาราฟินของ 55-56 ◦C นี้สร้างถ่ายเทอากาศได้มากยิ่งขึ้นส่งผลให้ในการเคลือบหมุนแม้สั้นครั้ง(2 และ 3 การแพร่กระจายของสปิน) แม้ว่ากระบวนการทำงานการค้าที่สำคัญออกจากเวลาการหมุนลดลงคือการลดฟิล์มหนาสม่ำเสมอเราวัดความหนาของฟิล์มพาราฟินบริสุทธิ์จะแตกต่างกันมากกว่า2 เมตรเหนือพื้นผิวเวเฟอร์ แต่เมื่อใช้ในการหมุน OpticlearTM พาราฟินเสื้อธรรมดาภายใต้โคมไฟที่จะอุ่นพื้นผิว COC เวลาเคลือบหมุนได้เพิ่มขึ้นถึง20 และความสม่ำเสมอของความหนาของฟิล์มได้รับการปรับปรุงให้ดีขึ้นอย่างมาก(ดูรูปที่. 4) รูปแบบความหนาสังเกตได้0.3-0.5? เมตรขึ้นอยู่กับความหนาของฟิล์ม ความหนาของฟิล์มพาราฟินฝากใช้วิธีการที่แตกต่างกัน OpticlearTM 3-7? เมตรเมื่อมีการเปลี่ยนแปลงความเร็วในการให้การของพยานที่จะ 2000 จาก6000 รอบต่อนาที

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ดังนั้นที่สุด
ของความร้อนที่สูญเสียไปจากอากาศการพาความร้อน ในระหว่างการหมุนเคลือบ
พาราฟินบริสุทธิ์ ปืนร้อน ใช้ความร้อนพื้นผิวก๊ก
ข้างบนพาราฟินจุดหลอมเหลว 55 – 56 ◦ C นี้สร้าง
ยิ่งอากาศแบบที่เกิดในสั้นแม้เคลือบ
ปั่นครั้ง ( กระจาย 2 และ 3 ของปั่น ) แม้ว่ากระบวนการทำงานที่สำคัญของการลด
การค้าออกปั่นเวลาการภาพยนตร์
เราวัดความหนาความหนาฟิล์มพาราฟินบริสุทธิ์
แตกต่างกันไปมากกว่า 2  เมตรเหนือพื้นผิวเวเฟอร์ อย่างไรก็ตาม
เมื่อใช้ opticleartm ปั่นเคลือบพาราฟินภายใต้โคมไฟธรรมดา
preheat ก๊กพื้นผิวเคลือบ เวลาปั่น
เพิ่มขึ้น 20 และความหนาสม่ำเสมอดีขึ้น
อย่างมาก ( ดูรูปที่ 4 ) ตรวจสอบความหนา 0.3 - 0.5  รูปแบบคือ
Mขึ้นอยู่กับความหนาของฟิล์ม . ความหนาของฟิล์มที่ใช้ opticleartm
พาราฟินมีวิธีการหลากหลาย
3 ถึง 7  เมื่อเปลี่ยนแปลงความเร็วสะสม 2
6 , 000 รอบต่อนาที