lithography and others [1]. Moreove

lithography and others [1]. Moreover, most of these
processes are expensive in terms of cost per feature [1].
A nano-manufacturing process termed as “nanoelectromachining
(nano-EM)” has been demonstrated by
the co-authors, which is capable of fabricating nanoscale
features in conducting as well as difficult-to-cut
materials [2]. The operational ability of STM in vacuum,
air, and liquid mediums has enabled the development of
nano-EM process in both liquid (wet nano-EM) [2] and
air (dry nano-EM) media [4]. In nano-EM process,
platinum-iridium [Pt-Ir (80:20)] or tungsten [99.9%W] is
used as tool electrode, and atomically flat gold substrate
or any conducting substrate such as carbon with atomic
level surface smoothness is used as a workpiece. Liquid
n-decane and air are used as dielectric for wet and nano-
EM, respectively. The wet and dry nano-EM systems are
comparable to the conventional micro- die-sinking
electrical discharge machining (EDM) and dry EDM,
respectively in terms of physical system components and
their functionalities. EDM or micro-EDM process
removes electrically conductive materials by means of
rapid and repetitive spark discharges in the presence of
dielectric medium between a tool and a workpiece [5].
Several research studies have been carried out on
different aspects of wet nano-EM. Some of the reported
studies on wet nano-EM are feasibility study of wet
nano-EM [2], understanding dielectric breakdown and
related tool wear characteristics in wet nano-EM [6],
understanding behavior of machining interface and
dielectric molecular medium [7], molecular dynamics
simulation of wet nano-EM [8], and repeatability studies
of wet nano-EM [9]. Moreover, in a recent study the
authors reported mechanism and machining performance
of dry nano-EM have been discussed [4]. Although both
of these processes are found to be capable of fabricating
nanoscale features with good dimensional repeatability
and consistency, there are key differences between two
processes in many aspects, which is focus of this work.
Therefore, the objective of the present study is to
perform a comparative analysis between the wet and dry
nano-EM processes. The comparison between the two
processes has been conducted based on process
mechanism, machining performance, consistency and
dimensional repeatability of these two processes.
2. Experimental setup and procedure
A Digital Instruments (DI) Multimode Scanning
Tunneling Microscope (STM) with NanoScope IV
controller was modified to perform dry and wet nano-
EM (Fig. 1). An atomically sharp conducting tool tip
electrode was brought within 1-2 nm (operating
distance) of the conducting surface for machining. A
bias voltage, high enough to cause the breakdown of
dielectric fluid at the gap between tool/tip and
workpiece, was applied for electro-machining. In this
study, hydrogen flame annealed atomically flat {111}
gold grown using molecular beam epitaxy (MBE) on
mica was used as a workpiece. The Pt-Ir (80:20) was
used as a tool electrode material due to its stable
performance and ability of retaining tip quality for long
period. The nano-EM tools were fabricated by
mechanical shearing and electrochemical etching. In
case of wet nano-EM, n-decane was used as dielectric
liquid, whereas for dry nano-EM, no intentional
dielectric material was used at the gap between the tool
tip and substrate workpiece, considering atmospheric air
as a dielectric medium.
The dry and wet nano-EM were conducted in near
field in a constant current mode. In near field nano-EM,
the tip and the substrate were at the working distance of
1-2 nm. Precise control of the tunneling current by the
STM instrumentation provided an accuracy of 1Å in Z
axis (vertical) resolution and 2 nm in the X-Y plane.
STM imaging of the gold surface was performed at a
bias voltage of 100 mV and a tunneling current of 1 nA.
The nano-EM was carried out at a voltage of 3200 mV
and pulse duration of 1 sec for each nanoscale feature for
both wet and dry nano-EM. The flowchart of the steps
for nano-EM processes (dry and wet) is shown in Fig. 2.
Figure 1:

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

พิมพ์หินและอื่น ๆ [1] นอกจากนี้ส่วนใหญ่เหล่านี้
กระบวนการที่มีราคาแพงในแง่ของค่าใช้จ่ายต่อคุณสมบัติ [1].
