As the efficiency of plasma formati

As the efficiency of plasma formation processes and maintaining stable gas discharge are significantly connected with the value of the electric component of the electromagnetic field Еeff intensity in the discharge zone [4,5], microwave resonant type plasmatrons in which significant increase of electromagnetic wave field intensity is provided not by increasing the power of microwave energy source but by design solutions of microwave field formation system, turn to be of vital interest. The following technical design solutions with the use of resonant type devices are possible: partial filling of resonant volume with plasma, complete filling of resonant volume with plasma and a separation of resonant and reaction volumes with vacuum tight partition provided with the elements of electromagnetic connection [6].
Theoretically, the microwave resonant type devices with a characteristic size of discharge zone exceeding the length of a plasma generating electromagnetic wave are studied insufficiently. The information on systematic investigation of parameters , qualitative composition and properties of plasma at microwave discharges of more than 6000 сm3 volume in resonant type reaction-discharge chambers at low
pressure is not available in literature and technical solutions of resonant type devices require comprehensive investigation to develop and improve their design solutions, to develop engineering methods of calculating discharge blocks and to work out scientifically grounded recommendations on their use in various processes of vacuum-plasma treatment of materials.
Working at the processes of treatment of materials with microwave plasma the question of the penetration of microwave fields into the gas discharge zone is of great interest. This effect should be taken into consideration because of the following reasons:
1. microwave fields, in case of presence of high dielectric losses materials in plasma volume, can interact with them that results in the decrease of microwave power supplied into the discharge;
2. microwaves can re-reflect in plasma volume that leads to the change of discharge parameters;
3. microwave fields in this case can initiate plasma reactions on the surface of “ionized gas-solid body” junction.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

เป็นประสิทธิภาพของพลาสม่า ก่อตัวประมวลผล และรักษาปล่อยก๊าซที่มีเสถียรภาพมากเชื่อมต่อกับค่าตัวประกอบความเข้ม Еeff สนามแม่เหล็กฟิลด์ในโซนปล่อย [4,5], ไฟฟ้าไมโครเวฟ plasmatrons ชนิดคงที่เพิ่มขึ้นอย่างมีนัยสำคัญของความเข้มคลื่นสนามแม่เหล็กฟิลด์ไว้ไม่ได้ โดยการเพิ่มพลังงานของแหล่งพลังงานไมโครเวฟ แต่ ด้วยโซลูชั่นการออกแบบระบบไมโครเวฟฟิลด์ผู้แต่งเปิดให้น่าสนใจที่สำคัญ โซลูชั่นการออกแบบทางเทคนิคต่อไปนี้ มีการใช้อุปกรณ์ชนิดคงเป็นไปได้: บางส่วนบรรจุของเสียงคงมีจอพลาสม่า สมบูรณ์บรรจุปริมาตรคงกับพลาสม่าและแยกของคงและวอลุ่มปฏิกิริยากับพาร์ทิชันแน่นที่สิวที่มีองค์ประกอบของการเชื่อมต่อไฟฟ้า [6]ตามหลักวิชา อุปกรณ์ไมโครเวฟคงชนิดขนาดลักษณะโซนปล่อยเกินความยาวของพลาสมาสร้างคลื่นแม่เหล็กไฟฟ้าจะศึกษา insufficiently ข้อมูลในระบบตรวจสอบพารามิเตอร์ องค์ประกอบเชิงคุณภาพ และคุณสมบัติของพลาสมาที่ปล่อยไมโครเวฟของวอลุ่ม сm3 มากกว่า 6000 ชนิดคงปฏิกิริยาปลดประจำหอที่ต่ำไม่มีความดันในวรรณคดี และโซลูชั่นด้านเทคนิคของอุปกรณ์ชนิดคงต้องตรวจสอบที่ครอบคลุมการพัฒนา และปรับปรุงการแก้ไขการออกแบบ พัฒนาวิธีวิศวกรรมคำนวณปล่อยบล็อก และทำงานออกทางวิทยาศาสตร์สูตรคำแนะนำในการใช้ในกระบวนการต่าง ๆ การรักษาดูดพลาสม่าของวัสดุทำงานในกระบวนการของการรักษาของวัสดุกับพลาสม่าไมโครเวฟคำถามที่เจาะของไมโครเวฟในโซนปล่อยก๊าซได้น่าสนใจดี ผลนี้ควรนำมาพิจารณาเนื่องจากสาเหตุต่อไปนี้:1. เขตไมโครเวฟ ในกรณีของวัสดุสูญเสียการเป็นฉนวนสูงปริมาณพลาสมา สามารถโต้ตอบกับพวกเขาที่มีผลลดพลังงานไมโครเวฟมาไปปล่อย2. ไมโครเวฟสามารถสะท้อนถึงปริมาณพลาสมาที่นำไปสู่การเปลี่ยนแปลงของพารามิเตอร์ปล่อย ใหม่3. เขตไมโครเวฟในกรณีนี้สามารถเริ่มปฏิกิริยาพลาสมาบนพื้นผิวของ "ร่างกายของแข็งก๊าซ ionized" ชุมทาง

