lasma, also referred to as “ionized

lasma, also referred to as “ionized gas” is mixed state of atoms, molecules, ions, electrons and radicals. Plasma has two general states: equilibrium and non-equilibrium. The equilibrium state indicates the temperatures of electrons, ions and neutrals become almost equal, and the background gas is heated from a few thousands to more than ten thousands Kelvin degrees. Because of this, the plasma getting equilibrium state is called as “thermal plasma”. On the other hand, the non-equilibrium state means that the temperatures of electrons, ions and neutrals are quite different, and in general the electron temperature is substantially higher than other particles. Therefore, the rise of background gas temperature is quite low in non-equilibrium state and the plasma being non-equilibrium state is called as “non-thermal plasma”. Figure 1 shows a typical example of non-thermal plasma [8]. This figure shows the background gas temperature of non-thermal plasma is enough low to touch by a finger. In the non-thermal plasma, the majority of the discharge energy goes into the production of energetic electrons, rather than ion and neutron heating. The energy in the plasma is thus consumed preferentially to the electron impact dissociation and ionization of the background gas for production of radicals that, in turn, decompose the toxic molecules. In short, non-thermal plasma can remove toxic molecules near room temperature without consuming a lot of energy in background gas heating.

For low pressure plasma process such as semiconductor production, the non-equilibrium plasma which is often named “cold plasma” is typically used. Prof. Oda [9] defined that non-thermal plasma is high pressure (typically 1 atmospheric pressure) non-equilibrium plasma. Compared with that cold plasma, the electron temperature and ionization rate are quite lower in non-thermal plasma. Typically, the electron temperature of cold plasma is tens of eV. Meanwhile, in atmospheric pressure, the electron temperature is generally 1 to 10eV and ionization rate is around 0.1%. However, it is important for gas processing in atmospheric pressure because electron and molecular density is overwhelmingly high in comparison to low pressure condition. If the gas processing is done in low pressure condition, the absolute molecule quantity is low. That is, large amount of energetic electron having more than dissociation energy of objective molecules are need in order to generate more radicals and decompose more toxic molecules. Later on, the required value of electron energy for air pollution control is approximately 10eV.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

lasma ยังเรียกว่าเป็น "ก๊าซ ionized" ผสมสถานะของอะตอม โมเลกุล กัน อิเล็กตรอน และอนุมูล พลาสมามีสองสถานะทั่วไป: สมดุลและไม่สมดุลกัน สถานะสมดุลแสดงอุณหภูมิของอิเล็กตรอน ประจุและอักขระปกติกลายเป็นเกือบเท่า และเป็นอุ่นแก๊สพื้นหลังจากไม่กี่พันถึงหมื่นกว่าองศาเคลวิน ด้วยเหตุนี้ พลาสม่ารับสถานะสมดุลเรียกว่าเป็น "พลาสม่าความร้อน" บนมืออื่น ๆ รัฐไม่สมดุลหมายความ ว่า อุณหภูมิของอิเล็กตรอน ประจุ และอักขระปกติจะค่อนข้างแตกต่าง และโดยทั่วไป อุณหภูมิอิเล็กตรอนมากสูงกว่าอนุภาคอื่น ๆ ดังนั้น เพิ่มขึ้นของอุณหภูมิแก๊สพื้นหลังอยู่ค่อนข้างต่ำในสภาวะที่ไม่สมดุล และพลาสมาที่เป็นสภาวะไม่สมดุลเรียกว่าเป็น "พลาสม่าไม่ร้อน" รูปที่ 1 แสดงตัวอย่างทั่วไปของพลาสม่าไม่ร้อน [8] รูปนี้แสดงอุณหภูมิแก๊สพื้นหลังของพลาสม่าไม่ใช่ความร้อนจะต่ำพอสัมผัส ด้วยนิ้วมือ ในพลาสม่าไม่ร้อน ส่วนใหญ่ปล่อยพลังงานไปในการผลิตของ อิเล็กตรอนมีพลัง แทนที่ไอออน และนิวตรอนความร้อน พลังงานในพลาสมาจึงได้มีการบริโภคโน้ตอิเล็กตรอนกระทบ dissociation และ ionization ของก๊าซพื้นหลังสำหรับการผลิตของอนุมูลที่ กลับ เปื่อยโมเลกุลเป็นพิษ ในระยะสั้น พลาสม่าความร้อนไม่สามารถเอาพิษโมเลกุลใกล้อุณหภูมิห้องโดยไม่ต้องใช้จำนวนมากของพลังงานในพื้นหลังแก๊สร้อน