กระบวนการนาโนผลิตเรียกว่าเป็น "nanoelectromachining
(นาโน em)" ได้รับการแสดงให้เห็นโดย
ผู้เขียนร่วมซึ่งเป็นความสามารถในการ การผลิตระดับนาโน
คุณสมบัติในการดำเนินการเช่นเดียวกับวัสดุที่ยากต่อการตัด
[2] ความสามารถในการดำเนินงานของ STM ในสูญญากาศ,
อากาศและสื่อของเหลวได้เปิดการใช้งานการพัฒนาของ
กระบวนการนาโน em ในของเหลวทั้งสอง (เปียกนาโน em) [2] และ
อากาศ (แห้งนาโน em) สื่อ [4] ในกระบวนการนาโน em
ทองคำอิริเดียม [pt-ir (80:20)] หรือทังสเตน [99.9% น้ำหนัก]
ถูกนำมาใช้เป็นเครื่องมืออิเล็กโทรดและทองแบน atomically สารตั้งต้นหรือสารตั้งต้น
การดำเนินการใด ๆ เช่นคาร์บอนอะตอม
ระดับพื้นผิวเรียบเนียนใช้เป็นชิ้นงาน ของเหลว
n-decane และอากาศที่ใช้เป็นอิเล็กทริกในการเปียกและนาโน
em ตามลำดับ เปียกและแห้งระบบนาโน em
จะเทียบได้กับไมโครตายจม
ปล่อยไฟฟ้าเครื่องจักรกลทั่วไป (edm) แล​​ะ edm แห้ง
ตามลำดับในแง่ขององค์ประกอบของระบบทางกายภาพและ
ฟังก์ชันของ edm หรือไมโคร edm กระบวนการ
เอาวัสดุนำไฟฟ้าโดยการ
อย่างรวดเร็วและซ้ำปล่อยจุดประกายในการแสดงตนของสื่ออิเล็กทริก
ระหว่างเครื่องมือและชิ้นงานได้ [5].
การศึกษาวิจัยหลายคนได้รับการดำเนินการในลักษณะที่แตกต่าง
เปียกนาโน em บางส่วนของการศึกษารายงาน
บนเปียกนาโน em มีการศึกษาความเป็นไปได้ของการเปียก
นาโน em [2] การทำความเข้าใจรายละเอียดและอิเล็กทริกที่เกี่ยวข้อง
ลักษณะการสึกหรอของเครื่องมือในเปียกนาโน em [6],
ความเข้าใจพฤติกรรมของอินเตอร์เฟซเครื่องจักรกลและ
อิเล็กทริกกลางโมเลกุล [7] การเปลี่ยนแปลงโมเลกุล
จำลองเปียกนาโน em [8], และการทำซ้ำการศึกษา
เปียกนาโน em [9] นอกจากนี้ในการศึกษาเมื่อเร็ว ๆ นี้
ผู้เขียนรายงานกลไกและประสิทธิภาพการทำงานของเครื่องจักรกล
แห้งนาโน em ได้รับการกล่าว [4] แม้ว่าทั้งสอง
ของกระบวนการเหล่านี้จะพบว่ามีความสามารถในการผลิต
คุณสมบัติระดับนาโนที่มีการทำซ้ำมิติที่ดีและความสอดคล้อง
มีความแตกต่างที่สำคัญระหว่างสอง
กระบวนการในหลายด้านซึ่งเป็นจุดสำคัญของงานนี้.
ดังนั้นวัตถุประสงค์ของการศึกษาครั้งนี้คือการ
ดำเนินการวิเคราะห์เปรียบเทียบระหว่างเปียกและแห้ง
กระบวนการนาโน em เปรียบเทียบระหว่างสอง
กระบวนการได้รับการดำเนินการตามกระบวนการ
กลไกประสิทธิภาพการทำงานของเครื่องจักรกลความมั่นคงและการทำซ้ำ
มิติของทั้งสองกระบวนการ.
