The nature of the fundamental operating principles of gas
sensing are described briefly here. In resistive-type sensors, a metal
oxide is deposited across two or more electrodes which measure
the change in the electrical resistance of the oxide in the presence of
the analyte gas. The resistance of the oxide may increase or decrease
on exposure to the gas depending on the dominant charge carrier and type of gas interacting with the surface, as described in
Table 1. Consider an n-type semiconductor such as SnO2. Under
normal (ambient) operating conditions, there is significant oxygen
adsorption on the metal oxide surface. Oxygen molecules in air dissociate and each oxygen atom accepts an electron from the material
(if n-type) to complete the bond, decreasing the electron density in
the material and increasing the resistance of the oxide. The oxygen only adsorbs onto the surface and thus the electrons are only
removed to a certain depth from the surface known as the Debye
length, (), typically on the order of 2–100 nm. The region within
a Debye length of the surface is known as the depletion region
because it is depleted of its normal charge carriers. The Debye
length may change as more or less oxygen is adsorbed on the surface, which in turn causes a measurable change in the resistance.
It has been overwhelmingly shown that when crystallite dimensions are driven below about 20 nm, sensor response drastically
increases [29]. When the nanostructure dimensions allow all atomsto be within a Debye length of the surface, the entirety of the material is depleted by the gas analyte, and the response is maximized.
If a reducing gas is introduced in this case, it reacts with the surface
adsorbed oxygen, pulling it from the surface, and simultaneously
donating an electron back into the semiconductor that causes a
decrease in the resistance. P-type materials would exhibit reverse
behavior as shown in Table 1.
The adsorption properties of the oxygen and reaction rates of
analyte gases are temperature-dependent, so most MOGS are also
equipped with a heater that allows operation at a pre-determined
optimal operating temperature. Sensor response is defined in several different ways depending on the type of measurements taken,
but is most often defined as the ratio of resistance in air to resistance in the presence of the gas, or Ra/Rg for an n-type material with
a reducing analyte, giving a value greater than 1. Alternatively, this
becomes R
g/Ra for an n-type material with an oxidizing analyte, also
giving a value greater than 1. These are reversed in p-type materials.
The parameter of sensitivity is defined as the degree to which the
response increases as the concentration of that analyte increases,
which can be found from the slope of a sensor’s calibration curve.
The response and recovery times (tres and trec) of a gas sensor are
usually defined as the time it takes for the resistance to reach 90% of
its steady-state value after introduction or removal of the analyte
gas, respectively. Response, selectivity, sensitivity, operating temperature, response time and recovery time are the most important
parameters for gas sensor performance. In most cases where the
heterostructure improved selectivity, the sensing response to the
targeted analyte was also enhanced. Reductions in response and
recovery times were also often reported, as were decreases in the
optimum operating temperature.
ลักษณะของหลักการการทำงานพื้นฐานของก๊าซจับอธิบายไว้สั้น ๆ ที่นี่ ในเซนเซอร์ชนิดตัวต้านทาน โลหะออกไซด์จะถูกฝากผ่านขั้วไฟฟ้าสอง หรือมากกว่าที่วัดการเปลี่ยนแปลงความต้านทานไฟฟ้าของออกไซด์ในประเทศของก๊าซ analyte ความต้านทานของออกไซด์อาจเพิ่ม หรือลดบนสัมผัสกับก๊าซขึ้นอยู่กับผู้ให้บริการค่าธรรมเนียมที่โดดเด่นและชนิดของก๊าซที่มีปฏิสัมพันธ์กับพื้นผิว ตามที่อธิบายไว้ในตารางที่ 1 พิจารณาเป็นสารกึ่งตัวนำชนิด n เช่น SnO2 ภายใต้ปกติ (รอบ) เงื่อนไข การใช้งานมีออกซิเจนสำคัญการดูดซับบนพื้นผิวโลหะออกไซด์ แยกตัวออกของโมเลกุลออกซิเจนในอากาศ และแต่ละอะตอมออกซิเจนรับอิเล็กตรอนจากวัสดุ(ถ้า n-type) เพื่อให้พันธบัตร ลดความหนาแน่นของอิเล็กตรอนในวัสดุและการเพิ่มความต้านทานของออกไซด์ ให้ออกซิเจนเท่านั้น adsorbs บนพื้นผิว และทำให้ อิเล็กตรอนมีเท่านั้นเอาให้ลึกจากพื้นผิวเรียกว่า Debyeความยาว, (), โดยทั่วไปอยู่ระหว่าง 2 – 100 นาโนเมตร ภูมิภาคภายในความยาว Debye ของพื้นผิวเรียกว่าภูมิภาคสูญเสียเพราะมันจะหมดของสายการบินค่าธรรมเนียมปกติของมัน Debyeความยาวอาจเปลี่ยน ตามเพิ่มหรือลดออกซิเจนคือซับบนพื้นผิว ซึ่งจะทำให้การเปลี่ยนแปลงที่สามารถวัดได้ในการต่อต้านมันแบบแอคทีฟแสดงที่เมื่อขนาดผลึกจะขับเคลื่อนด้านล่างประมาณ 20 nm เซ็นเซอร์ตอบสนองอย่างรวดเร็วincreases [29]. When the nanostructure dimensions allow all atomsto be within a Debye length of the surface, the entirety of the material is depleted by the gas analyte, and the response is maximized.If a reducing gas is introduced in this case, it reacts with the surfaceadsorbed oxygen, pulling it from the surface, and simultaneouslydonating an electron back into the semiconductor that causes adecrease in the resistance. P-type materials would exhibit reversebehavior as shown in Table 1.The adsorption properties of the oxygen and reaction rates ofanalyte gases are temperature-dependent, so most MOGS are alsoequipped with a heater that allows operation at a pre-determinedoptimal operating temperature. Sensor response is defined in several different ways depending on the type of measurements taken,but is most often defined as the ratio of resistance in air to resistance in the presence of the gas, or Ra/Rg for an n-type material witha reducing analyte, giving a value greater than 1. Alternatively, thisbecomes Rg/Ra for an n-type material with an oxidizing analyte, alsogiving a value greater than 1. These are reversed in p-type materials.The parameter of sensitivity is defined as the degree to which theresponse increases as the concentration of that analyte increases,which can be found from the slope of a sensor’s calibration curve.The response and recovery times (tres and trec) of a gas sensor areมักจะกำหนดเป็นเวลาใช้สำหรับต้านทานถึง 90% ของค่าแนะนำหรือกำจัดของ analyte เสถียรก๊าซ ตามลำดับ ตอบ ใว ไว อุณหภูมิ เวลาตอบสนอง และเวลาการกู้คืนสำคัญสุดพารามิเตอร์สำหรับประสิทธิภาพของเซนเซอร์ก๊าซ ในกรณีส่วนใหญ่ซึ่งการheterostructure ใว ตรวจวัดเพื่อตอบสนองการปรับปรุงการยังมีเพิ่มการกำหนดเป้าหมาย analyte ลดการตอบสนอง และเวลากู้คืนมักถูกรายงาน ก็ลดลงในการอุณหภูมิการทำงานที่เหมาะสม
การแปล กรุณารอสักครู่..