With increasing average ion energy, a transition from columnar growth to layer-by-layer growth is observed , e.g., for GaN on SiC depicted in Figure 3. When comparing the incident ion energy
ด้วยการเพิ่มพลังงานไอออนโดยเฉลี่ยแล้วการเปลี่ยนแปลงจากการเติบโตของการเติบโตของเสาชั้นโดยชั้นเป็นที่สังเกตเช่นสำหรับกานบน SiC ที่ปรากฎในรูปที่ 3. เมื่อเปรียบเทียบพลังงานไอออนเหตุการณ์ที่เกิดขึ้น