2 การติดตั้งและวิธีการทดลอง
เครื่องมือดิจิตอล (di) มัลติสแกน
กล้องจุลทรรศน์อุโมงค์ (STM) ที่มี nanoscope iv
ควบคุมการปรับเปลี่ยนเพื่อดำเนินการแห้งและเปียกนาโน
em (รูปที่ 1) คม atomically เครื่องมือการดำเนินปลาย
ไฟฟ้าถูกนำภายใน 1-2 นาโนเมตร (ปฏิบัติการ
ระยะทาง) ของพื้นผิวการดำเนินการสำหรับงาน
อคติแรงดันไฟฟ้าสูงพอที่จะทำให้เกิดการสลายของของเหลว
อิเล็กทริกที่ช่องว่างระหว่างเครื่องมือ / เคล็ดลับและ
ชิ้นงานที่ถูกนำมาใช้สำหรับเครื่องจักรกลไฟฟ้า ในการศึกษานี้
เปลวไฟไฮโดรเจนอบแบน atomically {111}
ทองที่ปลูกโดยใช้ลำแสง epitaxy โมเลกุล (MBE) บน
ไมกาถูกใช้เป็นชิ้นงาน pt-ir (80:20) เป็น
ใช้เป็นวัสดุเครื่องมือไฟฟ้าเนื่องจากผลการดำเนินงานที่มั่นคง
และความสามารถในการรักษาที่มีคุณภาพเคล็ดลับสำหรับยาว
ระยะเวลา เครื่องมือนาโน em ถูกประดิษฐ์โดย
ตัดกลและแกะสลักไฟฟ้า
ในกรณีที่เปียกนาโน em, n-decane ถูกใช้เป็นอิเล็กทริก
เหลวในขณะที่สำหรับแห้งนาโน em ไม่มีวัสดุเจตนา
อิเล็กทริกที่ถูกนำมาใช้ช่องว่างระหว่างเครื่องมือ
ปลายและพื้นผิวชิ้นงานที่พิจารณาบรรยากาศ
เป็นสื่ออิเล็กทริก
. นาโน em แห้งและเปียกได้ดำเนินการในเขตใกล้
ในโหมดคงที่ในปัจจุบัน ใกล้สนามนาโน em
ปลายและพื้นผิวอยู่ในระยะการทำงานของ
1-2 นาโนเมตร การควบคุมที่แม่นยำของปัจจุบันการขุดอุโมงค์โดย
STM เครื่องมือให้ความถูกต้องของ 1A ในซี
แกน (แนวตั้ง) ความละเอียดและ 2 นาโนเมตรในระนาบ xy.
STM ภาพของพื้นผิวทองได้ดำเนินการที่แรงดันไฟฟ้าอคติ
100 ฟังเพลงและปัจจุบันอุโมงค์ 1 na.
นาโน em ได้ดำเนินการที่แรงดันไฟฟ้าของ 3200 ฟังเพลง
และระยะเวลาชีพจรของ 1 วินาทีสำหรับคุณลักษณะแต่ละระดับนาโน
ทั้งเปียกและแห้งนาโน em ผังงานของขั้นตอนที่
สำหรับกระบวนการนาโน em (แห้งและเปียก) ก็แสดงให้เห็นในภาพ 2
รูปที่ 1.