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ขณะที่ประสิทธิภาพของกระบวนการสร้างพลาสม่าและการบำรุงรักษาการปล่อยก๊าซที่มีเสถียรภาพมีการเชื่อมต่ออย่างมีนัยสำคัญที่มีค่าขององค์ประกอบไฟฟ้าความเข้มของสนามแม่เหล็กไฟฟ้าЕeffในโซนปล่อย [4,5], เครื่องไมโครเวฟชนิดจังหวะ plasmatrons ที่เพิ่มขึ้นอย่างมีนัยสำคัญของสนามคลื่นแม่เหล็กไฟฟ้า ความรุนแรงมีให้ไม่ได้โดยการเพิ่มพลังของแหล่งพลังงานไมโครเวฟ แต่ด้วยโซลูชั่นการออกแบบของระบบการสร้างสนามไมโครเวฟหันไปเป็นที่สนใจของสำคัญ ต่อไปนี้การแก้ปัญหาการออกแบบทางเทคนิคที่มีการใช้อุปกรณ์ชนิดจังหวะที่เป็นไปได้: เติมบางส่วนของปริมาณจังหวะกับพลาสม่า, บรรจุที่สมบูรณ์ของเสียงสะท้อนที่มีพลาสม่าและการแยกของไดรฟ์จังหวะและทำปฏิกิริยากับสูญญากาศพาร์ทิชันให้แน่นกับองค์ประกอบของการเชื่อมต่อไฟฟ้า [ 6]
ในทางทฤษฎีไมโครเวฟอุปกรณ์ชนิดจังหวะที่มีขนาดลักษณะของโซนปล่อยเกินความยาวของพลาสม่าสร้างคลื่นแม่เหล็กไฟฟ้าที่มีการศึกษาไม่เพียงพอ ข้อมูลเกี่ยวกับการตรวจสอบระบบของพารามิเตอร์องค์ประกอบคุณภาพและคุณสมบัติของพลาสม่าที่ปล่อยคลื่นไมโครเวฟของมากกว่า 6000 ปริมาณсm3ในรูปแบบจังหวะห้องปฏิกิริยาปล่อยที่ต่ำ
ความดันจะไม่สามารถใช้ได้ในการแก้ปัญหาวรรณกรรมและทางเทคนิคของอุปกรณ์ชนิดจังหวะต้องมีการตรวจสอบที่ครอบคลุมการพัฒนา และปรับปรุงการออกแบบของพวกเขาในการพัฒนาวิธีการทางวิศวกรรมในการคำนวณการปล่อยบล็อกและการทำงานจากคำแนะนำที่มีเหตุผลทางวิทยาศาสตร์ที่ใช้ในกระบวนการต่างๆของการรักษาสูญญากาศพลาสม่าของวัสดุ
การทำงานที่กระบวนการของการรักษาของวัสดุที่มีไมโครเวฟพลาสมาคำถามของ การรุกของสาขาไมโครเวฟเป็นโซนการปล่อยก๊าซก็มีความน่าสนใจมาก ผลกระทบนี้ควรจะนำมาพิจารณาเพราะเหตุผลดังต่อไปนี้:
1 สาขาเครื่องไมโครเวฟ, ในกรณีของการแสดงตนของวัสดุที่สูญเสียอิเล็กทริกสูงในปริมาณพลาสม่า, สามารถโต้ตอบกับพวกเขาว่าผลในการลดลงของการใช้พลังงานไมโครเวฟมาเป็นปล่อย;
2 ไมโครเวฟสามารถกลับสะท้อนให้เห็นถึงปริมาณพลาสม่าที่นำไปสู่การเปลี่ยนแปลงของพารามิเตอร์ปล่อย;
3 สาขาไมโครเวฟในกรณีนี้สามารถเริ่มต้นการเกิดปฏิกิริยาพลาสม่าบนพื้นผิวของ "ร่างกายแตกตัวเป็นไอออนก๊าซแข็ง" ทางแยก

