A tactile probing system based on d

A tactile probing system based on differential capacitive sensor is proposed for ultra precision dimensional and profile
measurement of small structures.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

มีเสนอระบบ probing เพราะยึดเซนเซอร์ควบคุมส่วนมิติความแม่นยำเป็นพิเศษและโพรไฟล์ประเมินโครงสร้างขนาดเล็ก

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ระบบสัมผัสที่ละเอียดขึ้นอยู่กับเซ็นเซอร์ capacitive
ที่แตกต่างกันมีการเสนอเพื่อความแม่นยำเป็นพิเศษมิติและรายละเอียดการวัดของโครงสร้างขนาดเล็ก

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

เป็นระบบสัมผัสละเอียดตามค่าเซ็นเซอร์ capacitive เสนอ Ultra Precision มิติและรายละเอียด
การวัดของโครงสร้างขนาดเล็ก