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ภาพพิมพ์หินและอื่น ๆ [1] นอกจากนี้ ส่วนใหญ่เหล่านี้
กระบวนมีราคาแพงในแง่ของต้นทุนต่อคุณลักษณะ [1]
กระบวนการผลิตนาโนที่เรียกว่าเป็น "nanoelectromachining
(nano-EM)" มีการสาธิตโดย
เขียนร่วม ซึ่งมีความสามารถในการ fabricating nanoscale
คุณลักษณะในการดำเนินการและตัดยาก
วัสดุ [2] ความสามารถในการดำเนินงานของอิในสุญญากาศ,
อากาศ และเหลว mediums ได้เปิดใช้งานการพัฒนา
กระบวนการนาโน EM ในทั้งของเหลว (น้ำนาโน-EM) [2] และ
อากาศสื่อ (แห้งนาโน-EM) [4] ในกระบวนการนาโน-EM,
แพลทินัม-iridium [Pt-อินฟราเรด (80:20)] หรือทังสเตน [99.9%W]
ใช้เป็นเครื่องมือไฟฟ้า และพื้นผิวที่แบน atomically ทอง
หรือพื้นผิวใด ๆ ทำเช่นคาร์บอนมีอะตอม
ราบรื่นพื้นผิวระดับใช้เป็นเทคโนโลยี เหลว
n decane และอากาศใช้เป็น dielectric เปียกและนาโน-
EM ตามลำดับ ระบบเปียก และแห้งนาโนเอม
เทียบได้กับปกติไมโครตายจม
ไฟฟ้าถ่ายชิ้น (EDM) และแห้ง EDM,
ตามลำดับในส่วนประกอบของระบบทางกายภาพ และ
ฟังก์ชันการทำงานของพวกเขา กระบวนการ EDM หรือไมโคร EDM
เอาวัสดุนำไฟฟ้าผ่าน
จุดประกายอย่างรวดเร็ว และซ้ำ ๆ discharges หน้า
สื่อเครื่องมือและเทคโนโลยี [5] เป็นฉนวน.
หลายการศึกษาวิจัยมีการดำเนินการใน
ด้านต่าง ๆ ของ EM นาโนเปียก บางรายงาน
การศึกษานาโนเปียก-EM จะศึกษาของเปียก
นาโน-EM [2], เข้าใจแบ่งเป็นฉนวน และ
เกี่ยวข้องลักษณะสวมมือเปียกนาโน-EM [6],
เข้าใจลักษณะการทำงานของเครื่องจักรอินเทอร์เฟซ และ
กลางโมเลกุลเป็นฉนวน [7] dynamics โมเลกุล
จำลองการศึกษานาโน-EM [8], และทำซ้ำในเปียก
ของเปียกนาโน-EM [9] นอกจากนี้ ในการศึกษาล่าสุด
เขียนรายงานกลไกและประสิทธิภาพเครื่องจักร
ของนาโน EM แห้งได้ discussed [4] แม้ว่าทั้งสอง
กระบวนการเหล่านี้อยู่สามารถ fabricating
คุณลักษณะ nanoscale กับทำซ้ำในมิติดี
และความสอด คล้อง มีความแตกต่างที่สำคัญระหว่างสอง
กระบวนการในด้านต่าง ๆ ซึ่งเป็นจุดเน้นของงานนี้
ดัง วัตถุประสงค์ของการศึกษาปัจจุบันจะ
ทำการวิเคราะห์เปรียบเทียบระหว่างการเปียกและแห้ง
กระบวนการนาโน EM การเปรียบเทียบระหว่างสอง
มีการดำเนินกระบวนการตามกระบวนการ
กลไก เครื่องจักรประสิทธิภาพ ความสอดคล้อง และ
ทำซ้ำในมิติของเหล่านี้ 2 กระบวน
2 ทดลองตั้งค่าและกระบวนงาน
เครื่องมือดิจิทัลของ A (DI) Multimode สแกน
ทันเนลกล้องจุลทรรศน์ (อิ) กับ NanoScope IV
ควบคุมมีการปรับเปลี่ยนการทำแห้ง และเปียกนาโน-
EM (Fig. 1) แนะนำเครื่องมือทำการ atomically คม