สำหรับกระบวนการพลาสมาความดันต่ำเช่นผลิตสารกึ่งตัวนำ พลาสม่าไม่สมดุลซึ่งมักจะมีชื่อว่า "เย็นชา" โดยปกติจะใช้ได้ ศาสตราจารย์ ลโอะดะ [9] กำหนดว่าความร้อนไม่ใช่พลาสม่าพลาสม่าไม่สมดุลแรงดันสูง (ความดันบรรยากาศปกติ 1) เมื่อเทียบกับพลาสมาที่เย็น อิเล็กตรอนอุณหภูมิและ ionization อัตราได้ค่อนข้างต่ำในพลาสม่าไม่ร้อน โดยปกติ อุณหภูมิอิเล็กตรอนของพลาสมาเย็นเป็นหลักสิบของ eV ในขณะเดียวกัน ในความดันบรรยากาศ อุณหภูมิอิเล็กตรอนโดยทั่วไปจะ 1 10eV และอัตราการ ionization จะประมาณ 0.1% อย่างไรก็ตาม มันเป็นสิ่งสำคัญสำหรับการประมวลผลในความดันบรรยากาศเพราะอิเล็กตรอนและโมเลกุลความหนาแน่นสูง overwhelmingly โดยเงื่อนไขความดันต่ำแก๊ส ถ้าการประมวลผลแก๊สเสร็จในสภาพความดันต่ำ ปริมาณโมเลกุลสมบูรณ์มีน้อย นั่นก็คือ จำนวนอิเล็กตรอนที่มีพลังมีมากกว่า dissociation พลังงานของโมเลกุลมีวัตถุประสงค์เพื่อสร้างอนุมูลมากขึ้น และเปื่อยมากพิษโมเลกุลได้ ในภายหลัง ค่าของจำเป็นของพลังงานอิเล็กตรอนสำหรับควบคุมมลพิษอากาศคือ ประมาณ 10eV

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

Lasma ยังเรียกว่า "ก๊าซแตกตัวเป็นไอออน" เป็นรัฐผสมของอะตอมโมเลกุลไอออนอิเล็กตรอนและอนุมูล พลาสม่ามีสองรัฐโดยทั่วไป: ความสมดุลและไม่สมดุล สมดุลบ่งบอกถึงอุณหภูมิของอิเล็กตรอนไอโอนิกและเว้นกลายเป็นเกือบเท่ากันและก๊าซพื้นหลังจะได้รับความร้อนจากไม่กี่พันกว่าหมื่นองศาเคลวิน ด้วยเหตุนี้พลาสม่าได้รับการรัฐสมดุลเรียกว่าเป็น "พลาสม่าความร้อน" ในทางตรงกันข้ามการที่รัฐไม่สมดุลหมายถึงการที่อุณหภูมิของอิเล็กตรอนไอโอนิกและเว้นแตกต่างกันมากและโดยทั่วไปอุณหภูมิอิเล็กตรอนเป็นอย่างมากสูงกว่าอนุภาคอื่น ๆ ดังนั้นการเพิ่มขึ้นของอุณหภูมิพื้นหลังก๊าซอยู่ในระดับต่ำมากในสถานะที่ไม่สมดุลและพลาสม่าเป็นสถานะที่ไม่สมดุลจะเรียกว่าเป็น "พลาสม่าไม่ใช่ความร้อน" รูปที่ 1 แสดงตัวอย่างทั่วไปของพลาสม่าไม่ใช่ความร้อน [8] ตัวเลขนี้แสดงให้เห็นถึงอุณหภูมิก๊าซพื้นหลังของพลาสม่าไม่ใช่ความร้อนต่ำก็พอจะสัมผัสด้วยนิ้วมือ ในพลาสม่าไม่ใช่ความร้อนส่วนใหญ่ของพลังงานที่ปล่อยไปสู่การผลิตของอิเล็กตรอนมีพลังมากกว่าไอออนและความร้อนนิวตรอน พลังงานพลาสม่าในการบริโภคจึงชอบที่จะแยกออกจากผลกระทบอิเล็กตรอนและไอออนไนซ์ของก๊าซพื้นหลังสำหรับการผลิตของอนุมูลว่าในทางกลับกันการย่อยสลายโมเลกุลที่เป็นพิษ ในระยะสั้นพลาสม่าไม่ใช่ความร้อนสามารถเอาโมเลกุลของสารพิษใกล้อุณหภูมิห้องโดยไม่ต้องใช้พลังงานมากในการทำความร้อนก๊าซพื้นหลังสำหรับกระบวนการพลาสม่าแรงดันต่ำเช่นการผลิตเซมิคอนดักเตอร์, พลาสม่าที่ไม่สมดุลซึ่งมักจะชื่อ "พลาสม่าเย็น" โดยทั่วไปจะมี สินค้ามือสอง ศ [9] โอดะกำหนดไว้ที่พลาสม่าไม่ใช่ความร้อนคือความดันสูง (ปกติ 1 ความดันบรรยากาศ) พลาสม่าที่ไม่สมดุล เมื่อเทียบกับพลาสม่าที่อากาศหนาวอุณหภูมิอิเล็กตรอนและอัตราการไอออไนซ์จะค่อนข้างลดลงในพลาสม่าไม่ใช่ความร้อน โดยปกติอุณหภูมิอิเล็กตรอนของพลาสมาเย็นนับ eV ในขณะเดียวกันในความดันบรรยากาศอุณหภูมิอิเล็กตรอนโดยทั่วไปที่ 1 ถึง 10EV และอัตราการไอออไนซ์อยู่ที่ประมาณ 0.1% แต่มันเป็นสิ่งสำคัญสำหรับการประมวลผลก๊าซในความดันบรรยากาศเพราะอิเล็กตรอนและความหนาแน่นของโมเลกุลสูงโด่งเมื่อเทียบกับสภาพความดันต่ำ หากการประมวลผลก๊าซจะกระทำในสภาพความดันต่ำปริมาณโมเลกุลแน่นอนอยู่ในระดับต่ำ นั่นคือจำนวนมากของอิเล็กตรอนมีพลังมีมากกว่าพลังงานที่แยกออกจากกันของโมเลกุลวัตถุประสงค์จะต้องเพื่อที่จะสร้างอนุมูลมากขึ้นและการย่อยสลายโมเลกุลของสารพิษมากขึ้น ต่อมาค่าที่ต้องการของพลังงานอิเล็กตรอนสำหรับการควบคุมมลพิษทางอากาศจะอยู่ที่ประมาณ 10EV