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

เป็นประสิทธิภาพของกระบวนการการเกิดพลาสมา และการปล่อยก๊าซที่มั่นคงเป็นอย่างที่เกี่ยวข้องกับค่าของไฟฟ้า ส่วนประกอบของสนามแม่เหล็กไฟฟ้าความเข้มในการЕเอเอฟเอฟเขต [ 4 , 5 ]ไมโครเวฟเรโซแนนซ์ชนิด plasmatrons ที่เพิ่มขึ้นอย่างมีนัยสำคัญของความเข้มคลื่นสนามแม่เหล็กไฟฟ้าให้ไม่ได้ โดยเพิ่มการใช้พลังงานของแหล่งพลังงานไมโครเวฟแต่โดยโซลูชั่นการออกแบบระบบการพัฒนาสนามไมโครเวฟ หันไปสนใจที่สําคัญ ต่อไปนี้เทคนิคโซลูชั่นการออกแบบกับการใช้อุปกรณ์แบบเรโซแนนซ์ที่เป็นไปได้ :กรอกข้อมูลบางส่วนของจังหวะระดับเสียงที่มีพลาสม่า , กรอกสมบูรณ์ของจังหวะเสียงกับพลาสม่าและการแยกของจังหวะและปฏิกิริยาวอลุ่มแน่นด้วยสูญญากาศพาร์ติชันให้กับองค์ประกอบของการเชื่อมต่อไฟฟ้า [ 6 ] .
ทุกคนไมโครเวฟเรโซแนนซ์ชนิดอุปกรณ์ที่มีขนาด ลักษณะของตกขาวเขตเกินความยาวของพลาสมาสร้างคลื่นแม่เหล็กไฟฟ้านี้ไม่ . ข้อมูลเกี่ยวกับการตรวจสอบระบบของตัวแปรองค์ประกอบคุณภาพและคุณสมบัติของพลาสมาจากไมโครเวฟการจำหน่ายกว่า 6 , 000 с M3 ปริมาตรเรโซแนนซ์ชนิดปฏิกิริยาปล่อยห้องที่น้อย
แรงดันที่ไม่สามารถใช้ได้ในวรรณคดีและโซลูชั่นทางด้านเทคนิคของอุปกรณ์ประเภท ก้องต้องสอบสวนอย่างละเอียด เพื่อปรับปรุงและพัฒนาโซลูชั่นการออกแบบของพวกเขาพัฒนาวิธีการทางวิศวกรรมของการปลดบล็อกและทำงานออกมาอย่างมีข้อเสนอแนะในการใช้ในกระบวนการต่างๆของการรักษาสิวในพลาสมาของวัสดุ
การทำงานในกระบวนการของการรักษาของวัสดุด้วยไมโครเวฟพลาสมาถามเจาะช่องไมโครเวฟเป็นปล่อยก๊าซ โซน น่าสนใจมาก ผลนี้ควรได้รับการพิจารณาเนื่องจากสาเหตุต่อไปนี้ :
1 ข้อมูลไมโครเวฟ ในกรณีที่มีการสูญเสียวัสดุฉนวนสูงปริมาณพลาสมาสามารถโต้ตอบกับพวกเขาว่าผลในการลดลงของพลังงานไมโครเวฟในการจัดหา ;
2 ไมโครเวฟสามารถจะสะท้อนในพลาสมาปริมาณที่นำไปสู่การเปลี่ยนแปลงของพารามิเตอร์ ;
3 ไมโครเวฟข้อมูล ในกรณีนี้ สามารถเริ่มต้นปฏิกิริยาพลาสมาบนพื้นผิวของร่างกายที่บริสุทธิ์ " ชุมทางผลกระทบ .