อิเล็กโทรดถูกนำเข้ามาภายใน 1-2 nm (ปฏิบัติ
ห่างจากที่พัก) ของพื้นผิวที่ทำการตัดเฉือน A
bias แรงดัน สูงพอที่จะทำให้เกิดการแบ่งของ
น้ำมันเป็นฉนวนที่ช่องว่างระหว่างแนะนำเครื่องมือ และ
ใช้เทคโนโลยี การจี้ตัดเฉือน ใน
ศึกษา เปลวไฟไฮโดรเจน annealed atomically แบน { 111 }
ทองปลูกโดยใช้ลำแสงโมเลกุล epitaxy (MBE) บน
แก้วใช้เป็นเทคโนโลยี Pt-อินฟราเรด (80:20) ถูก
ใช้เป็นวัสดุอิเล็กโทรดมือเนื่องจากคอกของ
ประสิทธิภาพและความสามารถในการเก็บรักษาคุณภาพแนะนำนาน
รอบระยะเวลา มือนาโน EM ได้หลังสร้างโดย
ตัดเครื่องจักรกลและไฟฟ้าเคมีกัด ใน
กรณีของนาโนเปียก-EM ใช้ n decane เป็น dielectric
เหลว ในขณะที่สำหรับแห้งนาโน-EM ไม่ตก
ใช้วัสดุที่เป็นฉนวนที่ช่องว่างระหว่างเครื่องมือ
เทคโนโลยีคำแนะนำและพื้นผิว พิจารณาอากาศบรรยากาศ
เป็นการเป็นฉนวนกลาง.
แห้ง และเปียกนาโน-EM ได้ดำเนินการในใกล้
ในโหมดปัจจุบันคง ในนาโนฟิลด์ใกล้-EM,
คำแนะนำและพื้นผิวอยู่ในระยะทำงานของ
1-2 nm ควบคุมแม่นยำทันเนลปัจจุบันโดย
อิเครื่องมือวัดให้ความถูกต้องของ 1Å ใน Z
ละเอียดแกน (แนวตั้ง) และ 2 nm ในระนาบ X Y
ทำภาพอิของผิวทองที่เป็น
bias แรงดัน 100 mV และปัจจุบันลแบบ tunneling 1 เรี่ยม
EM นาโนถูกดำเนินการที่แรงดันของ 3200 mV
และชีพจรระยะเวลาของ 1 วินาทีสำหรับแต่ละคุณลักษณะ nanoscale สำหรับ
ทั้งเปียก และแห้งนาโน-EM แผนผังลำดับงานของขั้นตอน
นาโน EM กระบวน (แห้ง และเปียก) จะแสดงใน Fig. 2.
รูปที่ 1:

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

การพิมพ์หินและอื่นๆ[ 1 ]. ยิ่งไปกว่านั้นส่วนใหญ่ของเหล่านี้
กระบวนการมีราคาแพงในเงื่อนไขของราคาต่อคุณสมบัติ:[ 1 ],..
ที่นาโนไดมอนด์กระบวนการผลิตเรียกว่าเป็น" nanoelectromachining
( Nano - EM )"ได้รับการแสดงให้เห็นได้จาก
ซึ่งจะช่วยให้ความร่วมมือผู้เขียนซึ่งมีความสามารถในการปรุงแต่ง nanoscale
โดดเด่นไปด้วยในการเป็นอย่างดีเป็นเรื่องยาก - -
ซึ่งจะช่วยตัดวัสดุ:[ 2 ]. ความสามารถในการทำงานของ stm :
ทางอากาศในเครื่องดูดฝุ่นและสื่อผสมน้ำยาทำความสะอาดได้เปิดใช้งานการพัฒนากระบวนการ
Nano - EM ในของเหลว(แบบเปียก Nano - EM )[ 2 ]และ
ทางอากาศ(แห้ง Nano - EM )สื่อทั้ง[ 4 ] ใน Nano - EM กระบวนการ,
แพลตตินั่ม - อิริเดียม[ pt-ir ( 80 : 20 )]หรือทังสเตน[ 99.9% W ]มี
ซึ่งจะช่วยนำไปใช้เป็นเครื่องมือเชื่อม,และ atomically จอแบนสีทองบนไดย์
หรือการใช้เช่นถ่านคาร์บอนกัมมันต์กับปรมาณู
ระดับพื้นผิวความเรียบเนียนได้ใช้เป็นที่ workpiece .