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ลาซมา ยังเรียกว่า " ไอออนไนซ์ก๊าซ " เป็นรัฐผสมของอะตอม โมเลกุล ไอออนอิเล็กตรอนและอนุมูลอิสระ พลาสมาได้สองรัฐทั่วไป : สมดุลและไม่สมดุล . ความสมดุลสภาพบ่งบอกถึงอุณหภูมิของอิเล็กตรอนและไอออน neutrals เป็นเกือบเท่ากัน และพื้นหลังเป็นแก๊สร้อนจากไม่กี่พันกว่าหมื่นเคลวิน องศา เพราะเหตุนี้พลาสมาการสภาวะสมดุลเรียกว่า " ความร้อนพลาสมา " บนมืออื่น ๆ , สถานะไม่สมดุลหมายความว่าอุณหภูมิอิเล็กตรอนและไอออน Neutrals จะค่อนข้างแตกต่าง และโดยทั่วไปสูงกว่าอุณหภูมิอิเล็กตรอนเป็นอนุภาคอื่น ๆ ดังนั้นการเพิ่มขึ้นของอุณหภูมิแก๊สหลังค่อนข้างต่ำในพลาสมา สถานะไม่สมดุลและไม่สมดุลของรัฐถูกเรียกว่าเป็น " ไม่ใช่ความร้อนพลาสมา " รูปที่ 1 แสดงตัวอย่างทั่วไปของการไม่ระบายความร้อนพลาสมา [ 8 ] รูปนี้แสดงให้เห็นพื้นหลังไม่ร้อนอุณหภูมิก๊าซพลาสมาต่ำพอที่จะสัมผัสด้วยนิ้วมือ ไม่มีความร้อนในพลาสมาส่วนใหญ่ของการปล่อยพลังงานเข้าไปในการผลิตพลังอิเล็กตรอนมากกว่าไอออนและนิวตรอนความร้อน พลังงานในพลาสมาจึงใช้ preferentially กับอิเล็กตรอนกระทบการแยกตัวออกและไอของก๊าซหลังการผลิตของอนุมูลอิสระที่ , ในการเปิด , ย่อยสลายโมเลกุลที่เป็นพิษ ในสั้นปลอดความร้อนพลาสมาสามารถเอาโมเลกุลที่เป็นพิษใกล้อุณหภูมิห้องโดยไม่ต้องบริโภคพลังงานมากในความร้อนก๊าซหลัง

สำหรับกระบวนการพลาสมาความดันต่ำ เช่น การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ , ไม่สมดุล พลาสมา ซึ่งมักเป็นชื่อ " หนาวพลาสมา " โดยทั่วไปจะใช้ ศ.โอดะ [ 9 ] กำหนดไว้ว่าไม่ร้อนพลาสมาความดันสูง ( โดยปกติ 1 ความดันบรรยากาศ ) ไม่สมดุล พลาสมา เมื่อเทียบกับพลาสมาที่เย็น อุณหภูมิและอัตราการแตกตัวเป็นไอออนอิเล็กตรอนค่อนข้างต่ำไม่ร้อน พลาสมา โดยปกติอิเล็กตรอนพลาสมาอุณหภูมิเย็นนับ EV ขณะเดียวกัน ในความดันบรรยากาศอิเล็กตรอนที่อุณหภูมิโดยทั่วไป 1 อัตรา 10ev อิออนประมาณ 0.1% อย่างไรก็ตาม , มันเป็นสิ่งสำคัญสำหรับการประมวลผลก๊าซในบรรยากาศ เพราะอิเล็กตรอนและความหนาแน่นของโมเลกุลสูงในการเปรียบเทียบกับขาดลอย ภาวะความดันต่ำ ถ้าแก๊สประมวลผลเสร็จในภาวะความดันต่ำ ปริมาณที่แน่นอน คือ โมเลกุลต่ำ นั่นคือจํานวนอิเล็กตรอนที่มีพลังงานมากกว่าการแข็งขันของโมเลกุลจะต้องมีวัตถุประสงค์เพื่อสร้างอนุมูลอิสระมากขึ้น และย่อยสลายโมเลกุลที่เป็นพิษมากขึ้น หลังจากนั้น ต้องใช้ค่าของอิเล็กตรอนพลังงานการควบคุมมลพิษทางอากาศประมาณ 10ev .