ตามมาตรฐานผสมน้ำยาทำความสะอาดN - decane และอากาศจะใช้เป็นที่เป็นฉนวนสำหรับเครื่องดื่มและนาโนไดมอนด์
EM ตามลำดับ ระบบ Nano - EM แห้งและเปียกได้
เมื่อเทียบกับทั่วไป micro - ตาย - จมดิ่ง
ซึ่งจะช่วยการคายประจุกระแสไฟฟ้ากลึง( edm )และแห้ง edm
ตามลำดับในข้อกำหนดของทาง กายภาพ ส่วนประกอบในระบบและ
ฟังก์ชันของพวกเขา edm หรือไมโคร - edm กระบวนการ
ซึ่งจะช่วยขจัดไฟฟ้าวัสดุนำไฟฟ้าโดยใช้
คายประจุไฟเครื่องยนต์อย่างรวดเร็วและงานที่ต้องทำซ้ำๆในการมีอยู่ของขนาดกลางที่เป็นฉนวน
ระหว่างเครื่องมือและ workpiece [ 5 ].
การศึกษาวิจัยหลายแห่งได้ถูกนำออกมาในแง่มุมที่แตกต่างของ
เปียก Nano - EM ที่บางส่วนรายงาน
ซึ่งจะช่วยการศึกษาในเรื่องการศึกษาความเป็นไปได้รางวัล iPod Nano - EM เปียกของเปียก
Nano - EM [ 2 ]การทำความเข้าใจรายละเอียดที่เป็นฉนวนและ
ลักษณะสวมใส่เครื่องมือที่เกี่ยวข้องในที่มีความเปียกชื้น Nano - EM [ 6 ]
การทำความเข้าใจพฤติกรรมของอินเตอร์เฟซกลึงและ
ที่เป็นฉนวนโมเลกุลขนาดกลาง[ 7 ],ระดับโมเลกุล Dynamics
การจำลองของนาโนไดมอนด์เปียก - EM [ 8 ]และมีความแม่นยำของการศึกษา
เปียก Nano - EM [ 9 ]. ยิ่งไปกว่านั้นในการศึกษาเมื่อไม่นานมานี้
ซึ่งจะช่วยผู้ที่ได้รับรายงานและกลไกการกลึง
ซึ่งจะช่วยเพิ่ม ประสิทธิภาพ ของแห้ง Nano - EM ได้รับการกล่าวถึง[ 4 ] แม้ว่าทั้ง
ซึ่งจะช่วยในการใช้กระบวนการเหล่านี้ถูกพบว่าเป็นการมีความสามารถในการปรุงแต่ง
nanoscale โดดเด่นไปด้วยมีความแม่นยำมิติที่ดี
ความสอดคล้องและมีความแตกต่างที่สำคัญระหว่างทั้งสอง
กระบวนการในหลายด้านซึ่งจะเป็นการให้ความสนใจลงไปในการทำงานนี้.
ดังนั้นจึงมีวัตถุประสงค์ของการศึกษาในปัจจุบันที่มีการ
ซึ่งจะช่วยทำการวิเคราะห์เปรียบเทียบระหว่างกระบวนการ Nano - EM แห้งและเปียก
ซึ่งจะช่วยได้ การเปรียบเทียบระหว่างสอง
ซึ่งจะช่วยกระบวนการที่ได้รับการจัดให้บริการตามกระบวนการ
กลไกประสิทธิภาพ การทำงานอย่างต่อเนื่องและมีความแม่นยำกลึง
สามมิติของกระบวนการนี้ได้. N 2 การตั้งค่าและวิธีการทดลอง
ซึ่งจะช่วยงานฝึกงานแบบดิจิตอล( DI )แบบหลายทางการสแกน
แบบ Tunneling กล้องจุลทรรศน์( stm :)พร้อมด้วย nanoscope , iv ,
คอนโทรลเลอร์ถูกแก้ไขในการจัดการแบบแห้งและแบบเปียก Nano -
EM (รูปที่ 1 ) ความคม atomically คำแนะนำเครื่องมือการดำเนิน
ซึ่งจะช่วยลวดเชื่อมมา ภายใน 1-2 1-2 nm (
ระยะไกล)ของพื้นผิวการที่สำหรับกลึง. แรงดันไฟฟ้า
ซึ่งจะช่วยการทำงานที่สูงพอที่จะทำให้เกิดอาการของน้ำยาที่เป็นฉนวน
ซึ่งจะช่วยลดช่องว่างระหว่างที่เครื่องมือ/ปลายและ
workpiece ถูกนำไปใช้สำหรับไฟฟ้า - กลึง
ซึ่งจะช่วยในการศึกษานี้เปลวไฟไฮโดรเจน annealed จอแบน atomically { 111 }
ทองคำขึ้นโดยใช้ระดับโมเลกุลลำแสง epitaxy ( mbe )บน
MICA ก็ใช้เป็น workpiece ที่ pt-ir ( 80 : 20 )เป็น
ตามมาตรฐานใช้เป็นเครื่องมือวัสดุเชื่อมเนื่องจากมี เสถียรภาพ
ซึ่งจะช่วยเพิ่ม ประสิทธิภาพ และความสามารถในการรักษา คุณภาพ ปลายแผ่นความร้อน Steam Tip สำหรับช่วงระยะเวลานาน
เครื่องมือ Nano - EM ที่สร้างขึ้นมาโดยมีการทำแม่พิมพ์ electrochemical
และตัดขนแกะกลไก
ซึ่งจะช่วยในกรณีของเครื่องดื่ม Nano - EM N - decane ได้เคยถูกใช้เป็นที่เป็นฉนวน
ซึ่งจะช่วยผสมน้ำยาทำความสะอาดในขณะที่สำหรับแห้ง Nano - EM ไม่มีวัสดุที่เป็นฉนวน
ซึ่งจะช่วยโดยเจตนาถูกใช้ในระหว่าง workpiece เครื่องมือ
เคล็ดลับและผิวหน้าเมื่อพิจารณาถึงอากาศที่มีบรรยากาศที่
ซึ่งจะช่วยเป็นตัวกลางที่เป็นฉนวนที่.
แห้งและเปียก Nano - EM ที่ได้ทำในใกล้กับ
ฟิลด์ถึงที่อยู่ในโหมดปัจจุบันคงที่ ในฟิลด์ใกล้กับ iPod Nano - EM
ปลายและฐานอยู่ในระยะการทำงานของ
1-2 1-2 นิวตันเมตร การควบคุมได้อย่างแม่นยำในปัจจุบันแบบ Tunneling ที่โดยเครื่องมือ
stm :ที่จัดให้บริการความแม่นยำของความละเอียด 1 รากแตกใน Z
แกน(แนวตั้ง)และ 2 นาโนเมตรในเครื่องบิน X - Y .
stm : ภาพ ของสีทองบนพื้นผิวได้ดำเนินการที่
ซึ่งจะช่วยการทำงานของแรงดันไฟฟ้า 100 mV และแบบ Tunneling ปัจจุบันของ 1 นา.
ที่นาโนไดมอนด์ EM ก็ถูกหามออกจากที่ระดับแรงดันไฟฟ้าของ 3200 MV
และปุ่มพัลซ์( Pulse )ระยะเวลา 1 วินาทีสำหรับแต่ละ nanoscale โดดเด่นไปด้วยสำหรับ
ทั้งแบบเปียกและแบบแห้ง Nano - EM ผังการดำเนินงานในขั้นตอนที่
สำหรับกระบวนการ Nano - EM (แบบแห้งและแบบเปียก)จะปรากฏขึ้นในรูป 2 .
รูปที่ 1